中微南昌刻蚀研发清洗设备项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表）： —98专业实验室、研发目/否2））； 海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。不涉及不展开 瑶湖北岸组团电子信息和生物医药属于园区的优紧依靠优势产业为园区强化下游产根据国家相）；[2008]58号文中的高污规、政策的药品研发、生产项目；政策中淘汰类的项目。源的项目，其风险源距离周边居民区、学校等敏在符合各项环保要求的前提下做大做强产品延形成精深产本项目位于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区光电路划许可证（地字第360100202000007G用地文件见附件三析一、与《鼓励外商投资产业目录（2022年版）》、《产业结构调整指导目录（2019年本及2021修订版）》相符性件（项目统一代码为：2310-360198-04-01-508087）。因此，该项项目选址于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区光电路本项目选址不属于生活饮用水源和地下水补给区、风景名胜），表1-3与《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策制含VOCs产品的使用过程中，应采率，减少废气的无组织排放与逸本项目含VOCs物后通过一根26m高用体技术或紫外光高级氧化技术等性代通过使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCs含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的胶粘剂，以及低VOCs含量、低反应活性的胶粘剂、清洗剂等，从源头减少行业要加大源头替代力度；化工行业要推广使用低（无）VOCs含量、低反应活性的原辅材料，加快对芳香烃、含卤素有机化合物的绿色替代。企业应大力推广使用低VOCs含量木器涂料、车辆涂料、机械设备涂料、集装箱涂料以及建筑物和构筑物防护涂料等，在技术成熟的行业，推广使用低VOCs含量油墨前基本完成。鼓励加快低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂等研发和生的含VOCs物料制敞开液面逸散以及工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收物料应储存于密闭容器、包装袋，高效密封储罐，封闭式储库、料仓等。封闭式储库、料仓等含VOCs物料转移和输送，应采用密闭管道或密闭容器、罐车等。含VOCs物料生产和使用过程，应采取有效收分质收集”的原则，科学设计废气收集系统，将无组织排放转变为有组织排放进行控制。采用全密闭集气罩或密闭空间的，除行业有特殊要求外，应保持微负压状态，并根通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。工业涂装行业重点推进使用紧凑式涂热喷涂等涂装技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工推进企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造，应依据排放废气压力，以及生产工况等，合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理；高浓度废气，优先进行溶剂回收，难以回收的，宜采用高温通过计量泵打且产生的EKC性炭吸附装置”处理后通过一根26m高排气实行重点排放源排放浓度与去除效率双重控制。车间或生产设施收集等于2千克/小时的，应加大控制力度，除确保排放浓度稳定达标外，还应实行去除效率控制，去除效率不低于80%；采用的原辅材料符合国家有关低VOCs含量产品规定的除外，有行业排放标准的按其相关本项目VOCs初始排放速率为小于2kg/h，经废气处理设施处理后排放浓射固化等低VOCs含量的涂料替代本项目含VOCs物料有含VOCs产品、含VOCs废料以及有以及工艺过程等五类排放源实施管改进、废气有效收集等措施，削减企业新建治污设施或现有治污设施废气的产生量、污染物的组分和性治理设备必须同时设置前置采样口用活性炭吸附工艺进行实施企业精细化管控。