福建晶旭半导体科技有限公司2英寸化合物半导体芯片生产项目环境影响报告

建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：晶旭半导体2英寸化合物半导体芯片生产项目建设单位（盖章）：福建晶旭半导体科技有限公司编制日期：2023年9月中华人民共和国生态环境部制1其他电子设备制造业不予批准后再次申报重大变动重新报批项目号否2类别设置原则项目情况符合情况大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500m范围内有环境空气保护目标2的建设项目[注：1、废气中有毒有害污染物纳入《有毒有害大气污染物名录》的污染物（不包括无排放标准的污染物）2、环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群比较集中的区域]本项目排放废气中含有氯气且项目北侧约70m为龙翔村居民住宅区，西侧约280m为上杭县符合地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目废水经厂区内污水处理站处理后排入上杭县佳波污水处理厂处理；不属于新增废水直排的污水集中处理厂不符合环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目[注：3、临界量及其计算方法可参考《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169）附录B、附录C]本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量为1.5264，超过临界量符合生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目本项目不属于取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目不符合海洋直接向海洋排放污染物的海洋工程建设项目本项目不属于直接向海洋排放污染物的海洋工程建设项目不符合审批文件名称及文号：《上杭县人民政府关于同意实施福建上杭县工业园区（南部产业园）总体规划修编（规划范围局部调整）3规划环评名称：《福建上杭工业园区（高新区）总体规划环境影响审批文件名称及文号：《福建省生态环境厅关于印发福建上杭工业园区（高新区）总体规划环境影响评价报告书审查小组意见的函》上杭工业区规划发展定位：重点发展金铜深加工、新材料、家电卫浴、金银贵金属产业、装备制造业等产业，打造上杭县金铜深加工基地。项目位于福建上杭工业园区，主要从事芯片制造，属于的要求：金铜制品精深加工的禁止准入类产业为金属冶炼、专业电镀企业，限制准入产业为配套电镀工序的项目。依据《福建省生态环境厅关于印发福建上杭工业园区（高新区）总体规划环境影响评价报告书审查小组意见的函》（闽环保评〔2019〕10号）的要求：严格入园项目生态环境准入。做好一类污染物、持久性有机污染物不涉及金属冶炼和电镀工序，不涉及持久性有机污染物排放，项目产生的废气污染物经处理后均能够达标排放。因此项目不属于规划环评内禁止准入类产业和限制准入产业，符合规划环评生态环境准入清单及审查小组意见的要求，且根据上杭县工业区管理委员会关于福建晶旭半导体科技有限公司晶旭半导体2英寸化合物半导体芯片生产项目选址的说明可知，本项目不在《福建上杭工业园区（高新区）总体规划环境影响报告书》禁止和限制准入产业内（详见附），①与《福建省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控4项目与《福建省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管表1-2与全省生态环境总体准入要适用范围准入要求本项目情况符合性全省空间布局约束1、石化、汽车、船舶、冶金、水泥、制浆造纸、印染等重点产业，要符合全省规划布局要求。2、严控钢铁、水泥、平板玻璃等产能过剩行业新增产能，新增产能应实施产能等量或减量置换。3、除列入国家规划的大型煤电和符合相关要求的等容量替代项目，以及以供热为主的热电联产项目外，原则上不再建设新的煤电项目。4、氟化工产业应集中布局在《关于促进我省氟化工产业绿色高效发展的若干意见》中确定的园区，在上述园区之外不再新建氟化工项目，园区之外现有氟化工项目不再扩大规模。5、禁止在水环境质量不能稳定达标的区域内，建设新增相应不达标污染物指标排放量的工业项目。本项目行业类别为C3972半导体分立器件制造（芯片制造）。1、本项目不属于石印染等重点产业；2、本项目不属于钢等行业；3、本项目不属于煤4、本项目不属于氟化工产业；5、项目所在区域水环境质量能稳定达标。符合污染物排放管控1、建设项目新增的主要污染物排放量应按要求实行等量或倍量替代。涉及总磷排放的建设项目应按照要求实行总磷排放量倍量或等量削减替代。涉及重金属重点行业建设项目新增的重点重金属污染物应按要求实行“减量置换”或等量替换”。涉新增VOCs排放项目，VOCs排放实行区域内等量替代。福州、厦门、漳州、泉州、莆田、宁德等6个重点控制区可实施倍量替代。2、新建水泥、有色金属项目应执行大气污染物特别排放限值，钢铁项目应执行超低排放指标要求，火电项目应达到超低排放限值。3、尾水排入近岸海域汇水区域、“六江两溪”流域以及湖泊、水库等封闭、半封闭水域的城镇污水处理设施执行不低于一级A排放标准。1、本项目不涉及总目产生的VOCs排放实行区域内等量替换。2、项目行业类别为C3972半导体分立器件制造。3、本项目生产废水经厂区内污水处理站处理后排入上杭县佳波污水处理厂处理。符合②与《龙岩市人民政府关于印发龙岩市“三线一单”生态环境分根据《龙岩市人民政府关于印发龙岩市“三线一单”生态环境分5区管控方案的通知》（龙政综[2021]72号）要求，项目为C3导体分立器件制造，不属于《龙岩市“三线一单”生态环境分区管控方案》中污染物排放管控企业，符合环境准入要求。项目不在禁止准入的行业、工艺、产品及开发活动清单中，且不属于禁止准入的表1-3与龙岩市生态环境总体准入要方案内容本项目情况符合性空间布局龙岩市闽江、九龙江、汀江流域两岸严格控制新、扩建增加氨氮、总磷等主要污染物排放的项目；汀江流域范围禁止新、扩建制浆造纸、印染、合成革及人造革项目。本项目所在地表水环境为汀江流域，所属行业为C3972半导体分立器件制造，不属于制浆造纸、印染、合成革及人造革项目；运营期项目无生产废水产生；生活污水经化粪池处理后排入上杭县佳波第二污水处理厂处理。符合3、龙岩市严控钢铁、水泥、平板玻璃等产能过剩行业新增产能；禁止在水环境质量不能稳定达标的区域内，建设新增相应不达标污染物指标排放量的工业项目。本项目区域水环境为达标区，行业类别为C3972半导体分立器件平板玻璃等行业。符合4、严格控制审批高耗能、高污染和资源型行业（钢铁、水泥、铁合稀土等）新增产能项目。本项目行业类别为C3972半导体分立器件制造，不属于钢铁、水泥、铁合金等项目。符合污染物排放管控汀江流域①汀江闽粤交界(永定县汀江桥)以上，新建水污染型项目应实行水污染物排放量倍量削减替代。本项目生产废水经厂区内污水处理站处理后同生活污水一起排入上杭县佳波污水处理厂处氨氮申请购买总量。符合②推进畜禽类污资源化利用，推动小流域污染整本项目行业类别为C3972半导体分立器件符合环境风险管控①强化石化、化工、冶炼、危化品储运等企业的环境风险防控；②建立和健全重点管控重金属及危险化学品泄漏等环境风险防范体系，健全应急响应机制。③全市新建电镀项目应集中布局在上杭金铜新材料循环产业园，并严格控制重金属的排放量。本项目所属行业为C3972半导体分立器件化工、冶炼等项目。