- 现行
- 正在执行有效
- 2002-05-23 颁布
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基本信息:
- 标准号:IEC 60748-23-2:2002 EN
- 标准名称:半导体器件-集成电路-第23-2部分:混合集成电路和薄膜结构-生产线认证-内部目视检查和特殊测试
- 英文名称:Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-2: Hybrid integrated circuits and film structures - Manufacturing line certification - Internal visual inspection and special tests
- 标准状态:现行
- 发布日期:2002-05-23
文档简介
混合集成电路和薄膜结构-制造线认证-内部视觉检查和特殊测试是一个国际电工委员会(IEC)制定的标准,专门针对半导体设备中的集成电路部分。这部分标准主要涉及到混合集成电路和薄膜结构的制造生产线认证。
具体来说,这个标准详细规定了内部视觉检查和特殊测试的要求和方法。内部视觉检查是一种通过高清晰度显微镜或类似设备,对集成电路内部结构进行观察和评估的方法,以检测可能存在的制造缺陷或不良工艺。
特殊测试则是指一系列针对特定电路性能、功能和可靠性的测试,以确保生产出的集成电路能够满足预期的规格和性能要求。这些测试可能包括电气性能测试、功能测试、温度和环境适应性测试、长期稳定性测试等。
此外,该标准还涉及到生产线的质量控制和管理,包括生产线设备的维护和校准、测试数据的记录和分析、生产过程的监控和记录等。所有这些步骤都必须在符合IEC60748-23-2:2002EN标准的条件下进行,以确保生产出的集成电路具有高质量和可靠性。
IEC60748-23-2:2002EN标准对于半导体设备制造商来说非常重要,因为它为制造出高质量、可靠性的集成电路提供了明确和详细的标准和要求。这些要求不仅
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