督促企业将动态档案、制定泄漏检测与修复和处置措施，纳入企业应急预案体检修等）报告与备案的环保管理规15.1.1VOCs物料应储存于密闭本项目拟采用的本项目检验完成物料进行加盖后25.1.2盛装VOCs物料的容器或专用场地。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态时应36.1.1液态VOCs物料应采用密式转移液态VOCs物料时，应采本项目拟采用的4液态VOCs物料应采用密闭管道应排至VOCs废气收集处理系本项目溶液是通过计量泵打入清“两级活性炭吸过一根26m高排放。57.2.1VOCs质量占比大于等于程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气应排至VOCs废应采取局部气体收集措施废气应排至VOCs废气收集处理系68.1企业中载有气态VOCs物料、液态VOCs物料的设备与管线组件的密封点>2000个，应开展泄漏检测与修710.3.2收集的废气中NMHC初始排放速率>3kg/h时，应配置VOCs处理设施，处理效率不应废气中NMHC初始排放速率用的原辅材料符合国家有关低本项目产生的总811.1企业边界及周边VOCs监控要求执行GB16297或相关行业排放标准的规定。厂区内VOCs无组织排放监控要求——性有机物无组织排放控制标准》排放限值——厂房外监控点处VOCs(以NMHC计)的h平均浓七、与《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》符合性分析根据《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》中提到：一、大气管道收集至“两级活性炭吸附装置（处理效率取51%）”处理后通过一根26m高排气筒排放，收集效率可达90%。本项目有机废气排放能满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）综上，本项目与《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》的相1实验室单位应建立有机溶剂使净化装置，减少VOCs排放，防止污染周边环境。产生VOCs废气应进行收集，排放至VOCs废项目拟建立有机溶剂使用登记和过程中产生的有机废气通过集气的有机废气经两级活性炭吸附装置处理后通过一根26m高排气筒2实验室有组织VOCs宜经过净化处理后方可排放。综合考虑场宜地采用有效的VOCs净化装均储存于密闭容是通过计量泵打有机废气经集气活性炭吸附装置”处理后通过一根26m高排气筒排3废气收集和净化装置应保证与活性炭吸附装置结束后继续开启验操作同时正常4有机溶剂及其废液应储存在专密闭储存于包装5有机溶剂年使用量≤0.1吨的实项目有机溶剂使项目各溶液是通过计量泵打入设体安装废气收集6实验室单元在保障安全的情况项目采用两级活性炭吸附装置对7净化装置应在产生VOCs的实验活性炭吸附装置在进行检测前开后继续开启十分置运行过程中发项目拟配备专人对活性炭吸附装置的管理进行管护和操作规程及指南要求填写记行更换时一并进本项目设置了一根26m高的排气项目废活性炭更换后暂存于危险有资质的单位处GB18597等危险废物贮存、转净化装置的管理应纳入实验室操作规程，明确设施的检查周制度，按指南要求填写记录内98境空气质量标准》(GB3095-2012)及其修改单中二级标准；水环境市生态环境局关于印发南昌市生态环境总体要求及环境管控单元表1-8与《南昌市生态环境总体准入要维度空间布局约束要求炉省级批准的港口总体规划的码头项目及其优化调整VOCs排放产业布局，原则上中心区城内不得再新建和扩建VOCs排放量大的得新建落后产能或产能严重过剩行业的建业求离不能满足相关要求和不符合规划的现有二级保护区内已建成的排放污染物的建设业企业限期退出；城市建成区内的现有建化工等污染较重或严重影响环境的企业应满足要求的污染企业一律依法实施停产整污染物排放管控求重点防控的重金属污染物排放总量控制制县城及以上城镇生活污水处理厂执行一级A环境风险防控废气为EKC），求资源利用效率要求南昌市城区用水总量、万元GDP用水量、万元工业增加值用水量执行省级下达的管/求//表1-9环境管控单元准入清单无/生物医药产业，重点发展绿色、低碳的高新技术产业、光伏产业作为规划发展产业，企业属于电子电工信息行业，本项目属于其中的试验部分，符合园区产业定位。