多晶硅洁净室施工工法

多晶硅生产车间干净室施工工法1．前言随着电子、化工行业的飞迅发展，对产品纯度的要求日益提高，而生产、加工环境的干净度干脆影响着产品的纯度。干净室从最初的生物医药行业逐步扩展至电子、化工行业。近几年，对产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴起使得干净室更充分的应用于化工领域。我单位依据所承建的江苏中能硅业多晶硅一期、二期及三期近三万平方米干净室的施工阅历，总结编定本工法。其中一期、二期干净室已验收、检测合格，投入运用，顺当产出合格的多晶硅，取得了良好的社会和经济效益；三期干净室正在惊慌、有序施工。《多晶硅生产车间干净室施工工法》被我公司评为2008年度施工工法一等奖。2.特点2．1干净室的建立须要多个专业共同协作完成。土建专业要为建立干净室供应合格的外围护结构。干净室的装修材料要求壁板平整、接缝严密且平整光滑，不许有凸凹造型，阴阳角全部做成R＞50mm的圆弧角；窗户应与墙面平齐，不应设置凸出墙面的踢脚；风口、灯具采纳带密闭罩的净化灯吸顶安装；地面采纳不产尘材料整体制作，且平整、光滑、防静电。在干净室内明装的管道均应采纳不锈钢管，其连接采纳氩电连焊。2．2采纳本工法施工，可以保证干净室的施工质量，并可大大提高工效、削减材料消耗，降低施工成本，取得更大的经济效益。3.适用范围本工法适用于以多晶硅干净厂房为代表、其净化要求为千级至十万级的精细化工、医药车间、电子车间等生产车间的施工，不适用于有特别要求的生物工程试验室的施工。本工法重点介绍干净室装修工程的施工内容，对干净室施工中的通风、电气、给排水等专业的施工工艺不做具体说明。4.工艺原理通过二次排版设计和材料选用、节点选型进行施工，使干净室内不出现污染死角或气流过滤不到的部位，没有扬尘。经过净扮装修保证干净室达到不产尘、不集尘要求，具有肯定的密闭性能，确保室内维持肯定的正压，防止外界非干净空气渗入造成污染。5.施工工艺流程及操作要点5.1施工流程施工流程遵循先有尘后无尘、先上后下的原则。具体施工依次如下：施工打算→测量放线→二次排版→材料加工→可调整吊杆安装→槽铝安装→壁板安装→T型铝安装→顶板安装→彩钢板调平并固定→门窗安装→阴阳角安装→风口安装→灯具安装→地面施工→过滤器安装→硅胶密封→爱护膜拆除→清洁→干净度检测→竣工验收5.2操作要点5.2.经图纸会审及施工现场勘察，土建工程屋面防水及保温已竣工；室外门窗安装完毕，室内易产生粉尘的施工内容结束，水、电已进入施工现场，厂房四周能通过8t以上载重汽车。5.2.施工技术打算：依据业主供应的合格施工图及收集到的现场资料，结合工程特点，确定工程施工的管理技术人员构成、管理体系；熟识、消化技术文件、设计图纸及相关规范、标准，做好设计交底和图纸会审工作，对各施工班级进行具体的施工技术交底。材料及设备的打算：所运用材料必需符合设计要求和施工规范规定，且具有出厂合格证明书或相关质量证明文件。依据设计要求制定不同施工阶段的供应支配，落实货源，组织运输，支配好现场储备，保证项目施工连续、有序进行。施工人员的打算：包括项目经理部管理人员和施工工人，及由此二者组成的工程施工管理层及作业层。5.2测量放线是干净室装修施工的的基础，有多个专业共同安装施工的干净室装修工程施工精确性至关重要，而测量放线是施工精确性能否得到保证的关键条件。由于施工中专业多、交叉施工困难，干净室装修测量需按统一的安装基准线进行，以纵横两方向的轴线为原始基准，确定一条对各专业施工最有利的安装基准线。采纳激光水平仪或精度较高的水准仪进行测量放线。