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热膨胀系数重要意义：引起面形变化，影响成像质量（石英玻璃500nm/m.℃）影响成像质量降低分辨率3.2光学石英玻璃的热膨胀系数第三章：光学石英玻璃关键性能探索

3.2低膨胀石英玻璃第三章：光学石英玻璃关键性能探索OR+4OOO掺杂石英玻璃固相掺杂技术液相掺杂技术1974年中国建材总院顾真安院士带领团队采用卧式CVD工艺，成功研制低膨胀石英玻璃材料，并制定相关标准（JC227-1981QSD低膨胀石英玻璃管、JC-T679玻璃平均线性热膨胀系数试验方法）2014年，我院率先采用立式气相掺杂工艺，开展低膨胀石英玻璃块体材料研究立式CVD掺杂沉积工艺图卧式CVD掺杂沉积工艺图3.2光学石英玻璃的发展历史第三章：光学石英玻璃关键性能探索化学气相沉积工艺（CVD）：通过气化器将一定含量的SiCl4和TiCl4液体气化后通过燃烧器喷射到1600-1700℃氢氧焰中，形成SiO2-TiO2沉积颗粒，颗粒在旋转的沉积基底上熔融玻璃化，最终制得低膨胀石英玻璃。

FurnaceBurnerSiCl4+TiCl4O2H2Ingot3.2.2低膨胀石英玻璃制备原理第三章：光学石英玻璃关键性能探索性能参数高纯石英玻璃超低膨胀微晶玻璃低膨胀石英玻璃膨胀系数5.7×10-7/℃（1±5）×10-8/℃（1±5）×10-8/℃密度2.19g/cm32.53g/cm32.21g/cm3可焊接性一般不可焊接良好单体镜坯米级以上米级以上米级以上组分SiO2以Li2O、Al2O3、SiO2为主要成分SiO2+TiO2主要应用透镜、光掩膜基板等地面精密光学系统反射镜极紫外光刻、空间反射镜等3.2.2低膨胀石英玻璃特点第三章：光学石英玻璃关键性能探索6名称反射镜外形尺寸(mm)加工数量加工后面形主镜Ф456×8910.0137λ次镜Ф135×2810.012λ三镜380×117×6410.015λ平面镜80×4810.012λ3.2.2

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