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文档简介

半导体器件的寿命估算加速试验应力综合效果影响产品的寿命产品在使用中受到应力温度湿度电气压正常工作条件下,器件的工作寿命很长。需要在较短的时间内验证其工作寿命,怎么办?Arrhenius模型阿伦纽斯SvanteAugustArrhenius(1859-1927)斯范特·舆古斯特·阿伦紐斯是近代化学史上的一位著名的化学家,又是一位物理学家和天文学家。提出活化分子和活化能的概念,导出著名的反应速率公式,即阿伦纽斯方程。人=A·eRrk速率常数R—摩尔气体常量7热力学温度EA—为表观活化能A指前因子摩尔气体常量:R=8.314510J(mol-K阿伏伽德罗常数:NA=6022×103电子伏特与焦耳的换算:1eV=1e1V=1.602×109CV=1602×10玻尔兹曼常数与摩尔气体常量的关系:k=R/NA=1.38×1023(J/K)=86×105(eV/K)Arrhenius模型只考虑温度应力的影响模型计算公式:AF(T)=exp「应用1试验式中AF(①)温度加速因子(无单位EA—激活能,硅器件一般取0.7(单位:eV)k玻尔兹曼常数(8.6×10seV/K用—器件实际应用时的

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