在测量放线中，必需采纳多点法确定每一个基准点和基准线，以保证精确度，在地面尽可能低的地方找寻确定最高点，并在柱中心相对于地面最高点绘出500mm高的水准测量点。弹墨线前应用棉线校核基准点或参考点，墨线弹好后刚好做好相关标记。5.2.依据现场测量放线的尺寸了解完成的建筑实体与图纸的误差进行二次排版，排版内容包括顶板、壁板及高效过滤器、灯具、门窗的安装位置及尺寸规格，绘出结点大样图和各部分的的具体尺寸。排版时尤其要留意考虑门窗、高效过滤器、灯具、通讯、消防、工艺管道所开孔洞与彩钢夹芯板间的模数、位置关系及强度、结构要求。对原设计图中的门窗尺寸及位置，在二次排版时可能依据现场实际进行肯定调整。在排版过程中不能完全依据土建工程中的建筑模数，假如门窗口宽度没有特别严格的尺寸要求，可以将门窗的宽度改为彩钢板的有效宽度并提前预留，裁下的板正好可做门扇材料，这样不但节约材料，而且门窗缝与彩钢夹芯板拼接缝相重合，效果美观。假如工艺要求门洞宽度大于彩钢夹芯板的有效宽度，做成双扇门且门洞位置于两板相邻壁板中间，裁下来的材料可做门扇。彩钢夹芯板上电气、工艺管道、消防、通讯等专业洞口的定位要避开在彩钢夹芯板企口位置而降低强度，同时要考虑阴阳角的安装尺寸。彩钢夹芯板上的高效过滤器泂口口边的宽度不得太窄，若洞口边宽度太窄，人上吊顶时，由于彩钢板顶板的强度降低而存在严峻的平安隐患。已完装饰工程的爱护爱护好已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。壁板安装过程中不得撕下壁板表面塑料爱护膜，禁止撞击和踩踏板面。全部穿过干净室的管道、设备在与彩钢夹芯板接口处均密封处理。节点彩钢板安装中主要的节点有：彩板与干净灯具的节点、彩板与过滤器的接点、彩板与密闭窗门的接点、彩板与百页风口的接点、顶板的节点、壁板的节点等。节点连接形式有多种，这里仅以其中一类为例说明（详见图），具体接点形式的选用，可依据现场状况敏捷选取。.1壁板与地面：按图纸开间尺寸弹出墨线，用电锤间距300mm～500mm钻眼，用膨胀螺栓固定槽铝，壁板依据公母口方向按依次安装。在壁板和地面施工完毕后安装阴角条，最终用硅胶密闭缝隙。墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不应大于０.２％。（如图）.2壁板与顶板连接：在壁板上端用抽芯固定槽铝并用自攻螺丝与顶板连接，室内侧安装铝合金阴阳角，用硅胶密封（如图）。.3顶板与现浇板：依据二次排版的顶板布置图用电锤在现浇板上间距1.2m～1.5m钻眼，吊杆一般采纳镀锌或不锈钢拉丝柑，吊杆上端焊接50mm的角钢。用膨胀螺栓固定在现浇板上。吊杆中间设置花篮调整螺栓，用以调整顶板的水平或起坡坡度。吊杆下端焊接T型铝，顶板放置在T型铝上，并用角铝压紧，角铝与T型铝用抽芯铆钉固定，并用胶密封。（如图5.5.3）。.4顶板与建筑墙面：工艺同壁板与地面节点（如图5.2.6.4-1）。用乳胶漆封闭墙柱面后方可安装彩钢板，阴阳角安装完毕后缝隙用硅胶密封（如图5.2.6.4-2）。.5门窗节点：净化彩钢门一般采纳不锈钢或铝合金门框，在门扇底端设置扫地密封条，材质有橡胶类、皮革类等，底部缝隙高度5mm～10mm，扫地条长度约为缝隙的1.5倍～２.5倍（如图5.2.6.5－1）；窗有单层密闭窗（如图.5－2）和双层密闭窗（如图5.2.6.5－3）两种，双层密闭窗在彩钢板壁板安装时预先将窗洞口留设出来，用铝合金型材进行包边，然后按下图粘贴双面胶，之后现场测量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每边少5mm，最终用扣条压盖并用硅胶密封。