电子厂静电防护以及管理规范样本

HYPERLINK目HYPERLINK合用范畴HYPERLINK引用原则HYPERLINK名词术语HYPERLINK防静电工作区系统HYPERLINK人体防静电系统HYPERLINK职责HYPERLINK培训HYPERLINK采购HYPERLINK文献生效日期HYPERLINK记录HYPERLINK\l"l"附录目为避免静电敏感元器件在生产、运送、储存、检测等过程中受到静电释放影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立《电子产品制造静电防护技术规定》，以保证产品品质，增长可靠性，减低不良率，节约产品工时成本，减少维修费用。基于《电子产品制造静电防护技术规定》文献颁布，提高员工对ESD结识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，增进生产管理水平之提高。合用范畴本文合用于所有车间中生产制程及电子元器件采购、运送、储存、检测过程中静电防护。引用原则SJ/T10694-1996 《电子产品制造防静电系统测试办法》GB/T15463-1995《静电安全名词术语》GJB3007–97 《防静电工作区技术规定》GJB1649–93 《电子产品防静电放电控制大纲》GB1–89 《防静电工作服》SJ/T10533-94 《电子设备制造防静电技术规定》SJ/T10630-1995《电子元器件制造防静电技术规定》ANSI/ESDSTM3.1-《静电放电敏感产品防护用原则：离子发生器》ANSI/ESDS20.20-1999《建立一种静电放电控制方案—保护电气和电子零件，装置和设备》名词术语静电：一种处在相对稳定状态电荷。它所引起磁场效应可以忽视不计（静电可由物质接触与分离、静电感应、介质极化和带电微粒附着等物理过程而产生）。ESD：ElectronicStaticDischarge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起静电电荷在不同电势物体上转移。后常指静电防护，即避免静电释放发生。静电感应：当带电物体接近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。ESDS：ElectronicStaticDischargeSensitive，静电放电敏感（），通惯用来指静电敏感元器件。防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确区域界限形成工作场地。静电敏感度：ElectrostaticSensitivity，元器件所能承受静电放电电压值。表面电阻/点对点电阻：在与材料同一侧面相接触两个规定形状电极之间，直流电压对于流过电流比值。该测量成果以欧姆为单位来表达。体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料相对两面相接触两个规定形状电极之间，直流电压对于流过电流比值。该测量成果以欧姆为单位来表达。摩擦起电：当使两种材料接触或互相摩擦后分离时，产生静电荷。摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷电压。ESD损伤：由静电放电引起电子元器件性能退化或功能失效。消电时间（DecayTime）：一种静电压从其初始值减少到一种给定值（普通是初始值10%）所需要时间。注：国际惯例对于不大于1E6欧姆电阻使用10V电压测量，不不大于或等于1E6欧姆电阻使用100V电压测量，防静电工作区系统防静电工作区划分：依照GJB1649规定静电放电电压敏感静电放电敏感元器件\组件和设备分级.静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:静电敏感度级别静电敏感电压（人体模型—HBM）I级0~1999VII级~3999VIII级4000~15999V依照该项原则规定，所规定ESD控制大纲普通只包括对I和II级敏感产品防护。现按照元器件静电敏感度和生产线实际状况如下：高速器件（如蓝牙耳机等含高频器件组件）、较大规模集成电路（如CMOS摄像模块）静电敏感度相对较高，凡是含这些器件半成品生产线均定为I级；普通器件如TI计算器等，没有用到上述类型器件产品，则生产这些产品生产线不需要严格防静电办法。仅仅是器件存储和运送，也不需要严格防静电办法，理由是器件在这个时候没有被操作。把这些生产线或车间定为II级；按照上述理由，现规定敏感级别为：级别区域I级BONDING车间、COB车间、SMT车间，含CMOS照相模块或高频通讯产品电子产品（半成品）装配拉等II级不含CMOS照相模块或高频通讯产品电子产品装配拉，普通电子产品半成品包装区域、货仓电子料区域，生产仓，收料仓等公司内部由黄、黑双色斑马线围起区域或门口挂有静电标示牌车间为防静电工作区。元器件敏感度分级由QC1ESD工程师按后附录1——《ESDS元器件分类》酌情分级，并拟定。防静电工作区基本环境规定防静电工作区应保持干净，避免有灰尘堆积或漂浮状态发生车间内温湿度控制结合车间实际状况定为：区域温度湿度百级干净室21250%~60%千级干净室21260%~70%普通车间23340%~70%在不对产品导致有害影响前提下，容许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增长环境湿度。