防静电管理规范

《防静电管理标准》1.目的为了标准生产过程中的ESD控制要求，作为各部门实施和维护ESD的依据，特制定本程序。2.范围适用于本公司静电敏感器件(材料、半成品及成品)的生产组装、检验测试、处置存储及包装运输等各环节。3.定义3.1ESD：英文electrostaticdischarge〔静电放电〕缩写。静电是指暂时停留在物体某处的电荷。当具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电感应引起的物体间静电电荷的转移叫静电放电。3.2静电接地：将带静电物体或有可能产生静电的物体〔非绝缘体〕通过导体与大地构成电气回路的接地叫做静电接地。3.3直接静电接地：通过金属导体构成的静电接地系统。3.4间接静电接地：通过含有非金属导体、防静电材料或其制品使物体静电接地的系统。3.5外表电阻：它代表每平方面积电介质外表对正方形的相对二边间外表泄漏电流所产生的电阻。单位是欧姆。外表电阻的大小除决定于电介质的结构和组成外，还与电压、温度、材料的外表状况、处理条件和环境湿度有关。环境湿度对电介质外表电阻的影响极大。外表电阻愈大，绝缘性能愈好。3.6接地电阻：从一条导电路径上任意点到接地电极之间的电阻总和。3.7对地电阻：放置在被测试物体外表上的一个电极和地之间测量所得的欧姆电阻值。3.8导静电材料：外表电阻小于1*10的4次方欧姆的材料。3.9静电耗散材料：外表电阻≥1*10的4次方欧姆且＜1*10的11次方欧姆的材料。3.10EPA：静电防护区，材料和设备的静电电压受到控制的工作环境。为保障静电敏感器件〔SSD〕免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域，通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员，必须严格遵循防静电作业标准。又名静电放电控制区ECA〔ESDcontrolledarea〕。3.11EBP:接地连接点。3.12ESDS：英文electrostaticdischargesensitivity〔静电放电敏感度〕缩写,导致元器件失效的静电放电等级。4.权责4.1工程部：负责所有EPA区域和外部地线系统的规划、实施、维护，主导对ESD相关问题的分析改良，对ESD治工具的验收，及ESD相关培训工作。4.2研发部：负责产品防静电要求的设计与防静电标准的提供，负责防静电包装、储存及运输的设计。4.3生产部：按ESD相关标准操作，按工程部的组织下安排人员配合防静电措施的安装。4.4品质部：对ESD材料的验收工作，EPA区域内定期及不定期的静电防护过程监控检测、预警、强制执行。4.5体系办：对本程序的实施进行监督管理。4.6供给链：负责按ESD的相关要求确保ESD敏感材料在包装，运输、拆分过程中ESD防护有效5.内容5.1个人平安：5.1.1使用接地断路器及其它平安措施，预防人员触电；5.1.2公司范围内应进行不定期的电气平安演习；5.1.3遵循设备、机台正确接地，并按照标准定期对设备、机台接地情况进行巡查。5.2防静电工作区技术要求：5.2.1环境条件：温度、湿度管控按照《无尘车间管理标准》执行。5.2.2标识要求：5.2.2.1EPA专用标记：在EPA车间及工作场所各入口处明显位置悬挂如图1示的EPA标识牌，标识牌采用黄底黑色。5.2.2.2接地线颜色定义：绿色接地线为人体接地时使用，一般位于工作台下。黄色接地线为机台、电源接地时使用。两种接地线为专用，不能错用、混用。5.2.2.3防静电接地电极标记：防静电接地电极处须张贴标识〔如：图2〕，标识符号的尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼能够清楚识别，标记颜色采用黄底黑色。