单层密闭窗同样在安装壁板时留设窗洞口，先将内侧不锈钢框架安装并用铆钉固定打胶密封，然后安装白玻璃或防火玻璃。安装外侧不锈钢框架，玻璃与框架间的缝隙用密封条密闭，框架与彩钢板缝隙用胶密闭。回风夹道依据设计净化风量设置回风夹道的尺寸和位置（如图.5－4）.6过滤器、灯具与彩钢板：干净灯具及过滤器依据二次排版的平面布置图在顶板安装前开孔，留设过滤器和灯具的安装位置（如图）。干净灯具宜采纳吸顶式、易清洁的、不易积尘的灯具。过滤器每个框架需设置四根吊筋，且吊筋不得承载其他构件，过滤器框架从室内用绳子吊上去人工校正后用螺栓固定到顶板上，防止位移，承重要靠吊筋，不得用顶板承重。安装完毕后进行清洗并用薄膜爱护，过滤器在净化系统调试运转48小时后方可进行安装。过滤器安装后干净室必需按规范要求进行管理，防止管理不当对过滤器造成损耗或损坏。.7干净室PVC地面：用石磨机打磨地面，并用吸尘器清理灰尘及沙粒；自流平水泥，经充分搅拌匀称后，呈稀和状倒在地面，用工具刮涂匀称，厚度约2-3mm。待干透后，表面用磨光机打磨一遍，灰尘清理干净。地面干燥后进行放线、涂胶：确定地板基准线，采纳双组分防水胶，经充分搅拌后刮涂于干净地面，依据地面位置，涂胶先后依次，留出合理的施工通道。正常环境下等候时间为15－20分钟后起先铺设；将材料铺设在湿的胶水上，施预压力使其粘接住，地板安装完成一部分后，要马上运用50公斤组合滚筒将地板压平；安装完毕后，清扫或运用吸尘器将地面全部残留物清除干净，确保房间通风，使胶水干燥，刚铺好24小时后进行打腊，清洗机对完工PVC地面进行彻底清洗，地面水吸干后用专用蜡水涂抹匀称。打蜡后8小时即可投入运用，竣工前宜用薄膜覆盖防止污染。6．材料及施工机具干净室壁板及顶板要求防静电、耐腐蚀、易清洁、不产尘、不集尘、接缝少，依据工艺要求不同采纳不同材质的彩钢夹芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、岩棉板、纸蜂窝板、铝蜂窝板等。厚度一般50mm～80mm不等。地面装饰材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防静电、耐腐蚀、易清洁、不易起尘开裂、二次施工简便、接缝少或无接缝。干净室常用的装饰材料有嵌铜条水磨石地面、环氧自流平地面、防静电PVC地板和聚氯乙烯软板等。干净室施工的主要工机具见下表6-1序号名称规格型号单位数量1沟通焊机BX3-300台22氩弧焊机NSA4-300台13液压升降机YSD-300台14工业吸尘器GM80台15切割机TC-4QPVC台16冲击钻GBH3-28E台37手电钻φ6台88铆钉枪YWJ-D把139水平尺、线垂把610尘埃粒子计数器y09-6台111热球式风速仪EY3-2A只212补偿式微压计YJB-150台213通风干湿球温度计DHM2只17.工程质量限制措施7.1材料限制措施进场设备、材料的检查验收。在订购设备、材料前，具体了解生产厂家的各种有效证件；设备、材料进场后，会同业主及监理人员进行验收。7.1.2彩钢夹芯板分批次7.1.3彩钢夹芯板在堆放时标明生产批次，以免在同一干净室内产生色差。安装过程中支配专人清扫施工现场，以免造成板7.1.47.1.5在彩钢夹芯壁板明显位置张贴标语，提示其它专业施工单位做好成品爱护，并在壁板转角等易碰撞位置包袱橡塑板等软质材料，防止彩钢夹芯板被撞损7.2施工过程限制干净室建立具有技术含量高、专业施工交叉多等特点，假如采纳传统的“秋后算账”式质量限制方法，只强调中间验收、竣工验收的相关数据达标，而对施工过程的动态限制力度不够，会造成验收资料合格但实际工程不合格的现象。