工艺真空系统培训介绍PV系统工艺流程及设备

PV系统工艺流程及设备目录一、PV系统的功能二、PV系统的基本工艺流程三、PV系统的布置与供应情况四、PV系统工艺设备介绍一、PV系统的功能1.1使用真空系统分类工艺真空（ProcessVacuum）系统使用的PV系统是为制程机台真空设备或机械手提供低真空。如以真空为原动力，利用机械手臂的真空吸盘吸附面板等制品进行搬运、翻转等动作，从而实现自动化生产。清扫真空（HouseVacuum）系统该系统属于负压型的集尘系统，真空度仅为低真空，操作压力（真空度）介于排气系统与工艺真空之间一、PV系统的功能1.2PV系统功能满足制造工艺生产维持PV系统保证产线运行稳定提高生产效率满足真空度满足抽速满足洁净厂房生产设备-600mmHg以上真空度的需求，以稳定固定基板。设备机台快速搬运玻璃基板的过程中，真空度在不断迅速恢复。稳定的抽速，保证设备快速固定和移动基板，促进自动化程度，提高效率。稳定而符合要求的真空供应，可保证设备持续自动化运行，以促进生产的稳定性。二、PV系统的基本工艺流程排气(VT)MCHWR(19℃)MCHWS(13℃)接环网B真空泵真空罐2.1系统基本流程系统动力需求电力需求CDA气源中温冷冻水一般排气二、PV系统的基本工艺流程2.2系统动力需求二、PV系统的基本工艺流程2.3系统方案PV系统通过并联的真空泵不断抽取系统环网中的空气，以使管道环网可以为设备机台提供需求的真空，同时利用真空稳压罐来缓冲负压波动。同层供应的两个PV子系统用带自控阀的旁通管相连。当一个子系统出现动力故障时，可打开连通阀组将另一个环网合并起来，实现子系统间相互驰援，提高系统稳定性。冷却方式为水冷，冷却水采用15/22℃的中温冷冻水。相对于风冷效果更好，有利于系统的稳定性，提高真空泵的使用寿命。系统的排气统一接入厂房的一般排气系统，由屋顶排出。避免在站房附近排放导致环境温度升高。二、PV系统的基本工艺流程2.4系统运行方式系统运行的所有机组全变频的运行方式：全变频无缝衔接贴紧使用需求。二、PV系统的基本工艺流程2.5自控系统功能PV系统可实现设备频率根据期望值自行调整、运行台数依负压范围加减载以宏观调控、设备随运行时间自切换以维保、设备故障报警自切换以保护等功能。同时，PV系统实现FMCS进行远程监控。真空泵运行主要参数：1.泵启停状态；2.故障报警；3.泵运行时间，累积运行20d后，顺序切换备用泵；4.泵运行温度，泵运行温度达到100℃，发出报警；系统真空度：1.真空储罐和系统管路最远端的压力参数；2.当压力大于-80KPa时，增加泵运行频率或增加泵运行台数；3.当压力小于-90KPa时，减小泵运行频率或减少泵运行台数。冷却水主要参数：1.冷却水的供回温差，当供回水温差大于15℃，发出报警信号；2.冷却水的供回温度，当回水温度大于30℃，发出报警信号；3.冷却水的流量，当流量低于2m³/h时发出报警信号。监控的主要数据：二、PV系统的基本工艺流程2.6系统的优势1.根据期望负压自动启停泵或升降频率以维持供应稳定；2.远程监视关键供应品质和设备健康状况，便于及时调整；3.设备至泵温上限或其他故障，自动切换完好备用泵；4.根据设备台时自动切换运行，平衡设备使用寿命；5.真空泵使用U电驱动，不受短时间内突然停电的影响；6.环网方案，且环网间用旁通相连接，使用点真空度更稳定。四、PV系统工艺设备介绍4.1真空泵油润滑变频螺杆真空泵四、PV系统工艺设备介绍

为什么选用油润滑变频螺杆真空泵？可靠高效节能四、PV系统工艺设备介绍为什么选择油润滑变频调速真空泵更可靠？

1.工频螺杆真空泵无法贴合不断变化的实际真空需求，在遇到真空需求变化时，工频泵需要通过开停的方式来适应需求。如下图所示，在开停过程中有大量的能耗浪费以及形成整个管路系统的压力波动。而变频调速可使系统平稳可靠运行，不会产生较大的压力波动。四、PV系统工艺设备介绍2.由于无油作为冷却介质，额外的水冷不能彻底冷却机头，只能冷却机头外围部件，导致机头可能需要频繁大修，给客户造成高昂的后期维修成本。同时，无油螺杆真空泵设计主要针对10mbar以下具有复杂气体组分的应用,使用无油螺杆真空泵,可能”过度投资”。四、PV系统工艺设备介绍为什么变频调速真空泵更高效？

变频螺杆真空泵采用先进的变频直驱技术，通过入口压力传感器反馈，控制器对压力波动趋势以及其他运行状态参数作出分析，给变频器调速指令，快速响应精确地保持入口真空压力，是真空泵的抽速和能耗贴合用户实际需求。横坐标为时间，蓝色区域为需求，红线为工频泵的运行曲线，黄线为变频泵的运行曲线，黑色区域为浪费的能耗，可见变频泵节约了绝大部分因为需求波动所带来的能耗浪费。四、PV系统工艺设备介绍油气分离器排气进气过滤冷却器电控柜进气控制阀循环油过滤MkV控制器机头油润滑变频螺杆真空泵的主要组成结构：进气口进气过滤器进气控制阀机头油气分离器油过滤器油冷却器循环油泵油润滑变频螺杆真空泵的工作原理进气油气混合物油排气四、PV系统工艺设备介绍油润滑变频螺杆真空泵主要技术参数机型型号：GHS730VSD+w序号项目单位额定技术参数1极限真空mbar（a）0.352抽速M³/h74~7303流量调节范围%10.13~100%4噪音dB（A）51~735排气出口温度℃环境温度+606冷却类型/水冷冷却水量M³/h0.6温升℃10进水压力MPa0.25~0.5四、PV系统工艺设备介绍油润滑变频螺杆真空泵主要技术参数机型型号：GHS730VSD+w序号项目单位额定技术参数7马达名义轴功率KW118电压V/HZ380/509马达启动方式/VSD

start10电机转速Rpm600~600011重量KG51012外形尺寸mmL*W*H=1300*900*110013进气口尺寸/PN6DN80flange14排气口尺寸/DN65bsp四、PV系统工艺设备介绍4.2真空罐真空罐设置在真空泵与真空主管环网之间，主要作用是缓解系统的压力波动，使系统运行更平稳。序号项目单位额定技术参数1容积M³202设计压力mmHg-7593工作压力mmHg-6004设计温度℃505工作温度℃256材质/304四、PV系统工艺设备介绍4.3系统管材管件材质的选用真空系统的管道管材采用U-PVC硬质聚氯乙烯（SCH80）。冷却水系统的管材采用镀锌钢管。排气管采用螺旋缝埋弧焊钢管，并考虑防烫措施，保温材料为带铝箔的离心玻璃棉。四、PV系统工艺设备介绍4.3PV系统主要的管材管件管道弯头三通大小头四、PV系统工艺设备介绍法兰过滤器球阀蝶阀四、PV系统工艺设备介绍4.4PV系统管道气压试验一般正压工业气体管道气压强度试验为设计压力的1.15倍，对于真空管道规定气压强度试验压力为0.2MPa，在该压力下稳压10min，以无泄漏，目测管道无变形