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文档简介

文件编号QT-WI-MTF-101011文件名称版本A1初版发行日期2011-05WOCMTF测试仪MASK文件编写标准作业书页次PAGE1/5新版发行日期2014-12-05制作部门WOC事业部PAGE版次修订理由与内容摘要修订页次发行日期修订人1.目的按照此操作标准作业书进行WOCMTF测试仪测试过程中的MASK文件的编写，以标准化作业流程，提高产品良率为目的。2.范围3.名词解释Rectangular矩形（框）Circular圆形（框）4.职责4.1WOC事业部（生产）4.1.1负责按本操作标准作业书之相关流程进行作业。4.2WOC事业部（工程）4.2.1负责本操作标准作业书的制定,会签，更新，发行。4.2.2负责对该种机台操作人员的培训。5.作业流程图无6.作业程序6.1打开软件6.1.1打开电脑桌面上的图标名为“TrayGenerator”的软件，进入软件界面，如图1和图2图1图26.2作业步骤6.2.1打开后缀名为trg的文件：“File→open”，弹出对话框，选择文件路径，“C:\backup\QTQ3012300.trg”并打开，如图3所示图36.2.2打开文件后缀名为.tmf的文件，“Edit→LoadMask”，出现对话框，选择文件路径：“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”,打开“QTQ3012300Postbondalltest.tmf”如图4、5，然后选择图形截取方式，Rectangular为矩形框，Circular为圆形框。如图4、5所示:图4图56.2.3根据实际情况对mask文件进行编写和修改。编写完成后，通知领班或技术员对结果进行确认。6.2.4点击“Edit→Savemask”保存到“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”目录下，并以下列格式命名：QTQ3012300PostBondalltest_LotID_waferID_设备编号_日期_编号设备编号：MTF01~MTF09编号：01~09表示mask文件分割的次数例如：QTQ3012300PostBondalltest_PL110101001_01A_MTF01_2011-05-0图67.相关文件《WOCMTF

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