- 现行
- 正在执行有效
- 2016-05-02 颁布
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基本信息:
- 标准号:ISO/TR 18394:2016 EN
- 标准名称:表面化学分析 欧杰电子能谱 化学信息的推导
- 英文名称:Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Derivation of chemical information
- 标准状态:现行
- 发布日期:2016-05-02
文档简介
ISO/TR18394是一个技术报告,而不是正式的ISO标准。该标准主要涉及表面化学分析中的Auger电子光谱学,这是一种用于确定材料表面元素组成和化学态的技术。该标准详细介绍了如何从Auger电子光谱数据中提取化学信息的过程。
具体来说,该标准提供了以下步骤和解释:
1.**样品准备**:包括如何选择样品,如何处理样品表面以暴露测试区域,以及如何选择适当的样品支架和保护膜。
2.**光谱采集**:包括如何使用适当的设备和方法收集Auger电子光谱数据,以及如何控制各种因素,如电压、电子能量和样品暴露时间,以获得最佳结果。
3.**数据处理**:在这一步骤中,需要应用统计技术和图像处理软件来分析光谱数据,以识别元素和化学态的特征峰。
4.**元素和化学态识别**:根据特征峰的位置、强度和形状,可以确定样品表面的元素组成和化学态。
5.**准确性和可靠性**:该标准讨论了影响Auger电子光谱学准确性和可靠性的因素,并提供了如何克服这些问题的建议。
6.**应用范围和局限性**:该标准还讨论了Auger电子光谱学的适用范围和局限性,包括对样品制备和处理的要求,以及在特定应用中的效果。
ISO/TR18394:2016EN提供了关于如何使用Auger电子光谱学进行表面化学分析的详细指南,包括样品准备、光谱采集、数据处理和结果解释。这项技术对
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