半导体器件间歇工作寿命试验设备

1T/ZACAXXXXX—2022半导体器件间歇工作寿命试验设备本文件规定了半导体集成电路间歇工作寿命试验设备（以下简称寿命试验设备）的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存。本文件适用于Si/SiC二极管、三极管、MOSFET/IGBT等器件的间歇工作寿命试验设备。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T4793.1测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求GB/T5170.2—2017电工电子产品环境试验设备检验方法温度试验设备GB/T6587—2012电子测量仪器通用规范GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T17626.2电磁兼容性试验和测量技术静电放电抗扰度试验GB/T17626.3电磁兼容性试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验GB/T17626.4电磁兼容性试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验GB/T17626.5电磁兼容性试验和测量技术浪涌（冲击）抗扰度试验GB/T17626.6电磁兼容性试验和测量技术射频场感应的传导骚扰抗扰度GB/T17626.8电磁兼容性试验和测量技术工频磁场抗扰度试验GB/T17626.11电磁兼容性试验和测量技术电压暂降、短时中断和电压变化的抗扰度试验GB/T18268.1测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1半导体器件间歇工作寿命试验设备intermittentworkinglifetestequipmentforsemiconductorintegrateddevices2T/ZACAXXXXX—2022对各种封装形式的Si/SiC二极管、三极管、MOSFET/IGBT等器件的进行间歇寿命或稳态寿命的试验设备。4基本参数检测系统基本参数应符合表1的规定。表1检测系统基本参数8885技术要求5.1工作环境寿命试验设备工作环境应符合下列要求：a）环境温度：5℃~35℃;b）相对湿度：≤80%RH；c）大气压强：86kPa～106kPa；d）电网电压：AC220V±10%；e）电网频率：50Hz±8Hz。f）周围无强磁场干扰和有害气体侵蚀；g）周围无强烈振动，无其他热源直接辐射。5.2外观结构3T/ZACAXXXXX—20225.2.1设备外壳不得有明显斑点、划痕、色斑等缺陷，应无危害安装、正常使用或维护的尖端或锐边。5.2.2设备接插件插头绝缘应无任何破损，并接插稳固。5.2.3设备开关及按键应灵活可靠，零部件装配应牢固，无卡涩、松动现象。5.2.4试验通道应光滑平整、无变形、损失，箱门应开关灵活，闭合紧密。5.2.5设备整体尺寸应符合设计图纸要求，尺寸偏差应为±5mm。5.2.6说明性文字、符号、标志应清晰、耐久。5.3性能要求5.3.1检测板性能试验通道检测板性能应符合表2的规定。表2检测板性能项目要求加热电流控制范围（A）0～20加热电流控制分辨率（mA）加热电流控制精度（mA）1%±10测试电流（mA）测试电流精度（mA）测试脉冲宽度us400加热电流检测范围（A）0～20加热电流检测分辨率（mA）加热电流检测控制精度（mA）1%±0.20VF检测范围（V）0～4.000VF检测分辨率（V）0.001VF检测精度（V）0.2%±0.0015.3.2试验电源性能试验电源应为稳压稳流直流电源，最大输出电流67A。应具有过压、过流、短路、过热等保护功能。5.3.3检测系统软件性能系统软件性能应符合表3的规定。表3软件性能项目要求加热电流IH可调每路加热电流IH可调，调整区间0～20A回路可并联使用各个回路可以并联组合，抬升加热电流范围。VF离散补偿试验过程中对每颗器件Vf进行离散补偿，以便进行精确地结温4T/ZACAXXXXX—2022换算。结温Tj测试可对每个工位进行结温Tj测试，数据每秒记录一次电流检测对每一回路进行精准的IH检测。