- 现行
- 正在执行有效
- 1994-03-01 颁布
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基本信息:
- 标准号:IEC 60748-20-1:1994 EN-FR
- 标准名称:半导体器件-集成电路-第20部分:薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的一般规范-第1部分:内部目视检查要求
- 英文名称:Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 20: Generic specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits - Section 1: Requirements for internal visual examination
- 标准状态:现行
- 发布日期:1994-03-01
文档简介
IEC60748标准是一个专门针对薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的通用规范,旨在提供一套通用的技术要求和测试方法。该标准由多个部分组成,其中第20部分专门针对内部视觉检查(IVI)的要求。
内部视觉检查(IVI)是一种用于评估薄膜集成电路和混合薄膜集成电路性能的重要方法。它通过使用高倍显微镜和适当的照明技术,检查电路中可能存在的缺陷和不良情况。通过IVI,可以识别和定位可能影响电路性能的问题,如电路断裂、焊点缺陷、杂质污染等。
具体来说,IEC60748-20-1:1994EN-FR标准对内部视觉检查(IVI)提出了以下要求:
1.设备要求:用于进行IVI的显微镜应具有适当的放大倍数和分辨率,以确保能够清晰地观察到电路中的细节。此外,显微镜应具有适当的照明系统,以确保能够获得足够的光线,以便在各种条件下进行观察。
2.检查程序:IVI应遵循一套明确的检查程序,包括适当的观察角度、照明方法和观察时间。这些程序应考虑到薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的特点,以确保能够全面评估其性能。
3.缺陷识别:IVI应能够识别和记录各种类型的缺陷,如电路断裂、焊点缺陷、杂质污染等。这些缺陷应按照其严重程度进行分类,并给出相应的评级。
4.可靠性:进行IVI时应考虑到可靠性和可重复性因素。对于相同的电路样品,应能够重复观察到相似的结果,以确保IVI的有效性。
IEC60748-20-1:1994EN-FR标准为内部视觉检查(IVI)提供了详细的规范和要求,以确保薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的性能得到充分评估和保障。在进行薄膜集成电路和混合薄膜
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