• 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-06-07 颁布
©正版授权
注：本标准为国际组织发行的正版标准，下载后为完整内容；本图片为程序生成，仅供参考，介绍内容如有偏差，以实际下载内容为准
【正版授权-英语版】 ISO/TS 24597:2011 EN Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Methods of evaluating image sharpness_第1页
全文预览已结束

下载本文档

基本信息：

  • 标准号：ISO/TS 24597:2011 EN
  • 标准名称：显微光束分析 扫描电子显微镜 图像清晰度评估方法
  • 英文名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Methods of evaluating image sharpness
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2011-06-07

文档简介

一、概述

ISO/TS24597标准提供了扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度评估的基本方法。它涉及到对样品在SEM下的观察，通过调整不同的参数，包括电子束能量、扫描速度、探针直径和放大倍数等，以获得最佳的图像质量。

二、图像质量评估标准

1.分辨率：这是评估图像清晰度的重要指标，它描述了图像中最小可分辨的细节。分辨率可以通过电子束能量的调整来提高。

2.对比度：对比度是指图像中不同元素之间的可见差异。它可以通过改变扫描速度和电子束强度来调整。

3.颗粒度：颗粒度是指图像中的噪声和模糊程度。可以通过优化扫描参数和选择高质量的SEM镜头来减少颗粒度。

4.边缘锐利度：边缘锐度是指图像中物体边缘的清晰度。可以通过调整探针直径和扫描速度来改善边缘锐利度。

5.背景噪声：背景噪声是指SEM图像中与目标区域无关的区域。可以通过选择合适的放大倍数和优化扫描参数来减少背景噪声。

三、操作步骤

1.准备样品：根据研究需求选择合适的样品，并将其固定在SEM样品台上。

2.调整仪器参数：根据上述标准调整SEM的电子束能量、扫描速度、探针直径和放大倍数等参数。

3.观察和拍摄图像：启动SEM并开始观察和拍摄图像。

4.评估图像质量：使用上述标准评估图像质量，并记录任何需要改进的地方。

5.重复操作：根据需要重复调整和观察过程，直到获得满意的图像质量。

四、应用范围和局限性

ISO/TS24597标准适用于微束分析中图像清晰度的评估，提供了基本的方法和指导原则。然而，图像清晰度受到许多因素的影响，包括样品的性质、SEM设备的性能和

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。
  • 4. 下载后请按顺序安装Reader（点击安装）和FileOpen（点击安装）方可打开。详细可查看标准文档下载声明

最新文档

评论

0/150

提交评论