符合6文号类别项目与“三线一单”相符性分析符合性五”环境影响评价改革实施方案》（环环评[2016]95生态保护红线根据《上杭县生态功能区划图》，项目选址属于上杭县中心城镇与工业环境生态和污染物消纳生态功能小区（140882305，见附图7），项目用地未涉及饮用水源、风景区、自然保护区等生态保护区，从选址上符合生态保护红线划定的相关要求。符合环境质量底线项目所在区域的环境质量底线为：大气环境质量目标为《环境空气质量标准》(GB3095-2012）及其修改单中二级标准；周边地表水环境目标为《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类；声环境质量目标为《声环境质量标准》(GB3096-2008）中3类功能区标准。根据项目所在地环境质量现状调查和污染排放影响预测可知，本项目运营后对区域内环境影响较小，环境质量可以保持现有水平，不会对区域环境质量底线造成冲击。符合资源利用上线项目用水、用电为区域集中供应，项目运行过程通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效地控制污染。项目的水、电、气等资源利用不会突破区域的资源利用上线。符合环境准入负面清单项目符合国家产业政策，符合《福建省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的通知（闽政〔2020〕12号）》全省生态环境总体准入要求及《龙岩市人民政府关于印发龙岩市“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》（龙政综〔2021〕72号）的要求；不属于《市场准入负面清单》(2022年版）中禁止准入类的项目。符合④项目与《龙岩市生态环境局关于印发龙岩市环境管控单元准根据《龙岩市生态环境局关于印发龙岩市环境管控单元准入要重点管控单元（ZH35082320001上杭工业园区，上杭县重点管控单7区、生态敏感区、生态脆弱区、生物多样性保护优先区、自然保护环境管控单元编码环境管控单元名称管控单元类别管控要求项目情况符合性分析上杭工业园区重点管控单元空间布局约束1.南岗组团不宜布置大气污染严重的企业。本项目不属于大气污染严重的企业符合2、金铜制品加工产业禁止引入金属冶及新材料延伸产业产业禁止引入化工硅生产。本项目为芯片生产项目，不属于金铜制品加工产业符合3.农副产品加工业禁止引入屠宰及水产品加工项目。本项目不属于农副产品加工项目符合4.严格控制新、扩建要污染物排放的重点行业工业项目。本项目为芯片生产项目，不属于氨氮、总磷等主要污染物排放的重点行业工业项目符合污染物排放管控1.新建涉VOCs项目实行区域内等量替代。本项目实行区域内等量替代符合2.新（扩）建的有色产品加工水污染项目所需总量指标实行主要污染物排放等量或减量置换。本项目不属于有色金属压延加工、农副产品加工水污染项目符合环境风险防控建立健全环境风险完善有效的环境风险防控设施和有效和事故废水污染地环境。本项目拟按规范建设健全环境风险防控体系，并制定环境风险应急预案，建立完善有效的环境风险防控设施和有效的拦截、降污、导流等措施符合8政综[2021]72号）、《龙岩市生态环境局关于印发龙岩市环境管控福建晶旭半导体科技有限公司晶旭半导体2英寸化合物半导体芯片生产项目位于福建省龙岩市上杭县南岗工业园区龙翔片区，已导体科技有限公司晶旭半导体2英寸化合物半导体芯片生产项目选不冲突。项目投入运行后对周围环境及敏感目标的影响在可接受范分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录(2010年本)》，本项目采用的主要设备不属于该目录中淘汰落后设备。根据《国民照《产业结构调整指导目录（2019年本）》，本项目属于产业政策），9建设内容2.1项目组成情况福建晶旭半导体科技有限公司于2021年2月租用福建省龙岩市上杭县南岗工业园区黄竹村沿河路18号上杭县兴杭工业建设发展有限公司标准厂房，建设光电集成模组生产项目，建设单位已于2021年2月委托龙岩市嘉诚环保科技有针对国家战略产业集成电路与信息显示市场契机（5G），靠国家2035新材料产业发展战略需求，积极研发制造具有自主产权的第四代超宽禁带半导体产品，突破技术垄断。福建晶拟新增投资100160.00万元建设晶旭半导体2英寸化合物半导体芯片生产项目。栋6层食堂综合宿舍楼，2栋甲类仓库，配套建设氨气储库、氮气储库、污水处理站、事故应急池、锅炉房、危险储存间等滤波器芯片（项目分二期建设，其中，一期建设10条传感滤波器芯片，年产4亿颗传感滤波器芯片，二期建设20条传感滤波器芯片，年产8亿颗传感滤波器），术人员进行了现场踏勘，并根据建设单位提供的基本资料以及相关法表2-1建设项目环境影响评价分类管理目录（摘录）类别报告书报告表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39电子器件制造397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/舍综合楼，配套建设氨气储库、氮气储库、污水处理站、事故应急危险储存间、道路、广场、绿化、配电房、仓库、门卫室、篮球项目分二期建设，其中，一期建设2栋3层厂房、1栋2层厂房、1栋研发办公工程类别工程名称建设内容主体工程1#厂房（一期工程）一层为外延车间，设置外延片生产线，区内设置有MOCVD外延炉、烤盘炉、尾气处理器、酸碱清洗台等生产设施二层为芯片车间，设置芯片生产线，区内设置有光刻机、清洗机、蒸镀机、刻蚀机、CMP、测试机、划片机等生产设施三层为封测车间，主要设备有固晶机、焊线机等。2#厂房一层是产成品仓库，2层和3层均是封测车间3#厂房（二期工程）一层是产成品仓库，2层~4层均是封测车间4#厂房（二期工程）一层为外延车间，设置外延片生产线，区内设置有MOCVD外延炉、烤盘炉、尾气处理器、酸碱清洗台等生产设施二层为芯片车间，设置芯片生产线，区内设置有光刻机、清洗机、蒸镀机、刻蚀机、CMP、测试机、划片机等生产设施三层为封测车间，主要设备有固晶机、焊线机等。四层为封测车间，主要设备有固晶机、焊线机等。辅助工程CUB是动力中心区内设置高压配电房、污水处理站（处理能力为1600t/a）、空调系统（冰机、天然气锅炉），纯水系统设备，PCW系统、事故应急池（容积约680m3）等公用工程给水系统市政供水管网排水系统采用“雨污分流、清污分流”，雨污水均引至项目区北侧龙翔大道市政雨污水管网排放。供电系统由上杭县南岗工业园区供电管网供应环保工程废水处理系统生产废水经厂区内污水处理站（一期和二期共用一套污水处理设施，其中，研磨废水经研磨废水处理设施处理后、含氟废水经含氟废水处理设施处理后、有机废水经有机废水处理设施处理后同酸碱废气一起经中和沉淀处理）处理后同生活污水一起经市政污水管网进入上杭县佳波污水处理厂处理废气处理系统1#厂房外延片MOCWD废气经燃烧+洗涤塔处理后由30m高排气筒（DA001）排放；酸碱废气和沉积废气经集气罩+洗涤塔处理后由30m高排气筒（DA002）排放；有机废气经集气罩+洗涤塔+干燥棉+活性炭吸附装置收集后由30m高排气筒（DA003）排放；4#厂房外延片MOCWD废气经燃烧+洗涤塔处理后由30m高排气筒（DA004）排放；酸碱废气和沉积废气经集气罩+洗涤塔处理后由30m高排气筒（DA005）排放；有机废气经集气罩+洗涤塔+干燥棉+活性炭吸附装置收集后由30m高排气筒（DA006）排放；锅炉燃烧废气经收集后由15m高排气筒（DA007）排放；污水处理站废气经收集后经活性炭吸附装置处理后由15m高排气筒（DA008）排放固废收集系统建有1间一般固废储存间和1间危废废物储存间，均位于项目区中部CUB厂房西北侧，占地面积分别为20m2和60m2。