居民居住区的大气污染型项目其污染物排在瑶湖水域范围内新合城市土地利用规划的企业应逐步搬迁至园区内相应产业园区满足空间布局要控造业应提高有机废气收瑶湖污水处理厂和航空城污水处理厂应加装印刷等重点行新增产能和淘汰产能置换”或者“减量置染物排放量应符合南昌市污染物排放总量值染物排放应达到相应行业排放标准中特别求无/求无/（建设用无/及产生大量废水的生因事故废水直排污染废物(含危险废物)的用、处置固体废物(含危险废物)过程中，应防渗漏及其他防止污头应强化危险化学品），求无/求无/无/无/本项目符合环境管控单元准入清单中要求，故为允许建设项昌市生态环境局关于印发南昌市生态环境总体要求及环境管控单元生态环境准入清单的通知》（洪环发[20建设内容半导体设备的生产、研发、销售等，《中微南昌产业化基地项目》于2021年5月31日取得由南昌高新区管委会城市管理局出具的环评批复（洪高新管城管审），本项目属于四十五、研究和试验发展—98专业实验室、研发（试验）基地—其），本项目依托现有项目已建建筑1#生产厂房位于现有项目现有项目中Etch设备研发共有10个研发工位，主要目的是提高设备性能和模块效率，研发过程中需将基片放置在Etch设表2-3主要原辅材料一览表序号1/23456/注：本项目溶液加入到清洗设备中进行清洗，共有3台清洗设备，在本项目原辅料理化性质见表2-4，EKC主要组分情况见表2-4本项目原辅料理化性质一气味。具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻2-氨基乙醇25%~50%水表2-6主要设备一览表1234567七、劳动定员及工作制度污水处理站处理达《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中“半导本项目实验室位于现有项目1#生产厂房二楼，从工艺流程和产排污环节氢氟酸、硫酸、双氧水、废气、酸性废气、清洗废水氢氟酸、硫酸、双氧水、废气、酸性废气、清洗废水短，经加强施工管理，文明作业等，其环境影基片清洗废水、酸碱清洗()废液纯水清洗(旋干机)(清洗后基片)后采用旋干机将基片表面的水分甩干，甩干后在三号清洗设备中加入硫酸及双氧水（硫酸：双氧水=5：1）。本项目生产过程 与项目有关的原有环境污染问题城市管理局出具的环评批复（洪高新管城管审批了竣工环境保护验收（见附件七），一期验收仅验收现有项目的Etch设备100项目组成占地面积/层数/建筑材料组成说明是否验收主体工程9899.62m2/3层/第1层布置MOCVD设备生产线及研发工位（研发工位为10个）第2层布置Etch设备生产线及研发工位第3层布置Scrubber设备生产线及研发工位（研发工位为2个）、PCBAFCT生产线2#生产10826.73m2/2层/空置，待后续规划未验收3#生产6774.4m2/3层/钢构空置，待后续规划未验收辅助工程综合楼4962.8m2/5层/砖混第2-4层为办公区；第5层为休息区域生活楼3722.65m2/6层/第1层为员工休闲泳池；第2-3层本项目使用；第4-6层空置，待后续规划设置2个雨水景1#雨水景观池位于厂区南部，2#雨水景观池位于厂区东部地下车库地下一层动车位）储运工库5650.07m2/4层/第1层本项目使用；第2-4层空置，待后续规划292.41m2/1层/砖用于存放原辅材料混未验收，未验收，未验收，未验收，未验收，未验收，未验收，2#甲类79.91m2/1层/砖混用于存放原辅材料氨气站105m2/1层/砖混用于存放液氨氢氧站178.2m2/1层/砖混用于存放氢气、氮气、氩气等硅烷站44m2/1层/砖混用于存放硅烷、三氯硅烷、二氯硅烷及研发原辅材料/依托高新区市政管道供应/本项目属于瑶湖污水处理厂接管范围内，废水经自