防静电工作区应清晰标明区域界限以及警示标志，见附录14。规定使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，普通状况下容许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。防静电工作区接地系统应有独立可靠接地装置，接地电阻普通应不大于10欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线规定如下：接地线截面积接地电阻规定接地总线不不大于100mm2铜制导线不大于10欧姆ESD线不得直接接在电源零线上。ESD线不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大地线可以作为ESD地线，但需保证电源地线与零线不能搭接。接地支干线不不大于6mm2铜制导线不大于10欧姆设备和工作台接地线不不大于1.25mm2多股或单股铜制绝缘套导线不大于10欧姆或0.8兆欧~1.2兆欧新增ESD地线应用绿色绝缘套标记，本来使用黄绿色绝缘套标记可以继续使用。台垫等物品接地配件按照来料颜色使用。ESD接地详情参阅《南太接地系统》。厂房接地总线接地电阻不大于10欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一种月一次。并填写《厂房接地电阻测试登记表》。车间内部设备和工作台接地线接地状况由PE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试登记表》。测试台防静电设备，工器具接地由TE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试登记表》。防静电区域设备及辅料规定I级区域II级区域防静电安全工作台防静电安全工作台防静电容器、运送工具（料盒、料箱、运送车）防静电容器、运送工具（料盒、料箱、运送车）防静电腕带防静电腕带防静电工衣（帽）防静电工衣（帽）防静电工鞋防静电工鞋防静电测试架防静电烙铁（如需使用烙铁）离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定）防静电烙铁（如需使用烙铁）防静电工作区ESD技术规定防静电地板用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，禁止使用强酸、强碱或能溶解PVC材料化学溶剂进行清洗，如果属于更严重污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。禁止带有尖刺、粗糙重物在地板表面擦划、拖拉。不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上状况，应及时清洁。使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，普通6个月一次。地板蜡电阻不大于1E9欧姆。地板安装时应满足ESD技术指标涉及：表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范畴以内。生产部应及时向行政部规定对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应及时告知QC1部ESD工程师。对于K4干净室地板，经IE评估且通过ESD工程师承认，可以不做地板打蜡。QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试办法见附录2，并填写《防静电地板电阻测试登记表》。防静电安全工作台（含测试台）各区域防静电安全工作台由负责该区域PE或TE拟定范畴。例如：回流焊后检查台、QC1检查台、修理台和测试台等。防静电安全工作台基本规定和禁止项目规定禁止工作台表面铺设防静电台垫，同步台垫必要接地。特殊状况可以没有台垫，但需经ESD工程师承认。工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易产生静电杂物.配备腕带接头、ESD地线、离子风机（可选）、防静电工具（可选）和防静电测试架距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于200V物件在防静电区内使用不符合防静电规定物料且必要时，必要得到QC1ESD工程师评估和承认。防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范畴以内。防静电台椅子应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均不大于1E9欧姆范畴。防静电胶帘表面电阻应在1E4~1E11欧姆内。PE或TE应每6个月做一次相应工作区域内防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试办法见附录3，填写《防静电台垫电阻测试登记表》。防静电工椅测试办法见附录8，填写《防静电工椅测试登记表》，如果有不合格，须及时更换。防静电辅料/工具防静电溶剂瓶：系统电阻在1E4~1E11欧姆范畴。防静电烙铁/焊接工具：从热端头到地电阻应不大于10欧姆。防静电文献袋(夹)：表面电阻在1E4~1E11欧姆范畴。PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试办法见附录7，填写《防静电辅料电阻测试登记表》。防静电包装及容器防静电容器涉及——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板料盒、等一切包装、储存ESDS容器。容许使用局部抗静电涂料对容器表面进行解决，但使用效果必要由有关PE定期检查。防静电容器应满足ESD技术指标：表面电阻(涉及内外表面)在1E4~1E11欧姆范畴，系统电阻在1E4~1E10欧姆范畴。如果产品或产品金属某些不直接与防静电容器接触，则容许防静电容器电阻不大于1E4欧姆。PE应每6个月做一次防静电容器（涉及吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试办法见附录4。填写《防静电周转容器电阻测试登记表》，测试成果由PE保存半年，并在符合原则容器上做标记。QC2应按SEF对来料包装袋和容器进行测试，并填写《防静电包装袋容器电阻测试登记表》。防静电运送工具及存储架等防静电运送工具涉及—ESD运送车、ESD小推车等为保护ESDS不受到外部强静电场影响，运送ESDS防静电运送工具应由高导电性材料（建议使用不锈钢）制作，车子经常固定期规定硬接地。其对地电阻应不大于10欧姆。当运送车由不锈钢构成时，且经常移动时，其对地电阻应不大于1E9欧姆。存储架表面电阻和对地电阻应不大于1E9欧姆。防静电运送工具应满足ESD技术指标：表面电阻和对地电阻不大于1E9欧姆。PE应每6个月做一次防静电运送车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试办法见附录5。填写《防静电运送工具/存储架电阻测试登记表》，测试成果由PE保存半年，并在符合原则运送工具上做标记。除静电离子风机/离子棒当防静电区域内不可避免需要使用会产生高静电材料时，且该材料规定被放置在离ESDS30厘米内时，必要使用离子风机或离子棒。对于不能接地又直接接触ESDS元件物体，必要保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生静电。离子风机在使用过程中会产生较大功率RF信号，因而进行通信产品测试车间不合用离子风机。如果要用，则需要通过QC1ESD工程师评估。悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米高度，（特殊工位可例外，但须经ESD工程师承认）离子风机出风口不能有异物阻挡。离子风机平衡电压保持在50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应不大于10秒（高风速）。台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30~45厘米左右，以保证有足够覆盖范畴和迅速静电消除。离子风机出风口不能有异物阻挡。离子风机平衡电压保持在50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应不大于3秒（高风速）。离子棒应悬挂在适当工作高度以保证除静电效果，离子棒平衡电压应保持在50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应不大于60秒。QC1ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写《除静电离子发生器测试登记表》，对不符合规定离子风机，应及时解决。其他防静电物料及有关规定不在上面列出来物料则按普通防静电规定，表面电阻在1E4~1E11欧姆内，系统电阻在1E4~1E11欧姆内。特殊状况下，如果找不到适当供应商，又通过ESD专人评估，确认不会对产品构成ESD隐患状况下，可以引入表面电阻或体积电阻不大于1E11欧姆物料。人体防静电系统防静电腕带直接接触ESDS任何人员都应按规定佩带防静电腕带（俗称静电带），禁止使用无线防静电腕带。防静电腕带接触线应内置一种1兆欧姆电阻，以保证人体安全以及迅速泻放静电，防静电腕带腕带应是导电性，表面电阻应不大于1E3欧姆。同步应保证防静电腕带与人体皮肤有良好接触，系统电阻应不大于35兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠连接在ESD线上。应每天一次测量防静电腕带系统电阻，由拉长填写《静电带检查登记表》，检查不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。防静电鞋/防静电鞋套所有进入防静电区域人员都应穿用防静电鞋/鞋套，防静电鞋/鞋套使用要保证鞋系统电阻在1E5~3.5E7欧姆范畴内。应每天一次测量防静电鞋/鞋套系统电阻，由拉长填写《防静电鞋/鞋套检查登记表》，检查不合格时应及时更换。防静电工作服防静电工作服涉及——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服规定使用导电网格防静电绸制作，制造规定应符合GB1之规定，其各某些之间应存在电气持续性。工作服设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽规定穿着整洁，所有纽扣（拉链）要系好（拉完全），头发必要包在工帽内，不能有外露。