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  • 2023-11-28 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 21360-5:2023 EN Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 21360-5:2023 EN
  • 标准名称：真空技术—测量真空泵性能的标准方法第5部分：非挥发性吸附剂(NEG)型真空泵
  • 英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2023-11-28

文档简介

ISO21600-5:2023EN真空技术——真空泵性能的标准测量方法——第5部分：非蒸发式去气(NEG)真空泵ISO21600-5:2023EN真空技术——真空泵性能的标准测量方法——第5部分：非蒸发式去气(NEG)真空泵（简称NEG泵）是一个关于真空技术的国际标准，它详细规定了测量真空泵性能的方法。这部分标准主要关注真空泵的性能指标，特别是它们在去除气体中的能力。

在真空环境中，真空泵起着至关重要的作用。它们通过将气体从泵的入口处吸入并压缩，最终排放到大气中，从而创造一个高度真空的环境。这种环境对于许多科学和工业应用来说是必要的，例如电子元件制造、物理研究、实验室测试等。

测量真空泵性能的方法是非常重要的，因为它们直接影响到使用泵的效率和效果。在标准方法中，明确规定了各种测试条件和步骤，以确保结果的准确性和可靠性。这些步骤包括但不限于检查泵的结构、测试泵的抽气速率、测量泵的极限压力等。

其中，非蒸发式去气(NEG)真空泵是一种特殊的真空泵，它使用一种特殊的材料（通常称为“getter”）来吸附和去除气体。这种材料在高温下被激活，能够有效地去除泵内部的气体，从而保持泵的真空性能。

非蒸发式去气(NEG)真空泵的特点是它的效率和可靠性。由于它不需要传统的蒸发式去气过程，因此可以减少由于蒸发材料消耗而导致的维护问题。此外，NEG泵通常具有更高的抽气速率和更长的使用寿命，因此在许多应用中比传统的机械泵更具优势。

ISO21600-5:2023EN真空技术——真空泵性能的标准测量方法——第5部分：非蒸发式去气(NEG)真空泵是一个非常重要的标准，它为测量真空泵性能提供了详细和准确的方法，特别是对于那些使用非蒸发式去气(NEG)真空泵的应用来说尤为重要。它

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