5.2.2.4接地点标识：EPA内设置的公共接地点须进行接地连接点符号标记〔如：图3〕，标识符号的尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼能够清楚识别，标记颜色采用黄底黑色。5.2.2.5离子风扇、工作台、流水线、周转盘、货架、运输车、工作椅等设施经测试合格后，应张贴相应标识〔按如以下图示中10.0的要求〕，标识应置于明显不易受到磨损的地方，没有张贴标识的，视为未经过防静电认证，不允许使用。5.2.2.6静电防护器材应张贴如图4标识，用于与非防静电器材进行区分。5.2.3接地要求：5.2.3.1EPA内所有的金属导体、仪器设备、防静电装备、人员必须进行接地。5.2.3.2防静电接地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，人体防静电接地应采用独立接地线；人体防静电接地线不能直接与机器外壳相连，假设使用机器外壳固定的，必须保证人体接地线与机器外壳绝缘。5.2.3.3在使用防静电装备用品涉及到操作人员平安时，防静电接地应采用间接静电接地方式〔接地线串联1MΩ的电阻〕，其对地电阻可采用外接电阻，材料或用品内固有电阻或它们的组合构成串联1MΩ的电阻时，电阻应接近该装备。5.2.3.4防静电接地系统应具有足够的机械强度和可靠性。5.2.3.5各接地线出现断线或者干线与支线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进行连接，连接处不可出现松动。5.2.3.6接地线应保持连续的通路，在其通路上不得通过油漆、涂蜡或阳极氧化铝等非导电的区域，不得使用导电工作台等作为接地线用。5.2.3.7接地线或接地台面需采用并联参加方式参加总地线或EBP，且采用单一接入，不可串联，不可形成环路。5.2.4防静电台垫接地要求：5.2.4.1从防静电台垫正面下安装接头〔可以用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替〕，使其穿过台垫，与接地线进行机械连接。5.2.4.2防静电台垫铺设在金属工作台〔货架〕中也应按以上要求进行接地。5.2.4.3台垫覆盖工作台面时，台垫尺寸不少于台面的大小，台垫每3米距离内必须保持一个接地点。5.2.4.4台垫必须保持连续性，如中间出现断层应使用导线将台垫导通。5.2.5接地电阻要求：5.2.5.1防静电接地系统接地电阻测试应小于25Ω，接地电压小于10V〔AC〕。5.2.5.2电源接地系统接地电阻测试应小于1Ω，接地电压小于10V〔AC〕。5.2.6接地线中间断线维护：5.2.6.1电源接地线中间断线维护：从电源接地电极至各生产用电设备不能出现断线，电阻应小于10Ω。5.2.6.2防静电接地线中间断线维护：从人体防静电接地电极至各生产线未端的防静电接地线间不能出现断线，电阻应小于10Ω。5.2.7EPA内各设施的静电性能技术要求：5.2.7.1工作台：工作台面必须为静电耗散材料并采用软接地，台面不得使用金属板制作，不得将防静电地板作为工作台的接地连接线。5.2.7.2静电手环：必须内藏有1MΩ限流电阻的有线手环，不得使用无线手环；佩带时静电手环的金属片必须完全接触到肌肤，静电手环与接地点连接良好，采用鳄鱼夹进行接地的应采用鳄鱼齿夹住接地线进行接地，不得夹在桌面或桌边的金属体上。5.2.7.3流水线传送带：传送带应为静电耗散材料，与接地的传送带金属轮轴紧密接触。5.2.7.4地板：地板应使用静电耗散材料制作，并设置接地网络并良好接地。5.2.7.5货架：台面必须为导电或静电耗散材料，并通过支架与防静电地板良好接触或接地线与地连接，货架每层均须接地。