磁控膜玻璃脱膜现象浅析_第1页
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文档简介

导致脱膜有以下几个因素：原片、水质、真空度、清洗机、工艺气体、靶材。一、原片因素1.原片存放因素玻璃表面越新鲜，表面活性越大，与膜层的结合力越强，反之则差。使用存放期过长的玻璃，由于玻璃表面霉变和附着的污物会大量增加，而且附着力很强，清洗环节很难清除掉，这就造成膜层与基片的结合力大大降低，从而导致脱膜。建议视季节采用存放期在一个月以内的制镜级或汽车级浮法玻璃。2.原片切割因素许多原片生产厂家为了提高玻璃的切裁率，在切割刀上注了过多的煤油，这些煤油残留在原片上，在清洗环节难以清除掉，造成脱膜。在采购玻璃原片时，应要求无油切割。若不能无油切割，应在正式清洗前用稀盐酸或阴离子去垢剂进行预清洗。二、水质因素1.水处理设备水质的好坏对于镀膜是至关重要的。去离子水纯度应控制在电阻率10M欧姆以上。若低于该值，则应对阴阳离子交换树脂进行再生，否则，会因水质不纯导致原片清洗不净而脱膜。2.管道和水箱的杂质连接水处理设备和清洗机水箱的管道应定期吹扫清洗。因为管道中若残留不流动的水时间久了，会滋生细菌、藻类，在使用时会带到水箱里，使清洗水本身旅游活动过关，造成镀膜不牢。3.清洗机①清洗刷清洗刷使用一段时间后，上面会残留一些污物，包括油污、絮状物、纸屑、甚至细菌，若不能有效地进行清洗，也会带来污染，造成脱膜。所以，必须定期用蒸汽清洗机清洗毛刷，必要时，可用双氧水清洗。②风机风压大小，风刀角度调整的好坏将影响到原片能否吹干，若吹不干，镀膜后，肯定脱膜。必须保证进入真空室的玻璃干燥。4.真空度真空度必须达到一定标准方可镀膜，否则，会因气体中残留杂质气体，导致膜层成分不纯，结合力不强。一般应控制在10-3Pa。5.扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高，易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上，这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温，做好记录，尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候，更应如此。6.工艺气体、靶材若使用纯度不高的工艺气体或靶材，会使膜层中杂质成分偏高，产生大面积针孔，进而导致脱膜，所以采用高纯度气体和靶材是消除脱膜的重要前提。三、储存环节镀膜玻璃应储存在干燥、通风的环境中。若长期储存在潮湿、高温的环境中，易引起镀膜玻璃发霉，膜层脱落。四、运输环节我们经常发现，经过质检合格的钢化镀膜或小片镀膜在运到目的地后有脱膜现象发生。这是由于钢化镀膜或小片镀膜的包装不可能像大片镀膜那样紧密，加之运输时若玻璃放置与前进方向一致，片与片之间就有可能滑动、摩擦，导致脱膜。所以装车时，应尽可能使镀膜玻璃摆放方向与车辆前进方向垂直，有条件的话，每片镀膜玻璃的膜面粘贴薄膜。五、使用环境镀漠玻璃并不是任何环境下都可使用，它的使用是有条件的。在污染的环境中慎用，否则，会使镀膜玻璃的寿命大打折扣。如：用在浴池的镀膜玻璃

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