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GB/T20725-202x/ISO17470：20141本文件给出了用电子探针或者扫描电镜中的波谱仪获得试样特定体积内(μm3尺度）的X射线谱，进对应于n=2,3,4……的衍射角出现的谱峰。n为整数。高阶衍射是n=2,3,4……的衍射角度出现的谱峰。注：本方法也包括入射电子束对试样表面一个很小区域进行快速扫描的分析。最大电子束尺寸或者电子束扫描范围，宜通EPMA：电子探针显微分析（electronprobemicroanWDS：波谱仪（wavelengthdispersiveX-rayspectromGB/T20725-202x/ISO17470：20142应确保仪器状态良好，特别是电子束正确合轴、束流稳定、选择适合于所分析试样的束流和加速电注1：峰位、峰的相对高度和峰的分辨率（FWHM）等对不同试样和不同仪器可能会注2：如果试样表面不平、未抛光或者不垂直于电子束，应考虑这些因素会影响到入射电子束能量应高于所分析元素的X射线电离能，但要尽量减小试样损伤、试样污染和避免XI=C×i[(E0-Ec)/Ec]1.7=C×i(U–1)1.7………（1）C─常数；I─入射束流，单位为安培(A)；U─过压比：E0/Ec。别大的试样，例如Be~F的超轻元素，推荐入射电子能量用15keV或者更低，以减少GB/T20725-202x/ISO17470：20143分地分辨检测的峰形和峰高，一个测量的谱峰在识别的谱峰强度与背底强度接近时，该谱峰存在式中:文献[2]中给出了X线表的示例。GB/T20725-202x/ISO17470：20144试样定性分析时即使没有检测到某元素，也不能推断该元素不存在，只能说明在特定的分析条件式中:Ip─参考物质的峰强度（CPSIB─参考物质的背底强度（CPSI’B─试样背底强度（CPS 表示，近似等于。对痕量元素，假定X射线强度和浓度的关系是线性关系，可以GB/T20725-202x/ISO17470：2014）；GB/T20725-202x/ISO17470：2014b)客户名称和地址j)入射电子束照射面积2k)脉冲高度分析器的使用状况及其阈值和4GB/T20725-202x/ISO17470：20148[3]GoldsteinJ.I,et

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