建的污水处理设施处理后由市政管网排入瑶湖污水处理厂处理，最终进入赣江南支供冷热/供热使用电加热，制冷使用空调及机械气Etch测试废气、PCBAFCT测试设置污水处理设施1个，处理规模为最大200t/d，工艺为：调节稳定+中和絮凝+混凝沉淀/设备减震、隔声一般固废暂存库置在丙类仓库西侧；危险废物暂存库占地约一般固废暂存库、危险废物暂存库环境风险位于厂区2#厂房北侧，最大容积约收收建建/一致收/收/收表2-10项目主要设备一览表对应产节主要生产单元主要对应工艺生产设备数量（台）/型号设施参数MOCVD生产及装配装配整体安装平台2/薄膜制化学气X射线衍射3/Panalytics/暂未验收快速图谱仪/Etch生产及研发Scrubber生产及备相沉积2/微明LED-617/暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收原子力显微镜BrukeDimensionEdge/气体测漏仪2/Inficon/颗粒扫描分析仪/方块电阻测试仪/3/中微上海/SiC外延设备2/中微上海镀膜速度（片/h）蓝绿光外延设备4/中微上海镀膜速度（片/h）红黄光外延设备4/中微上海镀膜速度（片/h）ECODry干式4/CS200PD/气处理2/ECOHeat1000/等离子电烧尾气处理/氯气烤炉1/NoritakeNBC800/装配装配整体安装平台4/刻蚀干法刻蚀Etch研发设备10/中微上海刻蚀速度（片/h）真空泵30/国产品牌/氦气检漏设备8/Inficon/颗粒计数仪/4/KLA-TencorSP1/全自动电子料件料仓2/4/原子力显微镜1/光谱椭圆仪1/装配装配整体安装平台4/废气处理系统废气处理系统傅里叶红外光1/MKSMultiGas™FTIRGasAnalyzer-6030/PTM91117122/燃气式废气安3/中微上海处理能力（m3/h）等离子式废气3/中微上海处理能力（m3/h）冷却机2/暂未验收配电柜1/暂未验收变压配电柜1/暂未验收真空泵及尾气1/暂未验收特气混合腔体及组件1/暂未验收PCBAFCT生产装配装配焊接设备2/宝工SS-989H/高低温烘箱/恒温恒湿箱1/可编程电源1/R&SHMP2030/示波器1/组装台6/程供水系统纯水制备与供应设施纯水供应设备1/环保工程污水处理系统厂区废水处理站厂区废水处理站1/原料名称规格型号或说明年耗量转运/包装产Etch零部件由外部厂家提供汽车/纸盒或CF4（四氟化汽车/瓶装SF6（六氟化汽车/瓶装暂未验收C4F8（八氟环汽车/瓶装汽车/瓶装MOCVDScrubberPCBAFCT生产MOCVD发件由外部厂家提供汽车/纸盒或暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收暂未验收Scrubber零部件由外部厂家提供汽车/纸盒或管道供应管道供应PCBAFCT零由外部厂家提供汽车/纸盒或无铅锡条/汽车/纸盒石墨盘外部厂家提供汽车/纸盒蓝宝石衬底汽车/纸盒硅片衬底汽车/纸盒砷化镓衬底汽车/纸盒磷化铟衬底汽车/纸盒HCl（气体）1汽车/瓶装汽车/瓶装0.03汽车/瓶装0.02汽车/瓶装汽车/瓶装硅烷氢汽车/瓶装0.05汽车/瓶装汽车/瓶装汽车/瓶装二氯硅烷汽车/瓶装三氯氢硅汽车/瓶装汽车/瓶装汽车/瓶装汽车/瓶装异丙醇汽车/瓶装0.06汽车/瓶装汽车/瓶装汽车/瓶装双氧水汽车/瓶装磷化氢0.45汽车/瓶装砷化氢2汽车/瓶装汽车/纸盒CF4（四氟化0.05汽车/瓶装0.06汽车/瓶装CHF3（三氟99.999%，液态0.CHF3（三氟99.999%，液态0.1汽车/瓶装暂未验收氯气99.999%，气态0.02汽车/瓶装暂未验收SiF4（四氟化99.999%，液态0.02汽车/瓶装暂未验收ScrubberScrubber安装件外部厂家提供汽车/纸盒或暂未验收CF4（四氟化汽车/瓶装暂未验收SF6（六氟化汽车/瓶装暂未验收SiH4（硅烷）0.02汽车/瓶装暂未验收管道供应200m3管道供应暂未验收现有项目劳动定员为400人，其中生产技术人员370人，技术管理人员302）通过组装平台进行组装拼接，组装过程通过组装平台进行自动安装。安触面及邻近区域产生的高频电阻热进行焊接的方法。