项目一般固体废物均外售给物资回收部门，危废废物经收集后分类暂存于危险废物暂存间，委托有资质单位处置；生活垃圾由环卫部门清运处置隔声降噪系统采用隔声、减振等降噪措施2.1.3建设规模、原辅材料及主要设备清单序号工程名称产品名称年产量年工作时间1外延片生产线外延片56万片（其中，一期7920h2传感器滤波芯片生产线传感器滤波芯片亿颗，而且8亿颗）7920h注：外延片1台外延炉一批次5h，14片，一期一年1429批次，二期一年1286批次。传感器滤波芯片每天工作24h，一年工作330d（其中，硫酸清洗时间3h/d，330d/a；盐酸、硝酸、BOE清洗时间5h/d，330d/a；干法蚀刻时间为3h/d，330d/a；沉积时清洁时间为1h/d，330d/a；有机清洗、去胶、光刻、去蜡时间为8h/d，330d/a）。类别名称重要组分、规年用量最大暂存量储存场所一期用量二期用量总用量衬底/硅片Si/碳化硅片SiC4"&6"20万片36万片56万片2.5万片原辅材料仓库MO源三甲基镓/400kg800kg1200kg50kg甲类仓库三甲基铝/25kg40kg3kg三甲基铟/30kg50kg80kg6kg三乙基镓/20kg二茂鎂/2kg2kg4kg0.5kg靶材金4N40kg60kg100kg原辅材料仓库独立隔间及保铂4N0.8kg2.0kg0.2kg钛4N0.8kg2.0kg0.2kg铬4N0.8kg2.0kg0.2kg原辅材料仓库铝4N0.8kg2.0kg0.2kg镍4N0.8kg2.0kg0.2kg钨4N0.8kg2.0kg0.2kg铜4N0.8kg2.0kg0.2kg鉬4N0.8kg2.0kg0.3kgTiW靶材4N2.5kg4.0kg0.3kg金锡合金4N4kg6kg大宗气体氢气鱼雷车装载30000m³30000m³60000m³26m30.62t氢气站液氨（99.999%）液氨槽车400t600t9.8t液氨储罐氮气50m3氮气罐200000m³400000m³400000m³50m³氮气罐特气高纯氦气PHe6N47L钢瓶2瓶2.48kg2瓶2.48kg4瓶4.96kg1.24kg特气房（位于1#高纯氧气PO26N47L钢瓶2瓶20.12kg2瓶20.12kg4瓶40.24kg10.06kgWF66N47L钢瓶2瓶200kg2瓶200kg4瓶400kg100kg1.2%Kr/Ne47L钢瓶2瓶8.72kg2瓶8.72kg4瓶17.44kg4.36kg0.95%F2/1.25%Kr/Ne47L钢瓶2瓶8.86kg2瓶8.86kg4瓶17.72kg4.43kg特气房（位于1#一氧化二氮/笑气（N2O）47L钢瓶4瓶290kg29kg47L钢瓶4瓶200kg300kg500kg50kg三氟甲烷（CHF3）47L钢瓶4瓶120kg300kg30kg四氟化碳（CF4）47L钢瓶4瓶120kg300kg30kgCl247L钢瓶4瓶200kg300kg500kg50kg5%Cl2/N247L钢瓶4瓶25.32kg37.98kg63.3kg6.33kg5%SiH4/N247L钢瓶4瓶23.68kg35.52kg59.2kg5.92kg烷）47L钢瓶5.87kg5.87kg2瓶5.87kg200ppmSiH4（硅烷）47L钢瓶4瓶23.48kg35.22kg58.70kg5.87kgSiH2Cl2(二氯氢硅)47L钢瓶2瓶74kg185kg37kgBCl347L钢瓶2瓶100kg4瓶200kg300kg50kgSiCl447L钢瓶2瓶94kg2瓶94kg4瓶188kg47kgCF4(80%)--O2(20%)47L钢瓶2瓶32.22kg2瓶32.22kg4瓶64.44kg封装PCB板陶瓷板20万片30万片50万片3万片原辅材料仓库银胶500g/罐20kg3kg元器件贴片电200万300万500万20万片无铅锡膏500g/罐20kg20kg40kg3kg光刻胶正性光刻胶（酚醛树脂类）瓶装600L1000L2.05t1600L3.28t0.328t原材料仓库，冰柜负性（聚乙烯醇肉醇肉桂酸瓶装300L0.624t600L1.248t900L1.872t40L0.083t去蜡液乙二胺油酸酯（EDO-86）&胺基糖酯瓶装3000L3.24t3000L3.24t6000L6.48t250L0.27t甲类仓库化学品正胶显影液（2.3%TMAH)瓶装10000L8.66t16000L13.856t26000L22.516t1000L0.866t负胶显影液（2.3%TMAH)瓶装3000L2.598t5000L4.33t8000L6.928400L0.346t甲类仓库去胶液（NMP70%+30%有机碱）瓶装10000L10.80t20000L21.60t30000L32.40t1500LH2O2（30%）瓶装6000L16000L20000L300LIPA（异丙醇）瓶装，EL级10000L7.85t20000L30000L23.55t0.235tACE（丙酮）瓶装，EL级6000L4.74t10000L7.9t16000L12.64t200L酒精（99.5%无水乙醇）瓶装600L0.6295t1000L1.0492t1600L1.6787t200L0.210t冰乙酸（99%）瓶装600L1000L1600L200L硫酸（98%）瓶装600L1000L1600L2.944t0.367t盐酸（37%）瓶装600L0.7074t1000L1600L1.8864t200L0.236t硝酸（98%）瓶装600L0.959t1000L1.615t1600L2.584t200L0.323tBOE瓶装600L0.672t1000L1600L200L0.224tAB胶瓶装200L0.42t400L0.84t600L30L0.063t增粘剂瓶装200L300L研磨研磨液瓶装600L1000L1600L抛光液瓶装600L1000L1600L废水处理絮凝剂袋装25.4t44t原辅材料仓库片碱袋装3.0t0.5t氯化钙袋装5.6t7.8t废气处理活性炭袋装24.0344.6668.69t3.00干燥棉袋装24片软水制备过滤膜袋装2.4t3.9t0.5t燃料天然气管道输送56万m356万m33m0.0037不在厂区报警装置+水喷淋装置；④氨、氢气和氮气储罐采用管道表2-5主要涉及的原辅材料理化、毒理序号名称化学品标识理化性质危险特性毒理指标1三甲基镓CAS号：1445-79-0EINECS215-897-6常温常压下为无色透明有毒液体。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。熔点：-15.8℃;沸点：55.8℃;液体密度：1151kg/m³）；蒸汽压5.1KPa（-10℃)三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。无数据资料2三甲基铝CAS号：75-24-1EINECS200-853-0无色液体。密度：0.688压）；遇水反应强烈一级自燃物品，接触空气、氧气、水发生强烈化学反应，能引起燃烧，分解时放出有毒气体/3三甲基铟CAS号：3385-78-2EINECS222-200-9沸点：135.8℃（101.3kPa闪点：18.0℃;在高温下不稳定。如暴露在空气中极易自燃。遇水剧烈反应释放易燃气体，可引起燃烧爆炸。生产与使用时应在惰性气体中操作，避免与水接触并对人体做好防护措施/4三乙基镓CAS号：1115-99-7EINECS214-232-7一种无色液体。比重1.0586(30℃)，熔点-82.3℃,沸点142.6℃。密度：1.058g/cm3；三乙基镓在蒸气中呈单体，在空气中燃烧，发出猛烈的火焰。三乙基镓溶于乙醚、苯等有机溶剂，遇冷水迅速分解产生二乙基氢氧化镓和乙烷。危险品标志：F，C/5二茂镁CAS号：1284-72-6又称“双（环戊二烯）镁”。白色固体，对空气和潮湿敏感。熔点：危险品标志：F/6氢气CAS号：1333-74-0EINECS215-605-7氢气是无色并且密度比空气小的气体（在各种气体中，氢气的密度最小。