- 现行
- 正在执行有效
- 2019-04-05 颁布
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基本信息：
- 标准号：IEC 62047-34:2019 EN
- 标准名称：半导体器件-微机电器件-第34部分：用于MEMS压阻式硅片压力敏感器件的测试方法
- 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer
- 标准状态：现行
- 发布日期：2019-04-05
文档简介
用于在晶片上测量微机械压力电阻式压力传感器的测试方法。
IEC62047系列标准是国际电工委员会（IEC）制定的一系列关于半导体器件和微机电系统器件的标准。其中，IEC62047-34标准详细规定了用于测量微机械压力电阻式压力传感器的测试方法。
以下是该标准的主要内容：
1.压力传感器的电气特性测试：包括电压和电流测量、灵敏度测试等。
2.压力传感器的机械特性测试：包括应变片的贴放位置和贴放方式、环境应力测试等。
3.温度特性测试：包括在不同温度下测量传感器的输出，以评估其温度特性。
4.老化测试：在规定的时间段内对传感器进行连续测试，以评估其长期使用性能。
5.抗干扰性能测试：测试传感器在受到外部干扰时的性能表现，如电磁干扰等。
6.可靠性测试：包括振动测试、跌落测试、高温高湿测试等，以评估传感器在恶劣环境下的可靠性。
在进行压力传感器测试时，需要根据IEC62047-34标准的规定和方法进行操作，以确保传感器的质量和性能达到要求。同时，该标准也为制造商提供了测试方法和质量保证的依据，有助于提高产品的可靠性和竞争力。
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