阻焊的优点在于加热时间3）组装完成后需进行测试，测试完成后方可包装外售。测试分为操作模块4）因本项目生产的Etch设备为干式刻蚀设备，因此在性能模块测试中需通过二级尾气处理（Scrubber尾气处理+1#碱吸收塔）后通过1#生产厂房顶部的1#2）通过组装平台进行组装拼接，组装过程通过组装平台进行自动安装。安装过程中会涉及各部件之间的焊接相连，使用全自触面及邻近区域产生的高频电阻热进行焊接的方法。阻焊的优点在于加热时间3）组装完成后需进行测试，测试完成后方可包装外售。测试为操作模块测设备分为两种：等离子式Scrubber和燃烧式Scru2）通过组装平台进行组装拼接，组装过程通过组装平台进行自动安装。安装过程中会涉及各部件之间的焊接相连，使用全自动①对于等离子式Scrubber：测试为操作模块测试，即通电后通过操作电子软②对于燃烧式Scrubber：测试分为操作模块测试和性能模块测试，其中操作模块测试和等离子式Scrubber设备测试一致，性能模块测试需使用少量的测试核心点火模块，如操作模块测试不合格则重新返该步骤会产生Scrubber测试废气，主要为天然气燃烧后产生的烟尘、SO2、2）通过组装平台进行部件组装、调试。在零部件组装过程中部分电气件安3）部件组装完成后进行总装调试，总装调试4）对调试组装好的设备进行性能测试，内容主要针对电板测试性能进行测2）刻蚀基片进行检测，根据检测反馈结果调节EtcCF4+SiO2=SiF4+CO2；4CHF3+现有项目MOCVD设备研发工艺分三种，共设蓝绿光外延片研发工位、4个红黄光外延片研发工位和2个碳化硅外延片研发工），Ga(CH3)3+NH3→GaN+3CGa(CH3)3+In(CH3)3+2NH3→InGaN+6CH4↑Ga(CH3)3+Al(CH3)3+2NH3→AlGaN+6CH4↑⑥使用硫酸、盐酸、氨水、异丙醇、双氧水等①使用砷化镓衬底、磷化铟衬底装入石墨盘中，准A、长N型AlGaAs/AlAs：在缓冲层表面成长多层约2μm厚的N型AlGaAs/AlAs反射镜，此层主要为提供辐射复合产生之光子借由该镜面反射增加外，因此层Al组分较高，对载流子起到限制的作用，可明显提高发光效率。将⑥使用硫酸、盐酸、氨水、异丙醇、双氧水等2SiHCl3+C2H4→2SiC+6HCl⑥使用硫酸、盐酸、氨水、异丙醇、双氧水等需求的客户进行定制化研发生产。本项目设置2个Scrubber研发工位。进行设备处理性能测试，测试完成后对尾气成分进行分析，根据反馈结果对现有项目采取的纯水制备方法为离子交换法，离子交换树脂滤芯的工作流根据现有项目环保验收监测报告，项目厂区污水总 表2-13项目厂区污水总排放口监测结果一览表 废气1、PCBAFCT测试板焊接烟尘蓝绿光研发废气主要来自MOCVD蓝绿光的研发过程，年工作时间3000小），表2-14现有项目蓝绿光研发废气产排情况一览表物度mg/m3NH3物天，日工作10小时）。根据现有项目环境影响报告表中的分析，石墨表2-15现有项目石墨盘回收废气产排情况一览表物度mg/m3红黄光研发废气主要来自MOCVD红黄光的），境影响报告表中的分析，红黄光研发废气中表2-16现有项目红黄光研发废气产排情况一览表物度mg/m3AsH3物SiC研发废气主要来自MOCVD碳化硅的研发过程，年工作时间3000小时物度mg/m3理+1#喷淋吸收塔+一根26m高日工作10小时）。根据现有项目环境影响报告表中的分析，ECl2的产生量为20kg/a、BCl3的产生量为60kg/h。Etch研发废气2经收集后由物度碱吸收塔+一根//////（6）Scrubber测试废气（G10）、Scrubber研发废气（G11）——天然气燃点火核心测试，天然气最大用量为300m3/a。根据现有项目环境影响报告表中的Scrubber研发废气主要来自Scrubber设备研发过程，通入CF4、SF6、SiH4等气体进行设备处理性能测试，年工作时间约1000小时。