固态微波功率器件直流参数测试仪校准规范

JJF(电子)XXXX─XXXX固态微波功率器件直流参数测试仪校准规范CalibrationSpecificationofDC-parameterTesterforSolid-stateMicrowavePowerDevice（报批稿）××××-××-××发布××××-××-××实施CalibrationSpecificationofDC-parameterTesterforSolid-stateMicrowavePowerDevice归口单位：中国电子技术标准化研究院主要起草单位：中国电子技术标准化研究院参加起草单位：深圳赛西信息技术有限公司北京振兴计量测试研究所本规范技术条文委托起草单位负责解释本规范主要起草人：邢荣欣（中国电子技术标准化研究院）褚楚（中国电子技术标准化研究院）参加起草人：吴永明（深圳赛西信息技术有限公司）李宗昆（北京振兴计量测试研究所）李道政（中国电子技术标准化研究院）Ⅰ 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 3 3 3 4 4 5 6 7 9 Ⅱ1本规范适用于栅极电压±(0.1~20)V、漏极电压≤3000V、漏极电流≤30A、漏电流(100nA～1mA)的固态微波功率器件直流参数测试仪的校准，其他测量范围的固态微波源和漏电流测量单元组成，可测量的直流参数包括栅源极夹断电压2直流电压测量范围：0.1V～1000V；最大允许误差：±（4.3×10-6～1.4×10-5）），±(>0.1mA～0.3mA）1+++2+++3+++4+++5+++6+++5.1.1被校固态微波功率器件直流参数测试仪的产品名称、制造厂家等均应有明确标记，结构完好，不应有影响正常工作的机械碰伤及接触不良的现象，并记录于附录A5.1.2开启固态微波功率器件直流参数测试仪，并按规定预热。检查被校固态微波功率3a）将被校测试仪的栅极双极性电压源输出端与数字多用表的输入端相连，如图1a）对于≤1000V的漏极电压源，将被校V4），a）漏流测量单元为加压测量方式，即采用栅极电压源施加电压，利用电流测量单5e）启动漏流测量功能，读取被校系统的漏电流测量值IGSS和数字电压表的电压测b）被校系统设置为漏极电流测量和输出状态，在被校系统漏极电流测量范围内选取IDS校准点，至少应包含最大值、最小值和中间典型电）；），6g）进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象的接7附录A原始记录格式测量不确定度k=2测量不确定度k=2测量不确定度k=2测量不确定度k=289附录B校准证书内页格式测量不确定度k=2(V)VDS测量不确定度k=2测量不确定度k=2测量不确定度k=2测量不确定度k=2测量不确定度评定示例C.1栅极双极性电压参数校准C.1.1测量模型VC.1.2标准不确定度评定C.1.2.1数字多用表电压测量不准引入的不确定度分量uB1 度为0.01%，可认为在该区间内服从C.1.2.2数字多用表读数分辨率引入的不确定度分量uB2C.1.2.3测量重复性引入的测量不确定度分量uA测量重复性等随机因素引入的不确定度分量按A量，测量次数n=10，重复性测试数据见下表。根据下式，则uA1为：123456789xSn(x)/xkuB1 J3uB2 J3uA1//由测量重复性和数字多用表读数分辨率引入的测量不确定度分量，取大者作为不确定度分量参与合成，即uA1=0.0026%。不确定度分量uA1和uB1独立不相关，则合成标准不确定度可计算C.1.4扩展不确定度取值k=2，根据Urel=uc×k，则扩展不确定度为：0.014%，k=2。C.2漏极电流源输出电流参数校准进行测量不确定度的评定，此时标准电阻为1Ω,数字多用表电压读数为C.2.1测量模型C.2.2标准不确定度评定C.2.2.1数字多用表电压测量不准引入的不确定度分量uB1 UB1=kVuVB1=0.00006AC.2.2.2标准电阻阻值不准引入的不确定度分量uB2 UB2=kRuRB2=0.0012AC.2.2.3测量重复性引入的测量不确定度分量uA测量重复性等随机因素引入的不确定度分量按A量，测量次数n=10，重复性测试数据见下表。根据下式，则uA1为：123456789xSn(x)/xkuB1 J3uB2J3uA1//不确定度分量uA