5.2.7.6运输小车：台面必须为导电或静电耗散材料，并通过导电轮或铁链与防静电地板良好接触，小车每层均必须与导电轮导通，必须保持至少2个轮子为导电轮，且保持导电轮子干净。5.2.7.7周转盘、盒等容器：静电敏感器件必须采用防静电周转容器进行周转，不允许使用金属和普通塑料容器，包括容器里面的隔板等也必须采用静电耗散材料。存放静电敏感产品的容器应放置于已经进行静电防护处理的工作台、小车或货架上。5.2.7.8工作椅：工作支架或脚轮等用静电耗散或导电材料制作，座椅外表用静电耗散或导电材料制作并与脚轮构成电气连接。5.2.7.9焊接设备〔烙铁等〕：EPA内使用焊接设备必须接地措施，焊接设备的焊头与接地系统的连接阻抗应不大于2Ω，漏电电压少于20mV〔AC〕，漏电电流少于10毫安AC〕。5.2.7.10工作服：工作服各部位应存在电气连续性，并定期进行清洗。5.2.7.11防静电鞋：穿着防静电鞋时，鞋底应与防静电地板接触的情况下进行作业，特别是实施静电手环有困难的岗位，利用防静电鞋作为人体导静电的唯一措施时，作业时必须保证双脚与防静电地板良好接触；另外鞋底脏容易导致导电性低下，在EPA入口处应铺设粘尘垫，进入时在粘尘垫上踩踏2~3下，以清洁鞋底的脏污。5.2.7.12离子风扇：静电去除器的选择应该能消除任何一种极性的电荷，测试标准：风速调至最大，电压从1000v下降到100v的消散时间不超过3.5s，剩余电压小于±35v。5.2.7.13设备、仪器：生产设备接触静电敏感器件部位应采用静电耗散材料、导电材料或其具有摩擦电压小的材料〔摩擦电压＜100V〕，并保证这些部位具有可靠的接地通路、与静电敏感产品接触的导电体部位漏电压＜2v〔AC〕。5.2.7.14防静电剂：EPA内使用的绝缘物品无法按要求进行存放时，必须对其外表进行加涂防静电剂，经防静电剂处理的外表如经常摩擦的必须每周检测一次，通常不摩擦的每月检测一次，并进行如图5的标识。5.2.7.15夹具:EPA所使用的各种夹具应使用电木等抗静电材料〔摩擦电压＜100V〕，如夹具使用非电木材料应测试防静电性能〔摩擦电压＜100V〕，测试结果记录于附表25.并张贴图4标识，对特殊情况不可防止使用非防静电材料的必须使用离子中和或定期涂防静电剂等措施。5.2.7.16工具：EPA所使用的各种工具应具有防静电性能，使用AC电源的工具必须具有硬接地措施接入电气保护地，使用电池、气开工具接地电阻应＜1.0×109Ω，工具在使用的过程中应不易产生静电，外表电阻为≤1.0×109Ω，用于接触静电敏感器件的部位应防止使用导体或绝缘材料，如：不锈钢镊子等。5.2.7.16手套、指套：在EPA内使用的手套、手指套，应具有防静电性能，手套，手指套使用时出现脏污、破损应及时进行更换。防静电指标必须符合表一要求EPA防静电要求一览表(表一)序号工程名称检测工程单位技术指标要求序号工程名称检测工程单位技术指标要求1进入EPA人体对地电阻人体综合电阻Ω1.0×105~1.0×1092各类工作台面(垫)点对点电阻Ω1.0×105~1.0×1093各类地面(垫)点对点电阻Ω1.0×105~1.0×109对地电阻Ω＜1.0×10⁹对地电阻Ω＜1.0×10⁹摩擦电压V＜1005无尘鞋对地电阻Ω＜1.0×1094无尘服〔帽〕点对点电阻Ω＜1.0×10117静电手环手环连接线两端电阻Ω0.8×106~1.2×106摩擦电压V＜100手环内外表电阻Ω＜1×1056手套/手指套穿戴状态下电阻Ω1.0×105~1.0×109手环外外表电阻Ω＞1×1078生产设备接地漏电电压〔AC〕V＜29流水线传送带点对点电阻Ω1.0×105~1.0×109接地电阻Ω＜1对地电阻Ω＜1.0×10910离子风机〔棒〕消除时间