根据现有项目环境影研发废气经收集后由Scrubber处理+1#碱吸收塔处理后通过一根26m高排气筒表2-19现有项目Scrubber研发废气产排情况一览表物度mg/m3物碱吸收塔+一根Etch测试废气、Etch研发废气1、PCBAFCT测试板焊接烟尘收集后由Scrubber处理+1#碱吸收塔处理后通过一根26m高排气筒（DA001）排放，均在表2-20有组织废气排放监测结果一览表A1#DA001排气筒（25m）123是是是是123是是是是板焊接烟尘中颗粒物的排放量为4.92t/a、氟化物的排放量为0.161t/a（均取最大值，年工作时间为3000h）。且颗粒物、氟化物排放均满足《大气污染物综合排现有项目在设备制造和研发过程中各类气体均通过气体分配系统通过管道表2-21项目无组织工艺废气污染物产排情况根据现有项目环保验收监测报告，项目厂界噪表2-22噪声监测结果单位：Leq[dB（A）]表2-23固体废物产生与处置情况一览表序号123456789（红黄光MOCVD研发部件3桶1三、现有项目主要污染排放情况及处理措施汇总表2-24现有项目主要污染排放情况及处理措施一览表废水pH废气NH3+2#酸淋吸收塔+一根AsH3高排气筒（DA001）NOx尘固体废物废零部件（Etch设 FCT测试板制造）在线收集的焊接烟0.002t/a外售综合处理 区域环境质量现状项目所在区域环境质量达标情况，同时需调查评价范围内有环境质量标准的评价因子的环境质量监测数据或进行补充监测，用于评价项目所在区域污染物环境质现状浓度/(μg/m3）/%162NO23PM104PM2.556本项目排放的特征污染物为非甲烷总烃、硫酸雾，根据生态环境部环境工程境》（HJ2.2-2018）要求开展相关监测工作。如判定为无需开展大气专项评价，②技术指南中提到“排放国家、地方环境空气质量标准中有标准限值要求的放标准详解》等导则或参考资料。排放的特征污染物需要在国家、地方环境空气硫酸雾不在《环境空气质量标准》（GB3095）标准中本项目纳污水体为赣江南支，为了解地表水环境现状，本次评价调查了南昌市生态环境局发布的《2023年9月南昌市地表水水质状况报告》（网址：/ncgbj/dbsjjzsyysyd/202310/3b4a76bc87a941cf9be1df0b表水环境质量标准》（GB3838-2002）表1基本项目（24项）准为《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）表3-42022年9月南昌市地表水（赣江南支）水质监测评价结果一览表质量标准》（GB3838-2002）Ⅳ类水域水质标准，本次评价引用现有项目环保验收监测报告中的噪声监测数据，项目厂界噪声表3-22噪声监测结果单位：Leq[dB（A）]监测方位方位2023.3.6现状值均符合《声环境质量标准》（GB3096-2结合《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）》（试行综上所述，项目选址周边环境空气质量、地表水环境质量、声环境质量符合环境保护目标主要环境保护目标（列出名单及保护级别）：根据现场勘查，建设项目周边环境保护居民示意图见附图二，项目区域周边/mXY境///境////注：以项目中心为坐标原点（0,0），地理坐标为E：116°3′56.污染物排放控制标准严值后排入园区污水处理厂，经污水处理厂深度处理后达到《城镇污水处理厂污污染物排放标准》pH值551---项目运营期清洗废气（非甲烷总烃、硫酸雾、氟化物）执行《大气污染物综区内任意点挥发性有机物执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》NMHC一般固体废物执行《一般工业废弃物贮存和填埋污染控制标准》总量控制指标COD考核指标：647.406×40.160×10-6=0.026t/aCOD总量控制指标：647.406×40.160×10-6=0.026t/a；NH3-N考核指标：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。NH3-N总量控制指标：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。综上所述，本项目COD总量控制指标：0.026t/a；NH3-N总量控制指标为0.0006t/a。本项目废气污染物（VOCs）主要来自EKC废气。