熔点：-259.2℃;沸点：-252.77℃（20.38K）；标准状况下，1升氢气的质量是0.089克。当空气中的体积分数为4%-75%时，遇到火源，可引起爆炸。易燃级别：4易爆级别：1毒性级别：0/7氨气CAS号：7664-41-7EINECS215-605-7无色气体。有强烈的刺激气味。密度：0.7710。相对密度0.5971(空气的液体。在常温下加压即可使其液化(临界温也易被固化成雪状固体。熔点-77.75℃。溶于水、乙醇和乙醚。在高温时会分解成氮气和氢气，有还原作用。与空气混合能形成爆高热能引起燃烧爆炸。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。TLVTN:34mg/m³;ACGIH25ppm，17mg/m³8氮气CAS号：7717-37-9无色无臭气体，熔点：-209.8℃;沸点：-195.6℃;相对密度（水=10.81微溶于水、乙醇若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险ACGIH窒息性气体9氩气CAS号：7440-37-1无色无臭的惰性气体，熔点：-189.2℃;沸点：-185.7℃;相对密度（水=11.40饱和蒸气压：202.64kPa若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险/氦气CAS号：7440-59-7无色无臭的惰性气体，熔点：-272.1℃;沸点：-268.9℃饱和蒸气压：202.64kPa（-268℃);不溶于水、乙醇曝露于高热或火焰时，钢瓶内压力会上升，大部分的钢瓶皆被设计可由瓶阀的破裂片释放高压气体，如果破裂片失效，会导致爆炸。/氪气CAS号：7439-90-9无臭无色，压缩液化气体。熔点：-157℃;沸点：-153℃;蒸汽密度（空气=12.92；危害效应：窒息/氧气CAS号：7782-44-7无色无臭气体。熔点：-218.8℃;沸点：-183.1℃;饱和蒸气压：2506.6kPa溶于水、乙醇易燃物，能氧化大多数活性物质与易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。/N2OGB2.2类无色、无臭带有微甜气与乙醚、乙烯等易燃阈限值TLV未气，氧化亚氮）22017（压缩的22018（液化的）。UNNo.1070（压缩的）CODE01，2101-2页2类。味的非易燃气体，液化气也无色。室温时稳定。相对密度：1.98(气体)，1.226(液体)。溶于水、乙醇、乙醚、浓硫酸。气体和有机性气体能起助燃作用，从而加剧火焰的燃烧，刺激性小于氨氧化物，吸入90%以上的气体时可引起深度麻醉，长期吸入高浓度时有窒息危险。从麻醉后苏醒过来后心情愉快，被认为无细胞毒性。设定硅烷H4）21050。UNNo.2203。IMDGDE2111-2页2类。副危险3类。易燃气体，毒害品。无色带有令人讨厌的臭味。相对密度0.68(-185℃)，熔点界温度-4℃,蒸汽密度1.1．遇水缓慢水解。不溶于乙醇、乙醚和苯。在常温下稳定，高温时能自燃。为强还原剂。在400℃左右完全分解成硅和氢，与卤素和氧化剂接触剧烈反应。能与空气形成爆炸性混合物，爆炸极限燃，遇热源和火源有燃烧爆炸的危险，并释放出剧毒气体。有眼睛、粘膜和呼吸器官。/六氟化硫（SF GB2.2类22021。原铁规：不燃气体，No.1080IMDGCODE2114页2类无色、无臭、非易燃液化气体。特点是相对密度极大，约为空气的5倍左右。相对密度熔点-50.8℃,-63.8℃升华，>800℃时分解，临力3.81×105Pa，蒸汽密度6.6。难溶于水，微溶于醇。对热及化学品都非常稳定。药理上被认为是惰性气体。但一氟化硫、四氟化硫和五氟化硫等气体都是非常毒的刺激性气体，有类似光气对呼吸系统的危害作用，如商品中混有上述物质则会引起中毒。TWA：1000ppm(5970mg/m3)二氯硅烷H2Cl2)CAS:4109-96-0第2.3类有毒气体无色气体。熔点(℃)：-122；沸点(℃)：8.3；自燃温度(℃)：58；相对密度（水）1.26；蒸汽压：167.16KPa(20℃)，溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。易燃，其蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物。遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。与卤素及其它氧化剂剧烈反应。遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。/氯气（Cl2GB2.3类23002（液黄绿色有刺激性臭味的气体。在空气中不燃。一般可燃物大都能在氯气3.5ppm时可感到臭味；15ppm)化的）。原铁规：剧毒气体，31001。UNNo.1017。IMDGCODE2028页2类。副危险6.1类在常温下7.09×105Pa以上压力时为液体，液态氯呈现金黄色。相对密度3.214，熔点7.71×105Pa，蒸气压6.40×105Pa(20℃)，蒸汽密度2.49。氯可从溴或碘的盐中将它们置换出来。能与有机物和无机物进行取代和加成反应。干的氯稍不活泼，湿氯能直接与大多数元素结合。中燃烧。它能与许多化学品猛烈反应发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎能对金属和非金属都起腐蚀作对眼睛和呼吸系统的粘膜有极强的刺激性。对皮肤也有强刺激性，形成可见刺激症状和水疮。时对眼睛和呼吸道有刺激作用，并感到疼感及胸部紧迫感；50ppm时瞬间可引起严重损粘痰及咯血；100ppm时瞬间可引起呼吸困难，脉搏减少，发绀；1000ppm时立即死亡。美国ACGIH生产环境化学物质阈限值(TLV):TWA0.5ppm(1.5mg/m3)STEL:1ppm(3.0mg/m3)三氯化硼（BC GB2.2类22023。原铁规：一级无机酸性腐蚀物UNNo.1741。IMDGCODE2020页2类。副危险8类无色带有强烈窒息性臭味的液体或气体，在潮湿空气中可形成白色腐蚀性浓厚烟雾。相对密度1.35(12℃)，熔点-107℃,沸点-12.5℃,蒸汽压：蒸气密度4.03。非易燃气体。有极强反应性。遇水发生爆炸性分解，散发出有刺激性的和腐蚀性的有机物等可发生激烈反应。遇潮气对大多数金属有强腐蚀性，兼有氯化氢和硼两者的毒性。长期接触会侵犯胃神经。刺激性极强，接触气体能刺激眼睛、皮肤和呼吸系统，液体能灼伤眼睛和皮肤。/SiCl4CAS:10026-04-7EINECS:233-054-0无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解。熔点(℃)：-70；沸点(℃)：57.6；相对蒸饱和蒸气压(kPa)：55.99(37.8℃)；溶解性：可混溶于苯、氯仿、石油醚等多数有机溶剂。该品不燃，具强腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角眼直接接触可致角膜及眼睑灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死。LC50:54640mg/kg（大鼠经口）20三氟甲烷CHF3（氟仿，氟利昂23）GB2.2类22032。UNNo.1984。IMDGCODE2120页2类无色非易燃的气体。密度：1.246，熔点-160℃,沸点-84℃,蒸汽密度2.4。不燃，受热分解释放高浓度时产生麻醉作用阈限值TLV未设定21化碳（CF氟甲烷，氟利GB2.2类22033。UNNo.1982。IMDGCODE2116页2类无色非易燃的气体。