《半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求》

4半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求本文件适用于半导体行业超纯水制备用的抛光混床用离子交离子交换树脂粒度分布测定方法离子交换树脂粒度、有效粒径和GB/T12598离子交换树脂强度半导体行业超纯水ultrapurewaterforsemiconductorin欧姆厘米(Ω·cm纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm（25℃)。总有机碳totalorganic54.1强酸性阳离子交换树脂4.1.1外观4.1.3理化性能%%%%%4.2强碱性阴离子交换树脂4.2.1外观4.2.3理化性能%%%%%4.3运行参数4.3.1溶出量抛光树脂的溶出量要求应符合表3中的参数指6总有机碳/(μg/L）痕量金属/(μg/L）铝钙铜钴铬铁钾钛锂镁锰钠镍铅锡锌砷痕量阴离子/(μg/L）氟氯溴4.3.2产水水质5.2游离水分测定测试除去外层包装(编织袋或桶)后，将用透明塑料袋包装的树脂竖起直立，约10mi7于容器中计量。应从到货树脂中至少测定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值计算整批到货树脂游离水5.3试样预处理5.4含水量的测定5.5体积交换容量的测定5.5.1体积全交换容量按下式进行计算氢型树脂交换容量用经过预处理的试样25mL，按GB/T8144-2008标钠型树脂交换容量按照GB/T8144氢氧型阴树脂采用GB/T5760-2000氢氧型阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进行测氯型阴树脂采用GB/T11992-2008氯型强碱性阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进Qv=Qwp(1−X)#(1)X——含水量，%。5.6湿视密度的测定湿视密度按GB/T8331-2008中规5.7湿真密度的测定湿真密度测定按GB/T8330-2008中规5.8粒度、有效粒径和均一系数的测定粒度、有效粒径和均一系数按GB/T5758-2001中规定5.9运行参数的测定85.9.2.1试验试剂总有机碳测试仪：量程0.03μg/L-50a)将阴阳树脂按照1:1的比例装填进图15.9.6计算T——总有机碳溶出量，单位为微克每升(μg/LT1——进水总有机碳的浓度，单位为微克每升(μg/LT2——产水总有机碳的浓度，单位为微克每升(μg/L）。5.10痕量金属溶出量5.10.1试验试剂5.10.2试验仪器95.10.3试验装置5.10.4试验步骤5.10.5计算M——痕量金属溶出量，单位为微克每升(μg/LM1——进水痕量金属浓度，单位为微克每升(μg/LM2——产水痕量金属浓度，单位为微克每升(μg/L）。5.11痕量阴离子溶出量5.11.1试验试剂5.11.2试验仪器离子色谱仪：最小检测浓度≤0.02μg/L，线性度≥5.11.3试验装置5.11.4试验步骤d)当混床以恒定运行流量冲洗5天后，以PP瓶进行取样，收集进水和产水5.11.5计算Y——痕量阴离子溶出量，单位为微克每升(μg/L）；Y1——进水痕量阴离子浓度，单位为微克每升(μg/L）；Y2——产水痕量阴离子浓度，单位为微克每升(μg/L）。5.11.6产水测试5.11.7试验步骤d)当混床以恒定运行流量冲洗72h后，按照