所以，通过提高二次排版、材料选用、节点选型等施工技术，加强施工过程中动态质量限制是保证干净室施工质量的有效方法。施工过程中的动态质量限制也是干净室施工的技术难点之所在。7.2.1施工前环境限制：净化空调系统施工前，屋面防水工程和外围结构完成，外门、外窗安装完毕。施工现场环境交由负责净化工程施工的公司管理7.2.2干净室的密封限制：干净工艺房间内的空气压力必需保证相对于室外大气为正压，避开室外非干净空气渗入室内影响室内干净度。干净房间的严密性对房间正压值的维持和干净度的保证具有确定性的影响。车间干净区的房间采纳净化彩钢夹心板作为房间围护结构材料，板材与板材之间的拼缝均涂密封胶，并要达到严密不漏风。干净房间的围护结构按规范标准要求进行工序交接验收，合格后方可对穿越围护结构的管线进行开孔安装。机电安装工程中必需在壁板上开孔安装的插座、开关、烟感探测器、广播喇叭、监控摄像头、照明开关箱、消火栓箱等部件，其箱体与壁板之间用密封胶进行密封，箱体中7.2.3干净房间空调系统风管和设备的清洁限制：施工过程中必需重视对风管和空调部件的清洗，安装后须防止再次污染。风管制作前必需用中性洗涤剂擦洗其表面油污，再用清水冲洗晾干。风管加工应在干净、无风沙的室内操作间进行，工作台上应铺设地毯或橡胶板，防止铁皮表面镀锌层划伤。应用清洁半干抹布擦拭风管内表面，再用白绸布检查内表面清洗质量，白绸布揩擦后不留任何灰迹、油渍即为清洗合格。风管管段加工清洗合格后，用塑料薄膜封好管段两端再运至安装现场，全部风管配件及设备在安装前必需擦拭干净，否则不得安装。净化空调的全部送风管和回风管均进行漏风量测试，检测合格后方可进行下一道工序施工。干净室和空调送回风管道应在高效过滤器安装前达到清洁要求，净化空调系统必需连续试运转（空吹）12小时以上，空吹后再对送回风管和组合式空调器内进行清扫和擦洗干净。每台安装于5级干净区的高效过滤器在安装前应7.3竣工验收7.37.37.3.3干净室的检测在空态、静态下进行（动态检测因超出了干净室施工单位限制的范围，一般不做为干净室竣工检测依据。）。空态：设施已经建成，全部动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。7.37.3.5综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位协作，有资格的第三方检测单位进行综合性能全面评定检测。7.37.3.7竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目符合室内干净度级别要求，满意现行国家标准《干净厂房设计规范》GB50073-2001、《干净室施工及验收规范》JGJ71-90及《通风与空调工程施工质量验收规范8.平安措施8.1建立完善的平安生产组织机构及规章制度，配备专职平安员负责平安管理工作。8.2施工作业人员进厂时必需经过三级平安教化，教化施工人员在施工过程中做到不损害他人、不损害自己、不被他人损害。现场设置平安警示牌。8.3进入施工现场必需统一穿工作服，带好平安帽，系好下额带，登高作业必需系平安带。在施工现场室内工作时严禁吸烟，严禁酒后进入施工现场。8.4施工需搭设脚手架时，所搭设的脚手架必需经专职平安员确认平安牢靠后方可运用，施工所用工具应放入工具袋内，不能顺手放在脚手架上。8.5施工用电必需采纳三相五线，配电箱必需坚固且有牢靠接地。8.6避开动火作业，当不行避开时，要做好动火作业的监护。8.7各种机具设备应有专人操作及管理。9．环保措施9.1建立定期噪音监测制度，对施工中产生的机械噪声、金属撞击噪声等实行有效措施进行减弱