蒸汽密度3.1。受热钢瓶内压增加有爆炸的危险。低毒。对呼吸道有刺激，高浓度时具有麻醉作阈限值TLV未设定22正性光刻胶RD-2900丙二醇甲醚醋酸酯（60%-90%）、酚醛树脂（10%~35%）、重氮萘醌磺酸酯化物红棕色或者酒红色澄清粘稠液体；闪点：42.2℃（闭杯）相对密度（水=1）：相对蒸汽密度（空气=1）：＞1；饱和蒸气压：0.505kPa（25℃)溶解性1.5g/100g水爆炸上/下限%：7.0-1.5（V/V）易燃液体（1）经口：未分类（ATEmix>5000mg/kg）（2）经皮肤24h：未分类（ATEmix＞5000mg/kg）23负性光刻胶D-NL-70丙二醇甲醚醋酸酯（50%-90%）、酚醛树脂（10%~50%）黄色或者亮黄色澄清粘稠液体；闪点：42.2℃（闭杯）相对密度（水=1）：相对蒸汽密度（空气=1）：＞1；饱和蒸气压：0.505kPa（25℃)溶解性1.5g/100g水爆炸上/下限%：7.0-1.5（V/V）易燃液体（1）经口：未分类（ATEmix>5000mg/kg）（2）经皮肤24h：未分类（ATEmix＞5000mg/kg）24UV胶CAS:9050-06-0EINECS:685-083-7一种必须经过紫外线光照射才能固化的一类胶粘剂。由高分子材料和感光材料组成，主要成份为桂皮酸乙烯树脂类。不含任何有机溶剂。沸点365℃//（760mmHg），闪光点189.5℃。正胶经曝光显影后可溶于显影液，负胶则不行。同样一块模具，正胶和负胶曝光显影后图形是相反的。25去蜡液混合物乙二胺油酸酯EDO-86:15.7%；C13异丙醇酰胺DF-21:12.1%；精油乳化剂AG1202:2%；水：余量无色有轻微气味的透明液体；不溶于水沸程：185-220℃闪点：50-65℃蒸气压：2psi（21.1℃)易燃液体，皮肤刺激性；燃烧产生有毒气体对眼睛有刺激性26显影液有毒，四甲基氢氧化铵用去离子水稀释的强碱溶液四甲基氢氧化铵、表面活性剂、水的混合物，比例为2:1:97，透明有氨味液体，沸点大于挥发速率比乙醚慢不燃刺激性。对皮有刺激作用27NMP（N-吡咯烷/无色透明液体，沸点与水混溶，溶于乙醚，丙酮及各种有机溶剂，稍有氨味，化学性能稳对铜稍有腐蚀性。具有粘度低，化学稳定性和热稳定性好，极性高，挥发性低，能与水及许多有机溶剂无限混溶等优点。//27双氧水51001。一级无机酸性腐蚀物UNNo.201腐蚀品无色透明液体，深层时略带淡蓝色。相对密度：1.4426(25℃)，冰点：折光率：1.4067(25℃)，饱和蒸气压206.6Pa，临力21683.6Pa。爆炸极限26~100%。与水互溶。溶于醇类、乙二醇、吡啶、醋酸酯、酸类和酮。爆炸性强氧化剂。本身不燃，但能与可燃物反应并产生足够的热量引起着火，最终可导致爆炸。其爆炸危险主要是因与有机物反应或杂质催化分解而产生。毒性主要是由过氧化氛的活性氧化作用所引起。可通过呼吸道吸入、皮肤接触吸收美国ACGIH生产环境化学物质阀限值(TLV):TWA:(1.4mg/m3)双氧水是微酸性液体，具有漂白作用。本身不燃，但分解放出的氧能强烈助燃。遇强氧化齐时也可被还原。对热、杂质、冲击、酸度，强光等均敏感，极易发生分解。和吞入等途径引起中挥发性低，且具有强烈烧灼感，蒸汽吸入和吞入中毒的可能性小。28IPA丙CAS号：67-63-0EINECS200-661-7异丙醇是正丙醇的同分异构体，物色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味，可溶于水，也可溶于醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂，密度0.785g/cm3。熔点：易燃，具刺激性接触高浓度蒸致恶心、呕吐、触可致皮肤干燥、皲裂。29丙酮（A有毒是一种无色透明液体，熔点:-94.6℃、沸点：56.5℃、易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等有机溶剂。易燃、易挥发，化学性质较活泼。有特殊的辛辣气味。30酒精CAS号：无色液体，有酒香。78.3℃,相对密度（水=1）：0.79；饱和蒸气点：12℃。氯仿、甘油等多种有机物易燃，其基气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火，高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应或引起燃烧。在火场中，受热的容器有爆炸危险。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃TLVTN:OSHA1000ppm，1880mg/m³;ACGIH1000ppm，1880mg/m³31冰乙酸CAS号：无色透明液体，有刺激性酸臭。熔点：16.6℃;引燃温度：463℃;溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳易燃，具腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。属低毒类32硫酸CAS号：7664-93-9无水硫酸为无色油状液体，通常使用的是它的各种不同浓度的水溶密度：1.8305g/cm³,熔遇水大量放热，可发生沸溅。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，其至引属中等毒性。急性毒性:LD502140mg/kg(大鼠经口);点：10.371℃;沸点-5mmHg。与水任意起燃烧。遇电石、高氯酸盐，雷酸盐，硝酸盐，苦味酸盐，金属粉末等猛烈反应，发生爆炸或燃烧。有强烈的腐蚀性和吸水性。LC50510mg/m³,2小时(大鼠吸入)；320mg/m³,2小时(小鼠吸入)33磷酸CAS号：7664-38-2纯磷酸为无色结晶，无臭，具有酸味。熔点：42.4℃（纯品沸点：260℃;与水混溶，可混溶于乙醇等多种有机溶剂遇金属反应放出氢气，能和空气形成爆炸性混合物，受热分级产生剧毒氧化磷烟气。含油腐蚀性急性毒性LD50：1530mg/kg（大）；2740mg/kg（兔经皮）34盐酸CAS号：7647-01-0无色或淡黄色发烟液体，有刺鼻的酸味。度（水=1）：1.20；饱和蒸气压：30.66kPa溶于碱液。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇氰化物能产生剧毒的氰化氨气体。与碱发生中合反应，并放出大量的热。具有较强的腐蚀性。TLVTN:7.5mg/m³35硝酸CAS号：7697-37-2纯品为无色透明发烟液（无水），沸点：86℃（无水）；相对蒸汽密度（空气=1）：2.17；饱和蒸气压：4.4kPa（20℃)。与水混溶。强氧化剂。能与多种物质如金属粉末、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，甚至发生爆炸。与还原剂，木屑、棉花、稻草或废纱头等接触，引起燃烧并散发出剧毒的棕色烟雾。具有强腐饨性。TLVTN:OSHA2ppm，5mg/m³;ACGIH2ppm，5.2mg/m³36氢氟酸CAS号：7664-39-3无色透明有刺激性臭味的液体，商品一般为40%水溶液。熔点：-83.1℃（纯）；沸点：120℃（35.3%相对密度（水=11.26（75%）；与水混溶。本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇H发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。TLVTN:2.6mg/m37氧化铟锡(ITO)CAS号：50926-11-9氧化铟锡是一种混合物，透明茶色薄膜或黄偏灰色块状，由90%In2O3和10%SnO2混合而成。