半导体设备行业系列报告之七：自主可控方兴未艾设备成长仍在途中

1476.31147.62.520222023年113，2024年131%，2023227.63.4pcts。图1：中国大陆半导体销售额占比回升至全球30%以上60 40%50 35%30%40 25%30 20%20 15%10%10 5%2015-032015-072015-112015-032015-072015-112016-032016-072016-112017-032017-072017-112018-032018-072018-112019-032019-072019-112020-032020-072020-112021-032021-072021-112022-032022-072022-112023-032023-072023-11全球半导体销售额（十亿美元） 中国大陆销售额（十亿美元中国大陆占比（右）资料来源：美国半导体行业协会，研究图3年1回正

图3：2023年11月以来中国大陆半导体销售额同比增速回正且回升幅度高于全球（十亿美元）60 30% 20（十亿美元）50 20% 1540 10%30 0% 1020 -10% 510 -20%2017-012017-072017-012017-072018-012018-072019-012019-072020-012020-072021-012021-072022-012022-072023-012023-072024-01

40%（十亿美元）30%（十亿美元）20%10%0%-10%-20%-30%2017-012017-072017-012017-072018-012018-072019-012019-072020-012020-072021-012021-072022-012022-072023-012023-072024-01全球半导体销售额 同比增速（右环比增速（右）

中国大陆销售额 同比增速（右环比增速（右）资料来源：美国半导体行业协会，研究 资料来源：美国半导体行业协会，研究EI20（20246.43160/（8对应2024年全球扩产规模达到200万片/月。其中中国大陆晶圆产能2024年将增长至860万片/月，对应扩产规模为100万片/月，较2023年扩产规模81万片/月增长23%。图4：预计中国大陆晶圆产能（折算8英寸）2024年将提升至860万片/月

图4折算8）将达到100万片/月，扩产规模同比增速超20%（万片/月）1000（万片/月）9008007006005004003002001000

120100806040200

（万片/月）（万片/月）中国大陆 中国台湾 其他地区2022 2023 2024 2023 2024资料来源：国际半导体产业协会，研究 资料来源：国际半导体产业协会，研究202322023亿美元，同比增长120.9%。其中2H23236.8%、环比增长120.5%。2024年1月至22月同比仍增长151.5920002023年8月至12月均价均超1000万美元，增长明显。图6：2023年下半年中国大陆光刻设备进口金额明显高增16 600%14 500%12 400%10 300%86 200%4 100%2 0%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中国大陆光刻设备进口金额（亿美元） 同比增速（右） 环比增速（右）资料来源：海关总署，研究图7：2023年6月以来中国大陆光刻设备进口均价提升明显25002000150010005000

1200%1000%800%600%400%200%0%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中国大陆光刻设备进口均价（万美元） 同比增速（右） 环比增速（右）资料来源：海关总署，研究2H2330.467.6123.1%，2023年9395200万2023图8：2023年9月至12月中国大陆刻蚀设备进口金额明显增高7 250%6 200%5 150%4 100%3 50%2 0%1 -50%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中国大陆刻蚀设备进口金额（亿美元） 同比增速（右） 环比增速（右）资料来源：海关总署，研究图9：2023年下半年中国大陆刻蚀设备进口均价亦呈提升趋势6005003002001000

160%140%120%100%80%60%40%20%0%-20%-40%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中国大陆刻蚀设备进口均价（万美元） 同比增速（右） 环比增速（右）资料来源：海关总署，研究ASML2023根据ASML陆2021~202258亿欧中国大陆购买ASML13.53Q234Q2324.422.2ASML20231~48%、2446%、3920232年扩产图10：2023年二季度以来ASML中国大陆营收规模爆发式提升（百万欧元）3,0002,5002,0001,5001,000500-1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23中国大陆 中国台湾 韩国 美欧洲中东非洲 日本 亚洲其余地区资料来源：ASML财报，研究图11：2023年三季度ASML中国大陆营收占比最高升至46%100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%

1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23中国大陆 中国台湾 韩国 美国 欧洲中东非洲 日本 亚洲其余地区资料来源：ASML财报，研究中国大陆半导体设备市场快速扩张，占全球市场比例明显提升。根据日本半导体制造装置协会，2023年前三季度全球半导体设备销售额782.1亿美元，同比下滑2.1%，其中中国大陆半导体设备销售额244.7亿美元，同比增长11.7%，其中单三季度中国大陆销售额达110.6亿美元，创历史新高。中国大陆半导体设备市场增速持续好于全球，印证中国大陆晶圆厂扩产增速更高。图12：中国大陆半导体设备销售额占全球比例呈持续提升趋势35 50%（十亿美元）30 45%（十亿美元）40%25 35%20 30%25%15 20%10 15%10%5 5%2015-032015-062015-092015-032015-062015-092015-122016-032016-062016-092016-122017-032017-062017-092017-122018-032018-062018-092018-122019-032019-062019-092019-122020-032020-062020-092020-122021-032021-062021-092021-122022-032022-062022-092022-122023-032023-062023-09全球半导体设备销售额 中国大陆半导体设备销售额 中国大陆占比（右）资料来源：日本半导体制造装置协会，研究图位下降