不同使用人员之防静电工作服按颜色区别：人员普通工作区域及千级干净室百级干净室生产部作业员工艳蓝色防静电服（帽）白色防静电连体服+浅蓝色条纹披肩帽品质部员工粉红色防静电服（帽）白色防静电连体服+粉红色条纹披肩帽工程人员深蓝色防静电服（帽）白色防静电连体服+深蓝色条纹披肩帽生产管理人员黄色防静电服（帽）白色防静电连体服+黄色条纹披肩帽外来人员白色防静电服（帽）白色防静电连体服+无条纹披肩帽购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（1E5欧姆~1E10欧姆）。生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试，测试办法见附录6，并填写《防静电工衣表面电阻测试登记表》，对于不符合指标规定防静电工衣，予以更换。防静电手套/指套由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E5~1E11欧姆范畴，摩擦电压不大于50V。人体综合接地测试系统规定手腕带-人体工鞋-人体批示灯电阻下限7.5E5欧姆1E5欧姆电阻上限3.5E7欧姆3.5E7欧姆电阻在范畴以内绿灯电阻不在范畴以内红灯每个进入防静电区域人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红灯，则表白测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进行测试并告知有关人员。人员防静电普通规定规定进入防静电区人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静电感应放电现象。在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免不必要走动，以及不必要大幅度身体运动，如弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线系统，要保证腕带与皮肤接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）某些，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件及组件接触次数。按需要逐个取用，不得一次倒出一堆IC散乱地放在工作台面上，已装贴有元器件PCB板不得裸露叠放，确需暂时叠放时必要用防静电材料隔离开。外来人员参观，必要有我司人员全程陪伴，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围斑马线地标，更不得随意触摸产品。职责生产经理、主管、科文等管理人员，职责涉及：负责做好物料、作业员、及其她进出防静电工作区人员及物品出入管理，保证其按ESD规定对的着装，保证作业员及在防静电工作区内人员对的使用ESD设备，涉及防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地板等；保证无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；对怀疑是静电损伤产品，需要保存样品并报告给相应部门作失效分析；定期检查防静电工衣、工鞋、腕带ESD品质，如有品质异常，及时向采购部提出采购申请更换；每天检查ESD设备、台垫等接地状况（目视），保证接地线对的连接到ESD总线上；每半年规定服务组对防静电地板进行打蜡。QC1ESD工程师/技术员，职责涉及：统筹全厂ESD控制，定期对生产线静电防护水平做出评估，并给出改进意见，提高其静电防护水平；负责寻找新防静电用品供应商，评估新购防静电用品性能；协助人力资源部进行ESD培训；监督各个部门ESD管理状况，及时反映ESD状况；对生产线静电损伤样品作失效分析，解决工序中ESD状况；定期检查除静电离子发生器性能，保证其正常工作；负责对打蜡后地板进行测量。行政部/维修组，职责涉及：行政部负责派人做好清洁工作，保证车间内相对空气湿度在各车间规定范畴内；维修组定期检查ESD总线接地状况，保证其状况良好；服务组依照生产部规定派人定期使用专用防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后告知QC1ESD工程师进行电阻测试。人力资源部，职责涉及：负责对新进厂员工进行初步防静电知识培训；定期对员工进行防静电知识培训，并进行培训再审核。开发部，职责涉及：开发部在设计新产品时应考虑到器件静电敏感度，尽量选用品有最大静电抗扰度元件；在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面静电敏感元件；规定供应商提供元器件静电敏感度级别。涉及人体模型(HBM)、机器模型(MM)和带电器件模型(CDM)(应列明何种原则)；做好SEF（涉及防静电指标，partnumber等）给QC2部，供QC2部抽测来料。QA及QC2部，职责涉及：拟定ESDS敏感级别，对成品进行静电放电模仿测试，确认静电敏感度；依照SEF负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品品质，如发现异常，应及时反馈信息给QC1ESD工程师或相应部门。