- 现行
- 正在执行有效
- 2018-03-09 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 20411:2018 EN
- 标准名称：表面化学分析 二次离子质谱法 单离子计数动态二次离子质谱法中饱和强度的校正方法
- 英文名称：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Correction method for saturated intensity in single ion counting dynamic secondary ion mass spectrometry
- 标准状态：现行
- 发布日期：2018-03-09
文档简介
ISO20411:2018是关于表面化学分析的国际标准，其中涉及到二次离子质谱法（SIMS）。二次离子质谱法是一种用于研究表面化学组成和结构的分析方法。
在二次离子质谱法中，饱和强度是一个重要的概念。当离子束照射到样品表面时，某些元素的离子会达到饱和强度，即继续增加束流强度，该元素的离子强度也不会再增加。这种情况下，如果继续增加束流强度，将会导致其他元素的离子强度增加，从而影响分析结果的准确性。
为了解决这个问题，ISO20411:2018提出了一个饱和强度修正方法，称为单离子计数动态二次离子质谱法（dynamicSIMS）。这种方法通过对单离子计数动态过程进行优化和调整，使得在饱和强度的情况下仍然能够准确测量各个元素的离子强度。具体来说，这种方法包括以下步骤：
1.调整束流强度，使得样品表面受到适量的离子束照射。
2.对样品表面进行动态采集，即在一段时间内持续采集数据，以便在所有元素范围内检测到最佳的离子计数动态过程。
3.对采集到的数据进行处理和分析，以确定各个元素的饱和强度和最佳计数动态区间。
4.根据最佳计数动态区间，对每个元素的离子强度进行修正，以消除饱和强度的影响。
通过这种方法，可以更准确地测量表面化学组成和结构，特别是在饱和强度
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