- 现行
- 正在执行有效
- 2023-10-20 颁布
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基本信息：
- 标准号：IEC TS 62607-8-3:2023 EN
- 标准名称：纳米制造-关键控制特性-第8-3部分：纳米金属氧化物界面器件-模拟电阻变化和电阻波动：电阻值测量
- 英文名称：Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 8-3: Nano-enabled metal-oxide interfacial devices - Analog resistance change and resistance fluctuation: Electrical resistance measurement
- 标准状态：现行
- 发布日期：2023-10-20
文档简介
电气电阻测量是评估纳米级金属氧化物界面器件模拟电阻变化和电阻波动的重要控制特性之一。在IECTS62607-8-3:2023ENNanomanufacturing标准中，对电气电阻测量的关键控制特性进行了详细描述。
一、设备要求
1.测量设备应具有高精度和高分辨率，能够准确测量微小的电阻变化。
2.设备应具有稳定的温度控制能力，以避免环境温度变化对测量结果的影响。
3.设备应具有适当的电源和信号调理装置，以确保能够正确获取和分析电阻信号。
二、测量方法
1.应采用适当的测量方法，如四线或五线测量法，以确保测量结果的准确性和可靠性。
2.应使用适当的参考电阻，以确保测量电路的正确连接和隔离。
3.应定期对测量设备进行校准和验证，以确保其性能符合标准要求。
三、测量结果分析
1.应记录和分析电阻变化和波动的时间序列数据，以确定器件性能的变化趋势。
2.应考虑环境因素对电阻变化和波动的影响，如湿度、温度和污染物等。
3.应与标准样品进行比较，以验证测量结果的准确性和可靠性。
4.应定期对样品进行重新测试，以确保其性能符合标准要求。
电气电阻测量是评估纳米级金属氧化物界面器件性能的关键控制特性之一，应按照IECTS62607-8-3:2023ENNanoman
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