PE工程师/技术员，职责涉及：定期检查防静电设备，保证其可以正常使用，涉及防静电台垫、地垫、防静电容器、运送工具和其他辅助工具表面电阻和系统电阻测试等；定期检查台垫和机器接地状况，保证接地良好。TE工程师/技术员，职责涉及：负责测试架，测试台接地和测试工位内防静电设备定期检查与控制。货仓工程师/技术员，职责涉及：负责货仓防静电办法维护和管理。定期告知QC1ESD工程师进行检测使用中防静电用品。培训对所有也许接触或接近ESDS人员，必要进行有关ESD知识培训，并加以教诲与训练，使之树立有效ESD防护观念。培训有效期为一年。人力资源部应填写《员工防静电知识培训考核登记表》。防静电培训内容涉及：静电学基本和静电损害静电性能测试防静电标示与包装防静电控制防静电设备使用和检测（有关人员）采购所有防静电用品采购均须要按照附录16《防静电制品采购流程图》执行文献生效日期本文献从文控中心正式发行日起开始生效。记录序号记录名称责任部门测量周期保存期限1防静电地板电阻测试登记表QC1部6个月抽测6个月2防静电台垫电阻测试登记表PE/TE部6个月抽测6个月3静电带检查登记表生产部每天1个月4防静电包装袋容器电阻测试登记表QC2部每一批抽测6个月5防静电周转容器电阻测试纪录表PE部6个月抽测6个月6除静电离子发生器测试登记表QC1部6个月抽测6个月7防静电手套指套电阻测试登记表QC1部每一批抽测6个月8防静电运送工具存储架电阻测试登记表PE部6个月抽测6个月109防静电工衣表面电阻测试登记表生产部6个月抽测6个月1210员工防静电知识培训考核纪录表人力资源部一年一年1311防静电辅料电阻测试登记表PE部6个月抽测6个月1412防静电鞋鞋套测试登记表生产部每天6个月1513厂房接地电阻测试纪录表行政部1个月抽测一年1614工作台地线接地电阻测试纪录表PE/TE部3个月抽测1个月1715防静电椅子电阻测试登记表PE部6个月抽测6个月附录a附录1：《ESDS元器件分类》I级：（0V~1999V）序号元器件类别条件及阐明1微波器件涉及肖特基二极管，点接触二极管，频率不不大于1GHz二极管2分立MOS场效应管涉及VWOS及VDMOS等等3表面声波（SAW）器件4结型场效应管5电荷耦合器件6精密稳压二极管7运算放大器涉及双极型工艺及MOS工艺8超高速集成电路涉及ECL、HCMOS、FAST等工艺9其她集成电路涉及CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜电阻器11混合电路使用I级静电敏感元器件组装混合电路12可控硅TA=100℃TO≤II级：（V~3999V）序号元器件类别条件及阐明1分立MOS场效应管涉及VMOS、VDMOS等2结型场效应晶体管3运算放大器涉及双极工艺和MOS工艺4超高速集成电路5其她集成电路涉及CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密电阻网络涉及ECL、HCMOS、FAST等工艺7混合电路使用II级静电敏感元器件组装混合电路8低功率双极工艺晶体管PT<100mW，IC<100mA附录2：《防静电地板表面电阻/系统电阻测试办法》按下图拟定防静电地板测试点每一种方格均代表一块地板，测试用电极一种放在中间地板上，此外一种电极依次放在此地板相对角四块地板上面，测量其表面电阻值。随机抽样测试点不少于20个区域，按下图所示，每点测量地板4点表面电阻值，并记录数据随机抽样测试点不少于5个区域，按下图所示测量地板系统电阻，并记录数据附录3：《防静电台垫/地垫电阻测试办法》按下图所示，每张台垫/地垫测量2组表面电阻值，并记录数据按下图所示，每张台垫/地垫测量2组对地电阻值，并记录数据附录4：《防静电容器电阻测试办法》按下图所示，测量容器表面电阻值，并记录数据按下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据附录5：《防静电运送工具/存储架测试办法》按下图所示，测量运转车/存储架电阻值，并记录数据附录6：《防静电工衣表面电阻测试办法》将防静电工衣平坦展开放置在光滑绝缘电阻不不大于1E12欧姆平板表面上测试用两电极应顺着导电丝放置按上图所示，测量3个测试点：同片测试（裤腰以上一点对裤腰如下一点）；袖对腰下部位测试（袖对裤腰如下一点）（对于连体服，用袖对脚测试取代袖对腰测试）；袖对袖测试。其中连体服需要加测鞋套对地电阻。附录7：《普通防静电材料电阻测试办法》对于新引入物料规定随机抽样至少三个样品，每一种样品至少随机测量三次。材料测试纪录应涉及表面电阻和体积电阻。表面电阻测试办法：将材料放置在一种光滑、平整、干净，且表面绝缘电阻不不大于1E12欧姆台面。在材料表面放置两个测试电极(30cm是建议值，如果材料不大于这个尺寸，则电极放在两对角面上)，如下图所示:体积电阻测试办法：将材料放置在一种光滑、平整、干净，且表面电阻不大于10欧姆金属面上，一种电极放置在金属面上，此外一种电极放置在被测物上。对于烙铁，只需要测量热金属头到地之间电阻。附录8：《防静电工椅测试办法》规定随机抽样至少5个样品，每一种样品至少随机测量三次（三个点）。防静电工椅测试纪录应涉及表面电阻和体积电阻。表面电阻测试办法：在表面放置两个测试电极，如下图所示:体积（对地）电阻测试办法：一种电极放置在金属面上，此外一种电极放置在椅子上。注意，在生产线进行定期检测时候，容许直接把一种电极放置在防静电地板上，此外一种电极放置在椅子上。