《连续双样品室等离子体清洗装置》

ICS21.020

CCSJ70

团体标准

T/QGCMLXXXX—2023

连续双样品室等离子体清洗装置

Continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

全国城市工业品贸易中心联合会发布

T/QGCMLXXXX—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国城市工业品贸易中心联合会提出并归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

II

T/QGCMLXXXX—2023

连续双样品室等离子体清洗装置

1范围

本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输及贮存。

本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T3767声学声压法测定噪声源生功率级和声能量级反射面上方近似自由场的工程法

GB/T4208外壳防护等级（IP代码）

GB/T5095.7电子设备用机电元件基本试验规程及测量方法第7部分:机械操作试验和密封性试验

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件

GB/T13306标牌

GB/T15706机械安全设计通则风险评估与风险减小

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

连续双样品室等离子体清洗装置continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

将多种待清洗工件放置在样品库的样品托上后，通过两侧送样装置和样品库升降装置的作用，方便

取送托盘至清洗位置，系统自动抽真空并充气，运动机构根据程序设置自动运行；启动设备后可实现自

动、单片、连续式清洗，有效提高清洗效率及清洗稳定性。

3.2

等离子清洗装置plasmacleaner

等离子清洗装置也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法无

法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离

子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组

分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

3.3

等离子体plasma

等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。

4构成

连续双样品室等离子体清洗装置的结构见图1所示，主要包括：

1

T/QGCMLXXXX—2023

a)等离子体清洗室；

b)送样装置；

c)样品库升降装置；

d)样品室；

e)多层样品托；

f)导电块；

g)连接通道。

注：1送样装置、2样品库升降装置、3样品室、4多层样品托、5导电块、6等离子体清洗室、7连接通道。

图1结构图

5技术要求

5.1工作条件

5.1.1环境温度:10℃～35℃。

5.1.2相对湿度:不大于80%。

5.1.3大气压力:76.0kPa～106.0kPa。

5.2外观

外观应符合下列要求:

a)外观整齐、清洁,表面涂、镀层无明显剥落、擦伤、露底及污垢；

b)所有铭牌及标志应清晰和耐久，内容符合相关法规、标准的要求；

c)所有紧固件不得松动、各种调节件灵活，功能正常所有部件表面不得锈蚀。

5.3功能要求

导电块与高频放电电源电性连接，等离子体清洗室、送样装置和样品库升降装置采用全自动控制功

能。全自动控制避免连续开启等离子体清洗室导致等离子体清洗室气氛变化，从而导致清洗效果的不一

致性。

5.4防护等级

应不低于GB/T4208中规定的外壳防护等级IP65的要求。

5.5安全要求

a)电气安全应符合GB/T5226.1的要求；

b)机械安全应符合GB/T15706的要求。

5.6气密性

2

T/QGCMLXXXX—2023

各部件连接处不应出现泄漏现象。

5.7工作稳定性

应进行工作稳定性试验，通电试验时间不小于48h，每24h检查一次。

5.8噪声

在空载运转条件下，整机噪声声压级不应大于85dB(A)。

5.9环境适应性

5.9.1耐低温

符合GB/T2423.1中5.9.1的要求。

5.9.2耐高温

符合GB/T2423.2中5.9.2的要求。

5.9.3交变湿热

符合GB/T2423.4中5.9.3的要求。

6试验方法

6.1外观

在自然光照下用目测法进行观察。

6.2防护等级

防护等级试验按GB/T4208的规定进行。

6.3安全要求

6.3.1电气安全

电气安全试验按GB/T5226.1的规定进行。

6.3.2机械安全

机械安全试验按GB/T15706的规定进行。

6.4气密性

连接管路后，观察各部件接头处，各部件连接处不应出现泄漏现象。

6.5工作稳定性

试验中的测量时间间隔不得大于24h，共试验48h。试验中，如出现关连性故障则终止试验，等故障

排除后重新开始计时试验，如出现非关连性故障，等故障排除后继续试验，排除故障过程计时。

6.6噪声

工作噪声试验按GB/T3767的规定执行。

6.7环境适应性试验

6.7.1耐低温

耐低温试验按GB/T2423.1的规定进行。

6.7.2耐高温

耐高温试验按GB/T2423.2的规定进行。

3

T/QGCMLXXXX—2023

6.7.3交变湿热

交变湿热试验按GB/T2423.4的规定进行。

7检验规则

检验规则分为出厂检验和型式检验。

7.1出厂检验

7.1.1每批产品由公司质检部门按本文件检验合格出具合格证后方可出厂。

7.1.2检验项目见表1所示。

7.2型式检验

7.2.1型式检验项目见表1所示。

7.2.2型式检验正常生产时每年一次，有下列情况时也需进行型式检验：

a)新产品定型或老产品长期停产一年以上恢复生产时；

b)正式生产后，如材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时；

c)用户对产品性能质量有异议时；

d)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；

e)国家相关管理部门提出型式检验的要求时。

表1检验项目

检验项目出厂检验型式检验

外观√√

功能要求√√

防护等级—√

电气安全—√

机械安全—√

气密性—√

工作稳定性—√

噪声—√

耐低温—√

耐高温—√

交变湿热—√

注：“√”表示检验项目；“—”表示不检验项目

7.3判定规则

7.3.1在出厂检验项目中全部符合本文件要求则判为合格，若有一项不符合则判为不合格。

7.3.2在型式检验项目中若全部符合本文件要求则判定为合格；若有一项不符合则随机抽取2倍量样

品数进行复检，若仍有不符合则判定型式检验不合格。

8标志、包装、运输及贮存

8.1标志

8.1.1标志应符合GB/T13306分规定，产品标志应包括以下内容：

a)产品名称；

b)规格型号；

c)生产日期；

d)生产企业名称和地址；

e)出厂检验合格证明；

4

T/QGCMLXXXX—2023

f)主要技术参数。

8.1.2包装标志应符合GB/T191的规定。

8.2包装

包装应牢固，包装箱内应有下列文件：

a)产品合格证；

b)安装使用说明书；

c)装箱单；

d)检验合格证；

e)随机附件及备件清单等。

8.3运输

运输过程中不应有剧烈机械冲击，不应倾倒放置，运输过程中应轻拿轻放，严防重压。

8.4贮存

产品应存放在干燥、通风的环境中，并注意防潮、防腐蚀性。

5

T/QGCMLXXXX—2023

目次

前言.................................................................................II