图14：中国大陆半导体设备销售额持续增长，3Q23超100亿美元（十亿美元）35 80% 12（十亿美元）30 60% 1025 40% 820 20% 61510 0% 45 -20% 22015-032015-092016-032015-032015-092016-032016-092017-032017-092018-032018-092019-032019-092020-032020-092021-032021-092022-032022-092023-032023-09

140%（十亿美元）120%（十亿美元）100%80%60%40%20%0%-20%-40%2015-032015-092015-032015-092016-032016-092017-032017-092018-032018-092019-032019-092020-032020-092021-032021-092022-032022-092023-032023-09全球半导体设备销售额 同比增速（右环比增速（右）

中国大陆半导体设备销售额 同比增速（右环比增速（右）资料来源：日本半导体制造装置协会，研究 资料来源：日本半导体制造装置协会，研究预计2024300（民币约2170亿元）22（）占比约%，清洗占比6）占比4%，根据47726013087图15：前道导体设价值量比 图16：测算工艺环仍具有阔市场间械抛光

离子注入2火

刻蚀设备,

600（亿元）500（亿元）400300显影洗像,4%成批清洗,6%工艺控制

光刻机

22%薄膜沉积设备,22%

2001000

2024年中国大陆市场空间预计资料来源：中微公司财报，研究 资料来源：SEMI，中微公司财报，研究2022低于30%，预计202310%。表1：2022年国内大部分设备环节国产化率低于30%设备类型国产化率国内代表公司清洗＞30%盛美上海、北方华创、芯源微等CMP＞30%华海清科等热处理＞30%北方华创、屹唐半导体等刻蚀＞20%中微公司、北方华创等薄膜沉积＜20%拓荆科技、北方华创、微导纳米等涂胶显影＜10%芯源微等离子注入＜10%万业企业、中科信等检测量测＜5%中科飞测、上海精测、上海睿励等光刻机＜1%上海微电子等资料来源：远川研究所，研究基于国内ICA22341441.51141亿（824910.620222023图17：国内主要半导体设备上市公司合计营收近3年维持超40%增速

图18：国内主要半导体设备上市公司合计净利润同比增速2023年接近50%5004003002001000

2019 2020 2021 2022

80%（亿元）60%（亿元）40%20%0%

9080706050403020100-10

300%（亿元）2019（亿元）20192020202120222023200%150%100%50%0%北方华创 中微公司 拓荆科技芯源微 中科飞测-U 华海清科盛美上海 京仪装备 整体营收增速（右）

北方华创 中微公司 拓荆科技芯源微 中科飞测-U 华海清科盛美上海 京仪装备 净利润增速（右）资料来源：各公司财报、公告，研究注：北方华创营收取业绩预告范围中值

资料来源：公司财报，研究注：北方华创净利润取业绩预告范围中值图19：全球主要半导体设备公司合计营收增速近2年在20%以下

图20：全球主要半导体设备公司合计净利润增速近2年与营收增速相近120010008006004002000

2019 2020 2021 2022

30%（亿美元）25%（亿美元）20%15%10%5%0%

4003002001000

2019 2020 2021 2022

60%（亿美元）50%（亿美元）40%30%20%10%0%阿斯麦 应用材料 东京电子拉姆 科磊 泰瑞达爱德万 迪恩士 迪斯整体营收增速（右）

阿斯麦 应用材料 东京电子拉姆 科磊 泰瑞达爱德万 迪恩士 迪斯净利润增速（右）资料来源：各公司财报，研究 资料来源：各公司财报，研究当前A股上市半1657国内半导体设备公司尚处于成长期，业绩增速整体显著超越已进入成熟期的海外大厂，但当前估值水平方面国内半导体设备公司与海外公司的差距并未完全体现成长性的差异，因A表2：A股半导体设备公司及海外公司对比（对应2024/3/22收盘）代码简称总市值（亿美元）总市值（亿人民币）PE（TTM）2023年报净利润增速ASML.O阿斯麦3,86727,4564445%AMAT.O应用材料1,74712,404245%8035.T东京电子1,2318,74052-1%LRCX.O拉姆1,2829,10337-2%KLAC.O科磊9616,823362%TER.O泰瑞达1701,20438-37%6857.T爱德万3332,3636537%7735.T迪恩士1268973216%6146.T迪斯科3942,7988015%002371.SZ北方华创2331,6574765%688012.SH中微公司1399835553%688072.SH拓荆科技574076180%688037.SH芯源微231656625%688361.SH中科飞测-U302141501113%688120.SH华海清科433034245%688082.SH盛美上海584114536%688652.SH京仪装备12857229%688200.SH华峰测控2215662-53%资料来源：，研究风险提示：12表3：半导体行业重点公司估值表证券代码证券简称投资评级2024-03-22PB申万预测EPSPE收盘价(元)亿元2022A2022A2023E2024E2025E2023E2024E2025E002156通富微电增持24.803762.70.330.130.490.831915130002409雅克科技买入58.702794.31.101.462.633.87402215300327中颖电子买入19.06654.40.940.821.131.44231713300613富瀚微买入36.36843.71.731.131.502.03322418600460士兰微买入21.013504.00.740.430.580.71493630600584长电科技买入28.255052.01.820.911.591.96311814603005晶方科技买入19.271263.20.350.310.430.50624539605111新洁能买入37.671122.42.040.981.261.66383023688012中微公司买入158.819836.31.902.633.264.35604937688037芯源微买入119.571655.32.1