熔点287℃;密度：7.156g/cm3；/IARC致癌物分类：2B(Vol.201838AB胶又叫两液混合硬化胶A组分为本胶：环氧树B组分为硬化剂，或含有催化剂和其他助剂。//39增粘剂酚醛树脂CAS号：9003-35-4本项目所用增粘剂主要为酚醛树脂。热塑性树脂状物，相对分子质量半液态//40无铅锡膏80-90%锡、2-4%银、4-6%松香、低于2%四乙二醇二甲醚、低于1%铜琥珀色胶黏体，轻微醚>275℃,熔点217-220℃,不溶于水不燃大鼠经口LD50:5140mg/kg序号设备名称设备型号单位数量备注一期二期合计外延片生产车间1MOCVD外延炉晶旭自研台2030--2烤盘炉HBM-1000G台4483燃烧式尾气处理器NSGB1.5K套54吸附式尾气处理器NSOD200S套465酸碱清洗台手动套1126XRD布鲁克台1127PL测试仪Plato台1128霍尔测试仪台1129AFM原子力显微镜BrukerIcon3100台112CV电学测试Cvmap92ASystem台112芯片车间1步进式光刻机（Stepper）Nikoni7/i8/i10/i11台358/2接触式光刻机（Aligner）SUSSMA6台246/345678920212223272829303132自动匀胶机国产-3C台69//////2台研磨////////////////////自动显影机国产-4D台822HMDS（高温真空烘套112SEM（电子显微镜）进口套112金相显微镜台66椭偏仪台112自动有机清洗台套448自动酸碱清洗台套224炉管清洗台套112手动清洗台套112甩干机台66撕金机台112反应离子刻蚀机（RIE）套246耦合等离子体刻蚀机（ICP）套246磁控溅射（Sputter）套246离子束刻蚀机（IBE）套246电子束金属蒸镀机（E-gun）套224等离子设备（Plasma）套246等离子化学气相沉积仪（PECVD）套246低压化学气相沉积仪(LPCVD）套112钨化学气相沉积（WCVD）套134原子层沉积（ALD）套224深硅刻蚀机套246键合机（bonding）套48尾气处理器台46退火炉（RTA）台224四探针仪进口台11233台阶仪Dektak150台111/34COW测试机台111/35上蜡机台37/36研磨机台37/37CMP台358/38自动贴片机台112/39自动划片机台5/40自动裂片机台55/41翻转倒膜机台112/42扩张机台112/43COT测试机台20/44全自动目检机（AOI）台325/45体式显微镜台20/封测车间1固晶机台203050/2烤箱台553等离子清洗机套1234焊线机台50505磨压机台486切割机台8207打码机台3368测试机台20309回流焊台235AOI检测台235气站1氢气鱼雷车(租用)26m³辆2氢气站2液氨槽车（租用）9.8t/2.0MPa辆2氨气供应站3氮气罐50m³套1氮气站公辅设备1RO反渗透系统180m3/h套1/2纯水制备系统40m3/h套13空压系统每台700m3/h台24天然气锅炉2100kW，3t/h台25冷却塔3600m3/h座26冰机4000冷吨台3/7真空系统1000HP套1/8废排气系统50000m3/h套1/9污水处理系统300T/D套1/部UCB厂房内，氢气储罐、液氨储罐、2.2工艺流程和产污环节污染因素名称排放特性/性质污染因子废气G1含氨废气、NOx氨、NOxG2有机废气丙酮、氯化氢、硫酸雾G3刻蚀废气Cl2G4沉积废气NOxG5光刻有机废气VOCs（以非甲烷总烃表征）G6刻蚀废气氟化物G7光刻有机废气VOCs（以非甲烷总烃来表征）G8刻蚀废气Ar、HeG9沉积废气NOxG10光刻有机废气VOCsG11光刻有机废气VOCsG12酸碱、有机废气HF、异丙醇G13沉积废气NOxG14光刻有机废气VOCsG15刻蚀废气氟化物G16酸废气硫酸雾、BOEG17光刻有机废气VOCs（以非甲烷总烃表征）G18刻蚀废气氟化物G19有机酸、废气硫酸雾、BOE、异丙醇G20光刻有机废气VOCsG21酸废气HFG22有机废气丙酮、异丙醇G23光刻有机废气VOCs（以非甲烷总烃表征）G24酸废气BOEG25废胶气VOCs（以非甲烷总烃表征）废水W1冲洗废水氢氧化钠/磷酸W2冲洗废水硝酸/盐酸/硫酸/双氧水/丙酮W3冲洗废水抛光液W4冲洗废水显影液W5冲洗废水显影液W6冲洗废水显影液W7冲洗废水氢氟酸或氟化铵W8冲洗废水显影液W9冲洗废水氢氟酸、异丙醇、NMPW10冲洗废水显影液W11冲洗废水硫酸、氢氟酸W12冲洗废水显影液W13冲洗废水异丙醇、硫酸、氢氟酸、NMPW14冲洗废水显影液W15冲洗废水氢氟酸、金蚀刻液、铜蚀刻液W16冲洗废水研磨液、颗粒物W17冲洗废水显影液W18冲洗废水氢氟酸、金蚀刻液、铜蚀刻液W19冲洗废水颗粒物生活污水等废液L1废液氢氧化钠/磷酸L2废有机、废酸溶液硝酸/盐酸/硫酸/双氧水/丙酮L3抛光废液抛光液L4显影废液显影液L5显影废液显影液L6显影废液显影液L7酸废液缓冲氧化物刻蚀液（氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成）L8显影废液显影液L9有机、酸废液氢氟酸、异丙醇、NMPL10显影废液显影液L11酸废液硫酸、氢氟酸L12显影废液显影液L13有机、酸废液异丙醇、硫酸、氢氟酸、NMPL14显影废液显影液L15酸废液氢氟酸、金蚀刻液、铜蚀刻液L16显影废液显影液L17酸废液氢氟酸、金蚀刻液、铜蚀刻液S1不合格基/S2不合格外延片/S3贵金属废料/S4贵金属废料/S5贵金属废料/S6贵金属废料/S7贵金属废料/S8砂轮废料/S9贵金属废料/S10废砂轮/S11不合格芯片/S12废AB胶/S13废金属线材/S14废硅胶/S15金属废料/S16电子废料/步进式光刻机、接触式光刻机、自动匀胶机、自动显影机、甩干机、撕金机、反应离子刻蚀机、耦合等离子体刻蚀机、沉积仪、键合机、研磨机等设备产生的机械噪声连续Leq（A）与项目有关的原有环境污染问题），电半导体倒装芯片及其集成发光芯片模组规模）；导体倒装芯片及其集成发光芯片模组规模化建2.4.1现有工程工艺流程4kg/a,产生的焊接烟尘可忽略不计，因此焊接/焊线工序排测：基板通电，检测灯具是否能正常工作；将2.3.2现有工程污染物排放及治理情况水污染源及治理措施污水产生量4t/d，生活污水经化粪池处大气污染源及治理措施检测点位采样日期2021年12月8日2021年12月9日评价项目/频次2nd3rd2nd3rd标准限值达标情况二楼有机废气排气筒进口#标干流量m3/h2.45×1032.50×1032.41×1032.54×1032.46×1032.59×103//非甲烷总烃实测浓度mg/m3//产生速率kg/h0.0350.0350.0340.0360.0280.040//二楼有机废气排气筒出口#标干流量m3/h2.58×1032.64×1032.55×1032.65×1032.62×1032.71×103//非甲烷总烃实测浓度mg/m34.594.294.614.082.99达标排放速率kg/h0.0120.0110.0120.0113达标三楼有机废气排气筒进口#标干流量m3/h942894917998974//非甲烷总烃实测浓度mg/m36.495.656.66//产生速率kg/h35.48×10-36.52×10-335.50×10-36.93×10-3//三楼有机废气标干流量m3/h957988//非实测浓度mg/m3达标排气筒出口#甲烷总烃排放速率kg/h33331.92×10-33达标检测点位采样日期2021年12月8日2021年12月9日评价项目/频次2nd3rd2nd3rd标准限值达标情况上风向○5#非甲烷总烃mg/m30.240.280.230.260.240.272达标下风向○6#0.300