±1000v至±100vS≤3.5摩擦电压V＜100残留电压V＜±3511工作椅点对点电阻Ω1.0×105~1.0×10912货架点对点电阻Ω1.0×105~1.0×109对地电阻Ω＜1.0×109对地电阻Ω＜1.0×10⁹摩擦电压V＜100摩擦电压V＜10013运输小车对地电阻Ω＜1.0×109剩余电压V＜±60摩擦电压V＜10014导电性材料〔包装材料周转容器〕点对点电阻Ω＜1.0×10415耗散性材料

〔包装材料周转容器〕点对点电阻Ω1.0×104~1.0×1010摩擦电压V＜100摩擦电压V＜10016防静电生产辅助工具〔吸笔、镊子〕点对点电阻Ω＜1.0×10917吸塑

〔片材〕点对点电阻Ω1.0×104~1.0×1011摩擦电压V＜100漏电电压V＜2〔AC〕18防静电剂、蜡

(施工后〕点对点电阻Ω1.0×105~1.0×10919防静电接地系统对地电阻Ω＜2520电源接地系统对地电阻Ω＜1对地电压〔AC〕V＜10对地电压〔AC〕V＜105.3EPA维护与检查。5.3.1来料测试5.3.2各EPA技术性能与管理检查工程序号测试工程标准检测频率检查方式记录表单测试单位检测仪器1离子风机使用情况依记录表要求1次/班目视防静电工程日常目视检查表各使用单位负责人N/A2静电手环使用情况依记录表要求1次/班3防静电测试标识情况依记录表要求1次/日4接地线接地情况依记录表要求1次/日5电烙铁焊头接地电阻和漏电电压接地电阻＜2Ω

漏电电压〔AC〕＜20mV

漏电电流〔AC〕＜10mV1次/周测量电烙铁防静电测试记录表万用表/摇表6防静电手环佩戴时系统电阻通过静电手环测试仪测试1次/班测量防静电手环测试记录表各使用单位负责人静电手环测试仪7人体综合电阻测量通过人体综合电阻测试仪测试1次/周测量人体综合电阻测试记录表品质部人体综合电阻测试仪8防静电手环接地线电阻测试手环连接线二端电阻：

0.8×106~1.2×106Ω

手环内外表电阻＜1×105

手环外外表电阻＞1×1071次/月测量防静电手环接地线电阻测试记录表品质部万用表9离子静电消除器静电消除能力〔包括离子风枪〕消除时间±1000v至±100v：

≤3.5S

残留电压：＜±35V1次/月测量

〔全测〕静电消除器的中和能力测试记录表品质部，设备内部的由工程部测试静电消除器中和能力测试仪10工作台面对地电阻、外表电阻和摩擦电压点对点电阻：

1.0×105~1.0×109Ω

对地电阻：＜1.0×109Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔全测〕工作台面防静电测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪

静电电压测试仪11流水线传送带对地电阻、外表电阻和摩擦电阻点对点电阻：

1.0×105~1.0×109Ω

对地电阻：＜1.0×109Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔全测〕流水线传送带对地电阻和外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪

静电电压测试仪12防静电工具点对点电阻外表电阻：＜1.0×109Ω摩擦电压＜100V1次/3个月测量

〔全测〕治工具摩擦电压&外表(点对点)电阻测试记录表品质部外表电阻测试仪13防静电地板对地电阻、外表〔点对点〕电阻点对点电阻：

1.0×105~1.0×109Ω

对地电阻：＜1.0×109Ω1次/3个月测量

〔抽测〕地板的对地电阻和外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪14周转容器外表〔点对点〕电阻点对点电阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/3个月测量

〔全测〕周转容器外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部外表电阻测试仪15货架对地电阻、外表电阻和摩擦电压点对点电阻：

1.0×105~1.0×109Ω

对地电阻：＜1.0×109Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔全测〕货架对地电阻和外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪

静电电压测试仪16运输小车对地电阻对地电阻：＜1.0×109Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔全测〕运输小车对地电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪

静电电压测试仪17防静电工作椅对地电阻和外表〔点对点〕电阻点对点电阻：

1.0×105~1.0×109Ω

对地电阻：＜1.0×109Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔全测〕工作椅对地电阻和外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪

静电电压测试仪18防静电大褂、净服外表〔点对点电阻〕点对点电阻：＜1.0×1011Ω

摩擦电压：＜100V1次/3个月测量

〔抽测〕净服/防静电大褂外表〔点对点〕电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪19防静电鞋、净服鞋体积电阻对地电阻：＜1.0×109Ω1次/3个月测量

