CDS中央供酸系统

CDS(中央供酸系統)CenterChemicalDispenseSystem

Preparedby：Date：CDS：系统目的

2供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件3客戶需求:N2ChemicalChemical可不可以直接引作工艺使用??温度、压力、流量、方向、位置…温度、時间、浓度…化学品之种类与用途(一)

4酸性:腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...碱性:NH4OH,KOH,Developer...有机溶剂易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...氧化性:HNO3,H2O2...化学品之种类与用途(二)

5系统基本要求

6操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品兼容微粒子控制：过滤器循环过滤满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、H3PO4自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子取样分析泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)系统诊断：Pump、Filter、Valve运转时数维修保养管路AutoPurge/Flush功能化学品用量统计化学品供应质量要求

7系统流程图(一)

8CCBStorge

Tank

12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote

1m3200LDrum化学槽车充填衔

接站将化学品由

槽车以N2加压直

接输送至Tank适合使用量较

大之化学品,如

H2O2,H2SO4等适合使用量中

等之化学品,如

HF,H3PO4等适合使用量较

小之化学品,如

BOE,HNO3等将化学品经循环

过滤,再经N2或

Pump加压输送

至有需求之生产

机台内将化学品经管路分

配至不同生产机台S可依实际用量需求选择使用TeeBoxSamplingBox系统流程图(二)

9TOOL

机台OCPSCADA

ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加强讯号循环过滤25”后供酸启动CDU循环过滤后，同时由OCP供应GN2，

打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOLCHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE供酸VMB泄漏警报系统流程图(三)

10ToolSideOCPSideTroubleReadyStopRequestEMO1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP．

2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应

若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号

3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品．+24VChemical输送方式：

11Chemical供酸方式（1）：桶槽供酸

12Chemical供酸方式（2）：槽车供酸

13CDS设备布置：

14设备位置：

15洁净室：1.使用点2.VMB阀分支箱)~POU(使用点)机台操作控制介面电控程式连结高架地板1.CDS~VMB管路2.VMB需求3.监控线路4.漏液传感器UtilitySubFAB1.管路2.连接线裝置3.VMB,TeeBox裝置4.管路连接(CDS~VMB)5.管路连接(VMB~POU)系统配置方式：16用量：

80~200L/Day

使用量：较少

利用pump或压送的方式Pump系統–日需求TANK系统配置方式：17用量：

300~4000L/Day

使用量：较多

利用pump或压送的方式压力输送系統–日需求TANK系统配置方式：18用量：

4000L/Day以上

利用压送的方式Pump系統–日需求TANK系统配置方式：19Pump系統–PumpA系统配置方式：20Pump系統–PumpB

Withdaytank系统配置方式：21PressureType–PumpA系统配置方式：22PressureType–PumpB

Withdaytank系统配置方式：23

TankLorryType4000L/Day以上CCB流程图

GN2

linetStorage

Tank充填槽车CDUCDU之流程图(型一)

OutletPumpTransfer

FilterSupply

FilterGN2

inletCDA

inletDrumDayTankTankCDU之流程图(型二)

OutletDrumTankPumpTrans/Rec

FilterSupply

FilterTEE-BOX构造

主管路主管路VMBDrainPort手动阀箱体内侧下方装

设泄漏侦测器1.箱体以PP制成

2.CPVC外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸碱类适用VMB构造

箱体内侧下方装

设泄漏侦测器DrainPortinletToToolsCDAinletFrom

OCPto气动阀ForTheFutureUsePurgeinletDrainPortExhaust气动阀手动阀保养管路时需先

以PN2将化学品

Purge至机台端

Drain41321.箱体以PP制成

2.CPVC外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸碱类适用SAMPLING-BOX构造

1.将取样瓶置入,并关闭

箱门2.按压按钮,再打开取样

手动阀3.化学品流出达需求之

量后,关闭手动阀,放开

按钮4.打开箱门,盖上瓶盖,取

出取样瓶5.清洁取样箱按钮手动阀箱体内侧下方装

设泄漏侦测器DrainPortinlet1.箱体以SUS制成

2.钢丝玻璃外盖

3.箱体与外盖间以

O-Ring密合有机溶剂类适用CDS：系统设备之材料要求

30一般无机酸碱类外管：CPVC内管：PFAPiping&Tubing管件：铁弗龙材质制品有机溶剂类外管：SUS304内管：SUS316LEP管件：SUS316L以上制品有机碱类外管：SUS304内管：PFAPiping&Tubing管件：铁弗龙材质制品31ATCBumping化学供酸系統结构：32ATCBumpingCDS控制：CUB监控室123CDMTBoxVBox用酸机台CDMPLCRemoteboxCom0VDC12VDC12VRequiredEMO&ReadyReady所有接点都导通才会供酸33ATCBumpingCDSHookup介面及要求VBoxRemoteBox用酸设备6芯控制线每一点Hookup包含一管路及控制信号配线管路A>Solvent:SUS外管+PFA內管B>ACIDPVC外管+PFA內管C>VBox预留1/2阀口，hookup管径则视设备需要而定控制线路:6芯以上控制线路测试A>

Required信号正常。B>设备端EMO信号正常。C>Required信号下，EMO信号打开是否強制停止要酸信号。D>开关供酸。部份机台並沒有EMO信号接点，而使用本身的控制系統以断绝Required，此時更必须要求设备端模拟EMO狀況以确保安全。34ATCBumpingCDS混酸35ATCBumpingCDS混酸体积比&重量比比重=质量体积***看客戶需求***目前比例(体积比)3MH2SO4H2O2H3PO4DI401003005009260AZ400KDI1:3AZDev.DI3:1BOEDI1:3MixTankDrain粗调微调供酸WetN2Sensor在调整配比的过程中，换算成重量不仅方便也更准确。36ATCBumpingCDSMixsystemmix.tankDaytank混酸量杯組湿氮气CDS：运转操作注意事项(一)

37充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施工作前，先行思考及演练各细节后，再行动工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认正确选用及使用适当防护器具正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害良好个人安全卫生环保习惯认知工作安全”意外”意识CDS：运转操作注意事项(二)

38熟知化学品泄漏处理七项步骤远离泄漏源辨示泄漏状况寻求协助支持管制隔离污染区拯救伤员围堵外泄物清除污染物及环境检测事故调查记录留存CDS：运转操作注意事项(三)

39熟知化学品淋溅烧伤之急救处理稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质自救--救人前应先保护自己冲--清水不断冲洗至少15分钟脱--边冲边脱并避免二次伤害支持--请求支持成立紧急处理ERT

对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙

(涂抹-按摩-擦净-涂抹)送--尽速送医CDS：运转操作注意事项(四)