.340.370.350.410.33下风向○7#0.420.370.400.340.370.39下风向○8#0.360.380.350.330.360.35厂区内○9#达标排放，废气中非甲烷总排放符合《工业企业挥发性有机物排放标准》非甲烷总烃排放浓度可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB35/1782-2018）表2标准和《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB序号固体废物名称产生工序及装置属性形态主要成分有害成分产废周期危险特性产生量t/a处置方式1生活垃圾员工生产生活生活固废固态纸、塑料等/每天/环卫部门清运2残次品测试一般工业固废固态光电集成模组/每年/0.1外售厂家3废包装桶原料包装危险废物/HW49其他废物/900-041-49固态包装桶有机溶剂每年T/In0.5收储规范，交由福建龙麟环境工程有限公司处置4清洗废液清洗危险废物/HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物/900-404-06液态有机溶剂有机溶剂每季R0.8收储规范，交由福建龙麟环境工程有限公司处置5废活性炭废气处理危险废物/HW49其他废物/900-039-49固态活性炭有机物每半年T收储规范，交由福建龙麟环境工程有限公司处置无组织排放的非甲烷总烃浓度可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A表A.1标准；项目厂界噪声均三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准本项目位于福建省龙岩市上杭县南岗工业园区龙翔片区，所在地表水环境为汀江流域南岗水厂取水口下游200米至李家坪渡口，执行《地表水环境Ⅰ-Ⅲ类水质比例为100%；汀江流域国省控断面Ⅰ-Ⅲ汀江（韩江）流域国省控断面Ⅰ-Ⅲ类水质比例为100%；闽江流域国省控断首要污染物为臭氧，SO2、NO2、PM10、PM2/zwgk/sjfb/hjsj/zlph/202307/t202城市综合指数达标比例天数（%）SO2NO2PM10PM2.5CO-95perO3-8h-90per首要污染物龙岩2.6099.4933200.8臭氧设区市县级城市达标比例天数（%）综合指数首要污染物龙岩上杭县臭氧本项目位于龙岩市上杭县南岗工业园区龙翔片区，区域大气环境质量可），根据现场踏勘，项目西南侧约280m为上杭县医院，北侧约70m为龙翔村居民住宅区，厂界外500米范围内没有文物古迹、风景名胜区及没有地下水集中式饮用水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源 环境要素环境保护目标名方位距离规模环境功能环境要素环境保护目标名方位距离规模环境功能 称上杭县医院西南侧280米800人《环境空气质量标准》 龙翔村北侧70米150人改单中的二级标准水环境汀江北侧1000m/（GB3838-02）Ⅲ类水准3.3污染物排放控制标准3.3.1废水排放标准(GB39731-2020)表1间接排放标准；员工生活污水经化粪池处理后达到《污类别执行标准及级别指标标准限值单位生产废水《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1间接排放标准pH6~9（无量纲）无量纲CODCr500mg/L400mg/LNH3-N45mg/L总氮（以N计）70mg/L氟化物20mg/LTOC200mg/L生活污水《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）pH6.5~9.5（无量纲）无量纲CODCr500mg/LBOD5350mg/L400mg/LNH3-N45mg/L污水处理站接管口上杭县佳波污水处理厂纳管标准pH6.5~9.5（无量纲）无量纲CODCr300mg/LBOD5mg/L250mg/LNH3-N35mg/L总氮（以N计）45mg/L表3-5《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)标准来源、类别主要指标标准值单位《城镇污水处理厂污染物排放标准》 (GB18918-2002)一级A标准pH值6-9无量纲COD60mg/LBOD52020NH3-N8总磷1动植物油33.3.2废气排放标准有组织氯化氢、颗粒物、氯气、二氧化硫、硫酸雾、氟化物、非甲烷总氨的排放浓度参照执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表A.4排囱不低于8m，新建锅炉房的烟囱周围半径200m污水处理站硫化氢、氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1排放限值，见表3-8。食堂油烟执行《饮食业油烟排放标准（试行）》无组织硫酸雾、氯化氢、氟化物排放浓度执行《大气污染物综合排放标总烃排放执行福建省《工业涂装工序挥发性有机物排放标准》（DB35/1783-2018）中相关排放标准；同时，根据福建省生态环境厅《关于国家和地方相关大气污染物排放标准执行相关事项的通知》（闽环保大气表3-6大气污染物排放标准（有组织）污染物最高允许排放浓度mg/m3最高允许排放速率kg/h排放高度m标准来源颗粒物2330《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准氯化氢30氯气650.8730硫酸雾458.8030氟化物9.00.5930非甲烷总烃5330异丙醇40//江苏省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3排放限值氨//丙酮//上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表A.4排放限值序号锅炉类别污染物排放浓度（mg/m3）烟囱最低高度要求1燃气锅炉颗粒物208m2二氧化硫503氮氧化物2004烟气黑度≤1污染物周界恶臭污染物排放浓度限值(mg/m3)排放标准值排气筒高度（m）排放速率（kg/h）氨4.9硫化氢0.060.33臭气浓度a202000备注a：臭气浓度单位为无量纲。表3-9食堂油烟最高允许排放浓度和油烟净化设施最低去除效率规模小型大型最高允许排放浓度（mg/m3）2.0净化设施最低去除效率（%）6075表3-10项目无组织废气大气污染物排放限值污染物无组织排放监控浓度限值标准来源监控点浓度限值(mg/m3)氯化氢企业边界监控点浓度限值0.2《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准硫酸雾企业边界监控点浓度限值氟化物企业边界监控点浓度限值0.02氨企业边界监控点浓度限值江苏省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3排放限值非甲烷总烃企业边界监控点浓度限值2.0挥发性有机物排放标厂区内监控点浓度限值8.0厂界内监控点处任意一次浓度值30《挥发性有机物无组37822-2019）附录A表项目北侧厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》类别级别标准限值标准来源昼间夜间运营期≤65≤55《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表3标准4类≤70≤55《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表4标准生活垃圾处置执行《生活垃圾填埋场污染控制标准》（GB16889