〔抽测〕净服鞋/防静电鞋体积电阻测试记录表品质部重锤式外表电阻测试仪20防静电手套/手指套穿戴状态下电阻点对点电阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/月测量

〔抽测〕防静电手套、手指套穿戴状态下电阻测试记录表品质部外表电阻测试仪21生产设备、测试治具接地电阻：＜1Ω

漏电电压〔AC〕：＜2V1次/3个月测量

〔全测〕生产设备、测试治具接地电阻及漏电电压测试记录表品质部万用表22电源接地系统接地电阻，接地电压对地电阻：＜1Ω

对地电压〔AC〕：＜10V1次/6个月测量防静电接地系统、电源接地系统接地电阻、接地电压测试记录表工程部万用表23防静电接地系统接地电阻、接地电压对地电阻：＜25Ω

对地电压〔AC〕：＜10V1次/3个月测量工程部万用表24接地线中间断线保护〔保护防静电接地及电源接地〕点对点电阻：＜10Ω1次/6个月测量

〔全测〕接地线中间断线测量记录表工程部万用表5.3.3仓库测试工程序号测试工程频率检查方式测试单位记录方法1货架防静电性能1次/6个月测量〔全捡〕品质部货架对地电阻和外表〔点对点〕电阻测试记录表2运输小车防静电性能1次/6个月测量〔全捡〕运输小车对地电阻测试记录表注：1、5.3测试工程必须用纸张表格作原始记录，并由体系专员保存原始记录三年；2、测试NG的，按5.5要求进行处理。OK投入使用提交测试结果给跟进人部门防静电负责人测试认证新投入ESD防护器材NG5.4新投ESD防护器材认证流程。OK投入使用提交测试结果给跟进人部门防静电负责人测试认证新投入ESD防护器材NG测试结果测试结果反应给跟进人5.4.1新布置的生产线或工位应通知部门防静电负责人进行测试认证，只有认证合格后，方可投入使用。5.4.2新投入使用的防静电工具、材料、静电去除器、运输小车、周转容器、工作椅等应通知部门防静电负责人进行测试认证，只有认证合格后，方可投入使用。5.4.3防静电负责人测试后，将测试结果记录于附表21〔记录由体系专员保存三年〕，测试合格的贴上相关标识，后续按要求进行定期检测。5.5各工程测使用的仪器及测试NG的处理方法。序号测试工程测试NG的处理方法1防静电手环佩戴时系统电阻检测手环与人体、测试仪器是否良好接触，重新测试，再次NG更换手环，直至测试OK2防静电手环接地线电阻更换新的防静电手环3防静电工作服外表电阻检测不达标的应立即停止使用、更换新的〔出现破孔或导电线断裂时及时更换〕4人体综合电阻将鞋底清洁干净重新测试，更换工作鞋重新测试，直至测试OK5电烙铁接地电阻、漏电电压将焊头清洁干净重新测试，再次NG，更换焊头仍不能达标通知设备部检修接地线、电烙铁，直至测试OK才能继续使用。6手套、手指套电阻手套、手指套测试不达标，及时反应给采购处理，测试其它批次，达标的才允许使用。7离子静电消除器静电消除能力对离子静电消除器进行清洁后重新测试，再次NG通知工程部维修，直至OK才能继续使用。8台面将台面擦拭干净重新测试，再次NG，更换台垫，直至测试OK才能继续使用。9对地电阻检查接地线，出现断线通知工程部重新接地；使用防静电轮的，将轮子清洁干净重新测试，再次NG更换防静电轮子；采用支架与地板导通接地的，检查接触的良好，直到测试OK后，才能继续使用。10工具、周转容器防静电性能立即更换防静电工具、周转容器11设备、仪器漏电电压通知工程部进行接地，接地后重新测试，直至测试OK才能继续使用12系统接地电阻相关部门停产，工程部维修，重测OK才能继续生产。13接地线中间断线测试停产，工程部维修该处接地线路，直至OK；注：测试NG后要贴NG标识，并在标识上注明NG工程，待处理并测试合格后，贴相应合格标贴。