1范围...............................................................................1

2规范性引用文件.....................................................................1

3术语和定义.........................................................................1

4构成...............................................................................1

5技术要求...........................................................................2

6试验方法...........................................................................3

7检验规则...........................................................................4

8标志、包装、运输及贮存.............................................................4

I

T/QGCMLXXXX—2023

连续双样品室等离子体清洗装置

1范围

本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输及贮存。

本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T3767声学声压法测定噪声源生功率级和声能量级反射面上方近似自由场的工程法

GB/T4208外壳防护等级（IP代码）

GB/T5095.7电子设备用机电元件基本试验规程及测量方法第7部分:机械操作试验和密封性试验

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件

GB/T13306标牌

GB/T15706机械安全设计通则风险评估与风险减小

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

连续双样品室等离子体清洗装置continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

将多种待清洗工件放置在样品库的样品托上后，通过两侧送样装置和样品库升降装置的作用，方便

取送托盘至清洗位置，系统自动抽真空并充气，运动机构根据程序设置自动运行；启动设备后可实现自

动、单片、连续式清洗，有效提高清洗效率及清洗稳定性。

3.2

等离子清洗装置plasmacleaner

等离子清洗装置也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法无

法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离

子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组

分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

3.3

等离子体plasma

等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。

4构成

连续双样品室等离子体清洗装置的结构见图1所示，主要包括：

1

T/QGCMLXXXX—2023

a)等离子体清洗室；

b)送样装置；

c)样品库升降装置；

d)样品室；

e)多层样品托；

f)导电块；

g)连接通道。

注：1送样装置、2样品库升降装置、3样品室、4多层样品托、5导电块、6等离子体清洗室、7连接通道。

图1结构图

5技术要求

5.1工作条件

5.1.1环境温度:10℃～35℃。

5.1.2相对湿度:不大于80%。

5.1.3大气压力:76.0kPa～106.0kPa。

5.2外观

外观应符合下列要求:

a)外观整齐、清洁,表面涂、镀层无明显剥落、擦伤、露底及污垢；

b)所有铭牌及标志应清晰和耐久，内容符合相关法规、标准的要求；

c)所有紧固件不得松动、各种调节件灵活，功能正常所有部件表面不得锈蚀。

5.3功能要求

导电块与高频放电电源电性连接，等离子体清洗室、送样装置和样品库升降装置采用全自动控制功

能。全自动控制避免连续开启等离子体清洗室导致等离子体清洗室气氛变化，从而导致清洗效果的不一

致性。

5.4防护等级

应不低于GB/T4208中规定的外壳防护等级IP65的要求。

5.5安全要求

a)电气安全应符合GB/T5226.1的要求；

b)机械安全应符合GB/T15706的要求。

5.6气密性

2

T/QGCMLXXXX—2023

各部件连接处不应出现泄漏现象。

5.7工作稳定性

应进行工作稳定性试验，通电试验时间不小于48h，每24h检查一次。

5.8噪声

在空载运转条件下，整机噪声声压级不应大于85dB(A)。

5.9环境适应性

5.9.1耐低温

符合GB/T2423.1中5.9.1的要求。

5.9.2耐高温

符合GB/T2423.2中5.9.2的要求。

5.9.3交变湿热

符合GB/T2423.4中5.9.3的要求。

6试验方法

6.1外观

在自然光照下用目测法进行观察。

6.2防护等级

防护等级试验按GB/T4208的规定进行。

6.3安全要求

6.3.1电气安全

电气安全试验按GB/T5226.1的规定进行。

6.3.2机械安全

机械安全试验按GB/T15706的规定进行。

6.4气密性

连接管路后，观察各部件接头处，各部件连接处不应出现泄漏现象。

6.5工作稳定性

试验中的测量时间间隔不得大于24h，共试验48h。试验中，如出现关连性故障则终止试验，等故障

排除后重新开始计时试验，如出现非关连性故障，等故障排除后继续试验，排除故障过程计时。

6.6噪声

工作噪声试验按GB/T3767的规定执行。

6.7环境适应性试验

6.7.1耐低温

耐低温试验按GB/T2423.1的规定进行。

6.7.2耐高温

耐高温试验按GB/T2423.2的规定进行。

3

T/QGCMLXXXX—2023

6.7.3交变湿热

交变湿热试验按GB/T2423.4的规定进行。

7检验规则

检验规则分为出厂检验和型式检验。

7.1出厂检验

7.1.1每批产品由公司质检部门按本文件检验合格出具合格证后方可出厂。

7.1.2检验项目见表1所示。

7.2型式检验

7.2.1型式检验项目见表1所示。

7.2.2型式检验正常生产时每年一次，有下列情况时也需进行型式检验：

a)新产品定型或老产品长期停产一年以上恢复生产时；

b)正式生产后，如材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时；

c)用户对产品性能质量有异议时；

d)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；

e)国家相关管理部门提出型式检验的要求时。

表1检验项目

检验项目出厂检验型式检验

外观√√

功能要求√√

防护等级—√

电气安全—√

机械安全—√

气密性—√