ITO玻璃浅显的知识讲解

11ITO玻璃入门知识12ITO(IndiumTinOxide)玻璃简介

在普通玻璃的一个外表镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃。特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度一、什么是ITO13ITO玻璃的根本结构:基板sio2

ITO二、ITO玻璃的根本结构14基板:常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm

基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子、洛玻根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业中较常用的为钠钙型玻璃.

优点缺点钠钙型玻璃成本低含有钠、钾等离子,易产生渗透,影响产品性能硼硅型玻璃玻璃硬度高,透过率好成本较高二、ITO玻璃的根本结构15〔1〕Si02层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力.〔2〕SiO2层的膜厚:标准膜厚一般为20-30nm二、ITO玻璃的根本结构Si02层：16ITO(IndiumTinOxid)层:为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn〔即Tin)的含量约为10%。随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小.-----应改为“随着ITO电阻值的增加,ITO层的厚度逐渐减小。”二、ITO玻璃的根本结构17三、ITO玻璃的分类根据基板玻璃外表状态的不同，通常分为以下三种类型：类型说明TN未抛光型直接在玻璃的浮法面进行镀膜HTN简单抛光型/TN精选玻璃将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜STN超抛光型将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜18四、ITO玻璃的生产工艺流程ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：〔1〕切割倒角；〔2〕抛光；〔3〕镀膜注：TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。19ITO玻璃简要生产工艺流程如下：原片来料检验切割磨边倒角清洗检验清洗抛光检查SI02镀膜ITO镀膜检验包装入库四、ITO玻璃的生产工艺流程TN型玻璃不需经此流程110五、ITO玻璃的评价参数5.1透过率：在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。

透过率定义：透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率Tt=T2/T1X100%。1115.2方块电阻:如图d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/d，这就是方块电阻的定义，即R□=ρ/dL2L1dIR=ρ×L1/(d×L2)五、ITO玻璃的评价参数1125.3平整度:平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，外表最高点与最低点的差值为h。Lh玻璃微观表面ITO玻璃基板平整度参数包括：1、玻璃外表粗糙度；2、基板外表波纹度；3、基板翘曲度；4、基板垂直度；5、ITO膜外表粗糙度；6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。五、ITO玻璃的评价参数113基板翘曲度:用h/L表示(如图)即翘曲的高度与翘起边的长度之比Lh其中要求如下:——厚度≥0.7mm的基片玻璃，翘曲度〔h/L〕≤0.1%。──厚度≤0.55mm的基片玻璃，翘曲度〔h/L〕≤0.15%。——不允许有S形翘曲五、ITO玻璃的评价参数114基板垂直度:用a/L表示(如图)用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度La通常a/L≤0.1%五、ITO玻璃的评价参数1155.4化学稳定性:ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。a)耐碱性镀层在温度为60±2℃,浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。b)耐酸性在25±2℃,6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。c)耐溶剂性能将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯)中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。五、ITO玻璃的评价参数1165.5热稳定性:在空气中经30分钟300±5℃〔触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃〕高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%5.6附着力:用3M胶带粘在玻璃外表迅速撕开,ITO层无明显开裂现象五、ITO玻璃的评价参数117六、ITO膜面的判定拉伸浮法方向相关定义:浮法方向:在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向.118ITO膜面主要判定方法:(1)将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点,如果显示不为”1”,那么所测试面为ITO膜面;(2)用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大,测所测面为非ITO膜面(3)通过大角识别:以16×14英寸的玻璃为例六、ITO膜面的判定119七、ITO玻璃使用常见问题ITO玻璃异常LCD的影响基板中的钠离子发生渗透字肥基板的波纹度较差排骨彩虹基板的粗糙度较差涂膜的均匀性；点状彩虹面电阻不均蚀刻易发生断短路玻璃表面较脏内污,短断路ITO测射不均上下短路翘曲度差LCD生产中定位不准表面伤痕、异物、气泡LCD显示效果异常磨边倒角粗糙制程中易破损常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响:120八、ITO玻璃的使用本卷须知主要本卷须知:1、ITO玻璃连同包装应存放在枯燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜；2、ITO