第五节薄膜干涉自然科学

1/1第五节薄膜干涉-自然科学

§10.5薄膜干涉

薄膜干涉：如阳光照耀下的肥皂膜，水面上的油膜，蜻蜓、蝉等昆虫的翅膀上呈现的彩色花纹，车床车削下来的钢铁碎屑上呈现的蓝色光谱等。

薄膜干涉的特点：厚度不匀称的薄膜表面上的等厚干涉和厚度匀称薄膜在无穷远出形成的等倾干涉。

一、薄膜干涉

当一束光射到两种介质的界面时，将被分成两束，一束为反射光，另一束为折射光，从能量守恒的角度来看，反射光和折射光的振幅都要小于入射光的振幅，这相当于振幅被“分割”了。

两光线a,b在焦平面上P点相交时的光程差

??m(AB?BC)?AD?2necosi/

Δ取决于n1,n2,n3的性质。1.劈形膜

光程差：

上表面反射的反射光1光密到光疏，有半波损失；下表面反射的反射光2光疏到光密，没有半波损失（若是介质膜放在空气中，则上表面没有半波损失，下表面有半波损失）。光程差

Δ?2ne??n?n1?21

干涉条件为或者

ne?(2k?1)Δ?2ne??2k?,?(2k?1)(2k?1)k?1,2,??2,k?0,1,?明纹暗纹明纹暗纹

明纹暗纹

?2Δ?2ne?,k?0,1,?k?,?4k?1,2,?,k?0,1,?争论：

2k?4,k?1,2,?1在劈形膜棱边处e=0，2因而形成暗纹。2相邻两条明纹(或暗纹)在劈形膜表面的距离。

L?2nek?1?????2?(k?1)?Δe?ek?1?ek??2n2nek??2?k?L?2nsin?ΔeL??2n?3、干涉条纹的移动

每一条纹对应劈尖内的一个厚度，当此厚度位置转变时，对应的条纹随之移动

应用：1）用劈形膜干涉测量薄片厚度

h???tan??hDFG1?D2nLDG22

2)比较两个块规标准块规

?待测块规平晶平晶?Δh待测样品石英环3）检验光学元件表面的平整度

二、牛顿环1装置

2光程差平凸透镜平晶暗环分束镜M测量显微镜b'?h?a?b2干涉膨胀仪?hb·o?RrS.平凸透镜平晶e?o牛顿环3

??2e?22?222r?R??R?e??2eR?e?R?e?e?0r22??R??2Δ＝

k??k?0,1.2,3...?明纹?2k?1??k2r2??0,1.2,3...?暗纹3明暗纹半径明纹

R2??2?k?r?2k?12?RR?明环半径???2k?1?2r=4条纹特点1）膜层厚度

??2e?kR?暗环半径?2k??k?0,1.2,3...?明纹?＝?2k?1??2?k?0,1.2,3...?暗纹

e＝

?2k?1?2k?4?k?k?0,1.2,3...?明纹?0,1.2,3...?暗纹?42）条纹内稀外密(可由膜厚变化状况分析)见上图?e?

在牛顿环中，θ渐渐增大，故条纹中心疏，边缘密。另由暗环半径公式r1:r2:r3=1:(2)1/2:(3)1/2k??rk?,条纹间距?

?r?(k?1?k)?R?2???eL4

3)中间条纹级次低思索：

(1)假如平凸透镜上移，条纹怎样移动?

透镜上移，膜层厚度增大，条纹级次增大，条纹向外移动。(2)白光条纹如何？

(3)在白光照耀下，同一级条纹中哪种色的半径大？

(4)假如平板玻璃上有微小的凸起，将导致牛顿环发生畸变，问该处的牛顿环将局部外凸还是内凹？

同一级等厚条纹应对应相同的膜层厚度。厚度相同的地方应组成同一条纹，向外凸。

三、等倾干涉

对于厚度匀称的薄膜，光程差是由入射角i打算的，凡以相同的倾角入射的光，经膜的上、下表面反射后产生的相关光束都有相同的光程差，从而对应于干涉图样样中的一条条纹，故将此类干涉条纹称为等倾条纹。等倾干涉明纹的光程差的条件：

222??2en2?n1sini????2k?，(k?1,2,3,?)

等倾干涉暗纹的光程差的条件：

222??2en2?n1sini????(2k?1)?，(k?1,2,3,?)两透射光线a?,b?相干的光程差：

??2en2?n1sini222这是由物理资源网供应的样本教案。

透射光也有干涉现象。当反射光的干涉相互加强时，透射光的干涉相互减弱。明显，这是符合能量守恒定律的。

反射光相互加强时透射光相互减弱，当反射光相交减弱时，透射光相互加强，两者是互补的。四、增透膜和增反膜

光学镀膜：在一块透亮     平整的基底（玻璃n1=1.52）表面用化学或物理的方法涂一层透亮     的介质薄膜（n）,形成单层膜。单层膜系有两个界面，空气和膜层的界面及膜层和基底的界面。光波在两个界面上一次反射和透射，产生多光束

5

干涉。

称ne为膜层厚度。膜层厚度均为ne=λ/4增透膜：膜层的折射率大于基底的折射率

n?n1增反膜：膜层的折射率小于基底的折射率

n?n1膜层ne

基底n1例10-1在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，如图所示。已知SiO2的折射率n=1.46，用波长的钠光照耀后，观看到SiO2劈尖上消失9道暗纹,且第9道在劈尖斜坡的上端点M，硅的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。已知：求：

n?1.46n1?1.00n2?3.42??589.3nme?？N?9(暗)解：由于在SiO2上、下表面反射的光均是从光疏介质入射到光密介质，都有半波损失，所以光程差

??2ne为：

消失暗纹的条件为：

当k=0时，对应第一条