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电容式测量原理,通过安装在负载和传感器之间的杆件来传递力和力矩。该传感器可同时测量机械臂末端的六个方向的力和力矩,并且能够实现1所示。传感器由底座、传感器主体、杆件和1C=其中,C为电容值,ε为电容器内的介电常数,Ad为电容器板间的距离。通过调整电容器内的介电常数、面积和板间距离,解耦电路的具体实现如图2所示。为了分离出每个力和力矩的响应,2时测量机械臂末端的六个方向的力和力矩,并且实现了力和力矩的解耦。传感器采用了电容式测量原理,通过安装在负载和传感器之间的杆件来刘利东陈文炯机器人六维力矩传感器的研制[J].机械设计与制造,2016,42(1):52-55.张路李鹏飞机器人六维力矩传感器的解耦算法设计[J].传感器与微系统,2018,37(3):57-61.邢文,郝晓东.电容式六维力矩传感器的设计与研究[J].测控技术,2017,36(2):14-18.
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