Ta检测每个通道都可以检测腔体环境温度Ta。老化板插板状态检测可以检测老化板插板状态，确定老化板状态，是否可以继续进行试验。数据记录。试验全程记录VDS、ID、VF、Ta、Tjmax、Tjmin、△Tj、TC、VF@IM、VF@IH、TON、TOFF。5.4安全性能5.4.1介电强度电气强度（引线壳体间）在耐压试验电压2100V下1min，应无击穿和闪络现象。5.4.2绝缘电阻带电体与外壳间的绝缘电阻应大于10MΩ。5.5噪声检测系统运行时声压级噪声不应大于70dB(A)。5.6环境适应性环境适应性应符合GB/T6587—2012中4.7的规定。5.7电磁兼容电磁兼容抗扰度性能应符合GB/T18268.1的规定。5.8电源适应性电源适应性应符合GB/T6587—2012中4.10的规定。5.9可靠性可靠性应符合GB/T6587—2012中4.11的规定。6试验方法6.1试验条件试验应在下列条件下进行：a）温度：15℃~35℃;5T/ZACAXXXXX—2022b）湿度40～60）%RH；c）大气压：86kPa～106kPa；d）电源：标称交流电源；e）状态：正常工作状态。6.2外观结构外观检查可采用目测和手感。尺寸及偏差用精度不低于1mm的钢卷尺或等精度仪器测量。6.3性能要求6.3.1检测板性能用电流表、电压表和万用表逐项检查检测板各项性能，应符合表2的规定。6.3.2试验电压性能6.3.2.1用万用表测试电源的最大输出电流。6.3.2.2检查电源的各项功能，应符合5.3.2.2的规定。6.3.3系统软件性能对照产品设计说明逐项检查软件性能。6.4安全性能6.4.1介电强度按GB/T4793.1—2007中6.8的规定执行。6.4.2绝缘电阻按GB/T4793.1—2007中6.8.4的规定执行。6.5噪声按GB/T5170.2—2017中8.11的规定执行。6.6环境适应性按GB/T6587—2012中5.9的规定执行。6.7电磁兼容按GB/T17626.2、GB/T17626.3、GB/T17626.4、GB/T17626.5、GB/T17626.6、GB/T17626.8、GB/T17626.11中的规定执行。6T/ZACAXXXXX—20226.8电源适应性按GB/T6587—2012中5.12的规定执行。6.9可靠性按GB/T6587—2012中5.13的规定执行。7检验规则7.1检验分类产品检验分为出厂检验和型式检验，检验项目见表4。表4检验项目序号检验项目技术要求试验方法出厂检验型式试验1外观结构5.26.2√√2检测板性能5.3.16.3.1√√3试验电源性能5.3.26.3.2√√4系统软件性能5.3.36.3.3√√5介电强度5.4.16.4.1√√6绝缘电阻5.4.26.4.2√√7噪声5.56.5 √8环境适应性5.66.6—√9电磁兼容性能5.76.7—√电源适应性5.86.8—√可靠性5.96.9—√7.2出厂检验7.2.1产品应经质量检验部门检验，每项检验项目符合要求，判定出厂检验合格。7.2.2产品检验合格并附有合格证方能出厂。7.3型式检验7.3.1型式检验项目见表4。7.3.2有下列情况之一，应进行型式检验：a)新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定时；b)正式生产后，如结构、材料、工艺等有较大改变，可能影响产品性能时；c)正常生产，每年应进行一次型式试验；7T/ZACAXXXXX—2022d）产品长期停产1年后，恢复生产时；e)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时。7.3.3型式检验样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取2个样品。型式检验全部项目合格应判定型式检验合格，若有不合格项时，应对不合格项进行复检，复检合格应判定为合格，复检仍不合格，应判定型式检验不合格。8标志、使用说明书、包装、运输和贮存8.1标志8.1.1产品标志应字迹清晰耐久，固定牢靠。8.1.2标志应有下列内容：a)产品名称、型号；b)温度范围；c)电源电压、频率及总功率；d）制造日期或出厂编号；e)产品执行标准；e)制造厂商名称。8.2使用说明书产品使用说明书应按GB/T9969的规定编写。8.3包装8.3.