附录9：《物体表面静电压测量办法》使用SimcoFMX002静电压表去测量物体表面静电压，要注意如下几点：仪表红外灯批示器要两个重叠，才算对焦，此时仪表距离被测物大概2.5厘米。静电压表在使用过程中需要接地。否则读数不精确。静电压表读数单位为KV。测试图例如下:附录10：《悬挂式/台式离子风机测试办法》测量悬挂式离子风机应使用原则离子风机测试仪，在评估新引入离子风机时候需要测量原则12个点平衡电压和消电时间。在平时定期测量时，只需测量3个电扇口正下方平衡电压和消电时间。原则12个点（以小网格表达）如下所示：对每一种点均应测量不少于三次。对每一种测试点平衡电压测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。对新引入悬挂式离子风机规定列表：（ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只对平衡电压提出了规定，未强制规定消电时间，因而，下表平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值）位置低风速高风速平衡电压(V)消电时间(S)平衡电压(V)消电时间(S)CenterTP5&TP80+50V<15s0+50V<10sTP2&TP11<25.0s<20.0s30cmTP1&TP100+50V<25.0s0+50V<20.0sTP4&TP7<20.0s<15.0s30cmTP3&TP120+50V<25.0s0+50V<20.0sTP6&TP9<20.0s<15.0s测量台式离子风机应使用原则离子风机测试仪测试，在评估新引入离子风机时候需要测量原则12个点平衡电压和消电时间。在平时定期测量时，只需测量正对电扇口30厘米和60厘米两个点平衡电压和消电时间。原则12个点（以黑竖条表达）如下所示：对每一种点均应测量不少于三次。对每一种测试点平衡电压测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。对新引入台式离子风机规定列表：（ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只对平衡电压提出了规定，未强制规定消电时间，因而，下表平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值）位置低风速高风速平衡电压(V)消电时间(S)平衡电压(V)消电时间(S)center1ft(TP2)0+50V<5.0s0+50V<3.0s2ft(TP5)<8.0s<6.0s3ft(TP8)<12.0s<10.0s4ft(TP11)<20.0s<15.0s30cm1ft(TP1)0+50VNA0+50VNA2ft(TP4)<30.0s<25.0s3ft(TP7)<15.0s<12.0s4ft(TP10)<25.0s<20.0s30cm1ft(TP3)0+50VNA0+50VNA2ft(TP6)<30.0s<25.0s3ft(TP9)<15.0s<12.0s4ft(TP12)<25.0s<20.0s附录11《手套/手指套测量办法》穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪两个电极分别放在两块互相绝缘金属板上面，然后操作员戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套大拇指和食指分别按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上读数，并记录下来。操作员分别用大拇指和其他手指按住金属板，然后读出测试仪上读数，并记录下来。每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上样品，每次测量均记录最大值。表面摩擦电压测试：操作员戴上1兆欧原则手腕带，鳄鱼夹夹在接地线上面并确认接地良好。操作员戴上手套/手指套。一只手拿取高绝缘塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后测量手套/手指套上面静电压，记录最大值。注意：仪器要离绝缘板30厘米以上，以免影响读数。每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上样品，每次测量均记录最大值。附录12防静电原则列表：表面电阻系统电阻防静电地板1E4~1E91E4~1E9防静电台垫/地垫1E4~1E91E4~1E9防静电包装袋/容器1E4~1E111E4~1E10防静电小推车/周转车不大于1E9不大于1E9防静电镊子/吸钳/吸锡器1E4~1E111E5~1E10防静电文献袋(夹)1E4~1E11防静电烙铁不大于10防静电溶剂瓶1E4~1E11防静电架子/元件架不大于1E9不大于1E9防静电椅子不大于1E9不大于1E9设备/工作台接地电阻（直接）不大于10设备/工作台接地电阻（带电阻）0.8E6~1.2E6厂房接地电阻不大于10普通防静电物料1E4~1E111E4~1E11防静电工作服1E5~1E10不大于1E9防静电工作鞋不大于1E9防静电手腕带不大于1E31E620%穿戴对地电阻摩擦电压防静电手套/指套1E5~1E11<50V防静电工作鞋1E5~3.5E7防静电手腕带7.5E5~3.5E7消电时间平衡电压防静电离子风机（悬挂