5.6包装要求5.6.1进入EPA的静电敏感器件必须进行防静电包装，即使已被发现为失效的产品在送往修复或进行失效原因分析之前，同样需与正常品一样实行防静电包装，并且包装与拆包装操作必须在EPA内进行。5.6.2所用静电电荷的发生源，例如未经处理的塑料薄膜、泡沫塑料、合成纤维、胶粘带都禁止作为直接或间接包装材料使用，不准带入EPA内。5.6.3产品所采用的包装由研发定义并编入BOM中。5.7进入EPA人员静电防护凡进入EPA人员必须穿防静电工作服、防静电工作鞋、工作服外严禁携带除工卡、笔外的金属物品、塑料物品、不得将个人物品〔如：个人衣物、各种塑料等〕带入EPA，穿脱工作服装应在EPA外或指定地方进行不得在EPA穿脱工作服，着装工作服服装时防静电服拉链必须拉满〔纽扣式的扣上所有纽扣〕，将头发盘起，不能把非防静电工作服的衣领翻出盖住防静电服衣领，防静电服袖口不得挽起、手表、首饰等饰品不得露出防静电服外，头发不得外露。在EPA内应保持防静电鞋与防静电地板或地垫妥善接触以泄漏人体电荷。凡与SSD接触人员，包括操作人员、工程技术或管理人员，参观人员等，需佩戴防静电手环，并应保持与人体，接地系统接触可靠。必要时，应佩戴防静电手套或手指套进行操作。在EPA内的人员不准进行与工作无关的肢体活动。5.8静电敏感器件的处置，存贮和转移5.8.1静电敏感器件在检测、转移、存贮过程中不能随便更换原防静电包装，如需更换时，要使用防静电包装，不得任意使用塑料袋，普通塑料盒等容器。5.8.2拆开防静电包装拿取静电敏感产品时人员必须采取静电防护措施，一切操作必须要EPA内进行。5.8.3转移静电敏感产品时应使用防静电运输工具。5.8.4静电敏感产品转移、存贮时必须使用防静电容器，不允许使用金属和普通塑料容器，并放置于符合防静电要求的运输小车、货架或工作台等。5.8.5静电敏感产品转移、存贮中要远离强静电、强电磁场或放射场的位置。5.9绝缘体〔静电源〕控制5.9.1为了减少静电对静电敏感产品的破坏，所有不必要的易产生静电的材料〔如：普通塑料、橡胶、合成纤维等〕和个人物品不允许带入EPA内。5.9.2在操作、储存静电敏感产品的位置附近搁置有直流高压设备〔CRT显示器、电源灯〕，应采用静电防护措施。5.9.3在EPA内，仪器设备、工装夹具均应采取防静电措施，确认不会对静电敏感产品造成损害前方可使用。5.9.4对于接触静电每个产品的材料，静电电压不得超过该EPA允许范围，如超过必须采取措施进行控制，应采用以下措施的其中一个a、将2000v以上电压的绝缘体远离高静电敏感产品至少30cm，将100v以上电压的绝缘体远离高静电敏感产品至少2.5cm；b、将绝缘体置于静电消除器的有效范围内将电荷中和；c、在绝缘体外表进行防静电剂处理。5.9.5不具备防静电功能的必备工具、用具，应放在防静电工作台面上，并置于静电消除的作用范围内或采用防静电剂进处理。5.9.6EPA内非防静材料须进行测试评估其平安性，并对非防静电材料进行登记并建立附表23建立清单管理。5.9.7各EPA敏感期间须建立静电敏感器件清单〔表24〕，以使相关人员清楚该器件为静电敏感器件，以便采用静电防护措施。5.10孤立导体控制在ESD管控体系里，如果一个与ESDS物品接触的导体材料不能有效与接地或等电位连接系统连接时，则需保证该导体和ESDS物品之间的电位差小于35伏。这一点可通过用非接触式静电压仪，或高阻抗的接触式静电压仪，分别对ESDS物品和导体进行测量来完成。5.11操作标准5.11.1静电防护操作的根本原则；a、所有ESDS产品及其他的操作都必须在ESD防护工作台上进行；b、进入防静电工作区的所有