中相关要求；一般固废执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》废水污染物总量控制指标：本项目生产废水经厂区内污水处理站处理后同生活污水一起经市政污水管网进入上杭县佳波污水处理厂处理，控制污染）：根据总量控制原则及项目污染物排放情况，确定项目废水污染物排放总量控大气污染物总量控制指标：根据分析，本项目各污染物控制排放指标见表3-13总量控制指标分析表种类污染物名称排放量（t/a）总量控制量（t/a）一期工程二期工程合计废水COD13.99125.47925.479NH3-N3.3973.397废气硫酸雾0.0030.0040.0070.007HCl0.0150.0290.0440.044氟化物0.0720.1050.1780.463Cl20.0400.0590.0990.099NH30.3090.4550.7640.764非甲烷总烃0.9642.7572.757颗粒物0.1400.2810.281丙酮0.3350.5580.8930.893异丙醇0.555SO20.1590.1800.3390.339NOx3.3273.327H2S0.0010.0010.0020.002施4.1施工期环境保护措施4.1.2废气污染防治措施相关的法律法规，采取必要的环保措施，减少⑦施工后应该尽快对临时占地进行植被恢复和绿化，确保绿地①施工现场施工单位必须执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》后方可进行夜间施工。项目开工前，施工单位项目施工过程施工人员生活垃圾应集中收集交由所在地的环卫部门清运4.2运营期环境影响和保护措施本项目废水主要为外延片生产过程中产生的碱洗冲洗废水，芯片生产工序，包括酸洗/碱洗冲洗废水、抛光冲洗废水、显影冲洗废水、湿法蚀刻冲洗池子空容294.00m3，有效容积235.20m3；抛光研磨废水排编号废水名称来源水质特征W11、W13、W15、W18一般酸碱废水含氨废气喷淋废水、酸洗/碱洗清洗废水、SPM清洗废水、湿法蚀刻清洗废水、一般酸雾喷淋废水pH值、CODcr、BOD5、SS、NH3-N、总氮W7、W9、W11、W13、W14、W18含氟酸性废水湿法蚀刻冲洗废水、含氟酸雾吸收废水pH值、CODcr、BOD5、SS、NH3-N、总氮、氟W2（丙酮）、W10、W12、W13、W14、W17有机废水有机洗后清洗废水、光刻清洗废水、去胶清洗废水、去蜡清洗废水NH3-N、总氮W16、W19抛光研磨废水打薄和抛光废水、芯片磨片废水CODcr、BOD5、SS双氧水、水）药液槽、纯水冲洗槽一期和二期消耗水量均为2t/d，660t/a，排外延片生产工序石英零部件碱洗冲洗废水和芯片生产工序外延片先后要于冲洗的纯水用量为150t/d，49500t/a，二期酸碱洗后用于冲洗的纯水用量为期废水排放量为162t/d，53460t/a，酸洗后冲洗废水排入酸碱废水池，一般酸采用异丙醇（EL级IPA）对蓝宝石平片进行清洗后一期纯水冲洗用水为90%，则一期废水排放量为34.2t/d，11286t/a，二期废水排放量为41.04t/d，洗。一期去胶冲洗用水量为90t/d，29700t/a，二期去胶冲洗用水量为108t/d，放量为97.2t/d，32076t/a，产生的废水排入有机废二期废水排放量为86.4t/d，28512t/a，冲洗本项目SPM清洗和其他酸洗过程中主要会产生硫酸雾、HF、氯化氢，经为12t/d（其中，HF喷淋水用量3t/d，硫酸雾、氯化氢喷淋水用量9t/d）排水系洗4次计（每周一次），年用水量3268.8t（9.90t/d）。排水系数取90%，则一本项目单台锅炉年用水量约5900t，一期和二期各用一台，采用离子交换度的再生液以一定的速度(4-8m/h)自④正洗：以(6-10m/h)的流速，用清水自上而下清洗树脂层，直至出水合本项目离子交换树脂为Na型(RNa)树镁离子等盐分。反冲洗水、再生废水及单台锅炉定期排污水产生量约为50），无其他特征污染物，该部分排水作为清净下本项目超纯水系统制备过程包括自来水经机械过滤、活性碳过滤、RO保安过滤器过滤、二级RO装置、杀菌、脱气、离子交换、超滤送至使用点，循环回水再回至终端纯水箱。本项目所需的纯水要求电阻率≥18MΩ·cm（25℃时），自来水转化成超纯水的转化率约50%。根据需求一期纯水消耗量约为浓缩水产生量约为635t/d，2.10×105t/a；二期浓缩水产生量约为770.6t/d，单台空压机冷却循环系统循环总水量为476m³/d，一期和二期各用一台，系统采用冷却塔+空压机冷却水泵的供水方式。供/回水温度32程中需补充自来水，自来水补水量按照循环水量的0.5%计算，即一期和二期本项目运营期废水主要包括职工生活污水。本项目运营期一期职工220住厂员工生活用水量按150L/d•人计，不住厂员53-N池预处理后进入市政污水管网排入上杭县佳表4-2项目一期生活污水污染源强及排放量核算污染物废水量CODBOD5氨氮浓度（mg/L）/40025022035产生量（t/a）60722.4290.213治理措施化粪池浓度（mg/L）/34029.1产生量（t/a）60722.0640.9650.177处理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭县佳波污水处理厂浓度（mg/L）/6020208产生量（t/a）60720.3640.049处理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%表4-3项目二期生活污水污染源强及排放量核算污染物废水量CODBOD5氨氮浓度（mg/L）/40025022035产生量（t/a）44880.9870.157治理措施化粪池浓度（mg/L）/34029.1产生量（t/a）44880.7990.7140.131处理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭县佳波污水处理厂浓度（mg/L）/6020208产生量（t/a）44880.2690.0900.0900.036处理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%表4-4项目总生活污水污染源强及排放量污染物废水量CODBOD5氨氮浓度（mg/L）/40025022035产生量（t/a）105604.2242.6402.3230.370治理措施化粪池浓度（mg/L）/34029.1产生量（t/a）105603.5900.307处理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭县佳波污水处理厂浓度（mg/L）/6020208产生量（t/a）105600.6340.2110.2110.084处理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%一次降雨所能收集到最大的初期雨水量需根据当地的暴雨强度和设计的）；）；），）；（4.17m³/d）。类比华灿光电（浙江）有限公司项目，初期雨水污染浓度为期雨水池收集后，进入自建污水处理站处理后排入上杭县佳波污水处理厂处本项目绿化面积为约10910m2，根据《城市给水工程规划规范》(GB50282-98)，本项目绿化用水标准按1.5L/m2计算，年浇水7沉淀、pH调节2、反应、混凝、絮凝、沉淀一体化装置处理；有机废水经酸表4-5项目一期水污染物产生及排放情pHNH3-N物//2/9/水///2//准/表4-6项目二期水污染物产生及排放情pHNH3-N物2502502538//2/3/水2940.3m3/a//233185.5m3/a/9//准/表4-7项目水污染物总产生及排放情pHNH3-N物//4/2