VOCs产排量：产生量为：1.391×10%=0.097t/a排放量为：0.097t/a×90%×（1-51%）=0.043t/a即本项目VOCs的总量控制指标为0.043t/a。三、扩建后全厂总量控制指标表2-2扩建后全厂总量控制指标扩建后全厂总量控制指标NH3-NVOCs0砷0施工期环境保护措施短，经加强施工管理，文明作业等，其环境影运营期环境影响和保护措施中，溶液使用过程中会挥发，本项目以非甲烷总烃计。EKC的使用量为1300L/a），表4-1EKC废气污染物产排情况一览表（有组织）两级活性炭吸附装置+一根26m高排气筒通越亚半导体有限公司年产9万片封装基板技改项目环境影响报告表》中的相关），）， 表4-1酸性废气污染物产排情况一览表（有组织） 表4-2污染物产排情况一览表（无组织）根据《大气有物质无组织排放卫生防护距离推导技术导则》业无组织排放的主要特征大气有害物质。当前两种污染物的等标排放量相差在10%以内时，需要同时选择这两种特征大气有害物质分别计算卫生防护距离初根据上表可知，本项目等标排放量最大的污染物为实表4-4卫生防护距离计算表/m/m防护距离位于现有项目卫生防护距离内，综上，全厂卫生防护距离为厂界划定离项目用地红线最近距离约120m，即卫生防护范围内无集中居民、学校、医院表4-5大气污染物有组织排放量核算表序号/(mg/m3)1表4-6大气污染物无组织排放量核序号排放口产污环节物/(mg/m3)1实验室清洗烃周界厂区内制标准》（GB37822-2019）表2雾3物表4-7大气污染物年排放量核算表有组织排放总计硫酸雾0.004表4-8本项目污染源非正常排放量核算表污染源非正常排放原因污染物非正常排放浓度/(mg/m3)非正常排放速率/(kg/h)单次持续时间/h年发生频次/次应对措施废气处理设备11加强设备维修管理，杜绝事故环保制度等结合《排污单位自行监测技术指南总则》（HJ819-2017），本项目废气自表4-9本项目废气自行监测计划表烃、硫酸烃、硫酸监控点NMHC），设单位提供的经验数据，本项目纯水的使用量约为1.5m3/d（450m3/a），项目纯水装置的制备效率为65%，则纯水装置用水约为2.31m3/d（692.31m3/a），故产量为160m3/d。现有项目纯水的使用量为121.5m3/d，本项目纯水的使用量为本项目清洗工艺分为溶剂清洗及纯水清洗，本项目使用原辅料的用量见下水水0参考《工业源产排污核算方法和系数手册》中《38-40电子电气行业系数手表4-10清洗废水污染物产生情况一施pH//建污水处理站（调节混凝沉1g/kg-原料NH3-N//注：①本项目废水污染物计算时，原料用量按氢氟酸、硫酸、双氧水使用量中物质总量②氟化物的产生量由本项目原辅料中49%氢氟酸用量计算得出，氢氟酸中2%挥发至废气），③硫酸盐的产生量由本项目原辅料中98%硫酸用量计算得出，硫酸中2%挥发至废气中， ），本项目清洗废水经厂区自建污水处理站处理达《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中“半导体器件”的间接排放及瑶湖污水处理厂接管标运营期环境保护措施////////pH///NH3-NpH//////NH3-N《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中“半导体器件” NH3-N0.927石油类0.309SO42-2326.206表4-13废水类别、污染物及污染治理设施信息表1////是否企业排口雨水排放清净下水排放温排水排放车间或车间处2混凝沉淀 5/000004050.96双氧水0.0414647.406 6474.06达标排放4050.96双氧水0.0414647.406 6474.06达标排放厂区白建污水损耗450.104硫酸。.025损耗450.104405.096405.096000000000000000000000000000000000000000新鲜水98269.3513500135002250022500循环90000循环150000450酸喷淋塔清洗用水碱液喷淋56641.35纯水制备损耗45·0104405·096厂区自建污水处理站电热水洗尾气处理36449.04scrubber循环补水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含红黄光)总排口瑶湖污水处理厂浓水19742.318887644688876·446达标排放循环300000冷却塔循环水15000损耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化粪池1152011520损耗2880 