- 现行
- 正在执行有效
- 2020-11-19 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO TS 80004-8:2020 EN
- 标准名称：纳米技术-词汇-第8部分：纳米制造工艺
- 英文名称：Nanotechnologies - Vocabulary - Part 8: Nanomanufacturing processes
- 标准状态：现行
- 发布日期：2020-11-19
文档简介
**主要概念和定义**：
***纳米制造**：纳米制造是指在纳米尺度上设计和构建具有特定功能和性能的纳米结构的过程。
***纳米制造过程**：纳米制造过程是一组涉及纳米材料选择、设计、合成、加工、处理和组装的技术和工艺。
***纳米制造技术**：纳米制造技术是指利用纳米技术方法和技术，包括物理、化学、机械、电子束、激光和等离子体技术等，进行纳米结构制造和组装的方法。
***纳米工艺**：纳米工艺是实现纳米制造过程的技术和方法，如微纳加工、光刻、电镀、蚀刻、纳米压印等。
***纳米制造系统**：纳米制造系统是一组设备、软件工具和工具集，用于支持纳米制造过程，包括制造装备、生产流程和工具等。
**工艺类型**：
***微纳加工**：微纳加工技术是制造微米和纳米结构的方法，如机械加工、化学蚀刻和电化学加工等。
***激光工艺**：激光工艺通常用于切割和焊接材料，也可用于纳米结构制造。
***电子束加工**：电子束加工使用高能电子束进行材料处理，可用于纳米结构制造和表面处理。
***化学气相沉积**：化学气相沉积是一种用于纳米结构生长的技术，通过在高温下将材料沉积在基板上。
***纳米压印**：纳米压印是一种基于光刻技术的纳米制造方法，通过使用压力将模板压印在材料表面，实现纳米精度加工。
**其他主题**：
***材料选择**：在纳米制造中，可以选择的材料范围广泛，包括金属、半导体、高分子材料、陶瓷等。选择适当的材料对于制造成功至关重要。
***纳米装配**：纳米装配是纳米制造过程中的另一关键步骤，涉及将多个纳米结构组装在一起以形成具有特定功能和性能的纳米系统。
***质量控制**：在纳米制造过程中，质量控制至关重要，以确保制造出的纳米结构符合预期性能和质量标准。
以上就是ISOTS80004-8:2020ENNanotechnologies-Vocabulary-Part8:Nanomanufacturing
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