468绿化用水2100057601440013500135002250022500循环90000循环150000450酸喷淋塔清洗用水碱液喷淋56641.35纯水制备损耗45·0104405·096厂区自建污水处理站电热水洗尾气处理36449.04scrubber循环补水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含红黄光)总排口瑶湖污水处理厂浓水19742.318887644688876·446达标排放循环300000冷却塔循环水15000损耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化粪池1152011520损耗2880 468绿化用水21000576014400纯水氢氟酸。.04纯水硫酸。.025双氧水0.0414损耗468—71—运营期环境保护措施①在调节稳定单元内进行pH调节同时进行自然沉淀，随后准备进入中和絮絮凝+混凝沉淀。瑶湖污水处理厂出水水质执行《城镇污水处理厂污染物排放标的排放量约为2.59m3/d，瑶湖污水处理厂尚有剩余负荷接纳本项目废水。本项目表4-17依托集中污水处理厂可行序本项目排水量理厂序本项目排水量理厂理工号 NH3-N3/d（2.59m3/d调节稳定6.1793515 SO42-2326.206 根据《排污单位自行监测技术指南总则》（HJ819-2017），本项目废表4-18本项目废水自行监测计划表施本项目的噪声源主要是各类机械在生产运行阶段产生的机械设备噪声，各表4-19工业企业噪声源强调查清单（室内声源）序号数量声源控制措施/m运行时段级XYZ东南西北东南西北东南西北东南西北外距离m131昼间12211表4-20工业企业噪声源强调查清单（室外声源）XYZ11运营期环境保护措施），①单个室外的点声源在预测点产生的声级计算基本），向点声源在规定方向的级的偏差程度。指向性校正等于点声源的指向性指数DIAmisc—其他多方面效应引起的倍频带衰减在不能取得声源倍频带声功率级或倍频带声压级，只能获得A声功率级或室内声场为近似扩散声场，则室外的倍频带声压然后按公式（A.8）计算出所有室内声源在围护结构处Lplij（T）L—室内j声源i倍频带的声压级，dB；N—室内声源总数。在室内近似为扩散声场时，按公式（A.9）计算出靠近室外围护结构处的声式中：Lp2i（T）—靠近围护结构处室外N个声源i倍频带的叠加声压级，计算出中心位置位于透声面积（S）处的等效表4-21隔墙等遮挡物引起的A声8表4-22厂界噪声预测结果与达标分析表单位：dB(A)为减少设备噪声对周转环境及自身的影响，项目各噪声设备做减振降噪处建设单位对项目高噪声设备的降噪措施以“隔声减振为主，吸声为辅”的原结合《排污单位自行监测技术指南总则》（HJ819-2017），(GB12348-2008)标表4-24原辅料包装情况及年使用情况一览表1234根据上表可知，本项目废包装容器的产生量为0.072t/a，属于《国家危险废物名录》（2021年）中的HW49其他废物‘900-041-49含有或沾染毒性、感染据经验值估测，一般情况下1kg活性炭按照生量为0.191t，属于《国家危险废物名录》（2021年）中的HW49其他废物本项目清洗工序中使用EKC溶液进行清洗，EKC溶液仅在一号清洗设备中其他废物‘900-047-49’的危废，应集中收集至危险废物暂存间，定期交由有资序号废称产生工序及装置形态1器原料包装固态月物贮存于厂区危废暂2废气处理固态物月分区堆置3清洗液态等月/R表4-26项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表序号施）名称1库月2月3月采用专用的容器贮存在危废暂存处，定期运出至有资质的相应单位进行处置。该类危险废物储存场所地面