台阶仪操作规程_第1页
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台阶仪操作规程_第3页
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编号：XN/WI022-ZG-2009第1页共3页生效日期：2009.08版本/修改:A/01目的1.1台阶仪可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚，用于控制各种薄膜的生长工艺，是物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光盘沟槽的必备表征方法。1.2功能：台阶高度测试，表面粗糙度计算，应用：各种符合尺寸的薄膜样品均可测试。范围新能研发中心实验室责任实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。4•操作流程4.1打开电脑，开台阶仪电源，等待10秒后打开操作软件。4.2打开台阶仪保护盖，小心放入样品。4.3点击Engage,观察样品与探针所在位置。4.4点击Z+将探针升起，将样品调到适当位置。4.5点击Scan，进行扫描。4.6分析数据。4.7点击Z+将探针升到顶端。4.8取出样品，关闭保护盖。4.9关闭操作软件，关闭台阶仪电源，关闭电脑。5.注意事项5.1待测样品要经过严格的送样登记、测试、记录程序，不明样品不得测试。5.2测试前，用洗耳球吹扫样品表面，把灰尘等东西从样品表面吹扫干净，保证样品的洁净度；吹扫时，洗耳球的尖端不能接触样品表面，防止破坏样品。5.3接通电源，依次打开电脑开机按钮，显示器按钮，台阶仪电源按钮，要等待一定时间（约10秒）后，待数据信息接通后，将电脑桌面上的操作软件XP打开，不应马上打开软件进行测试。汕南觀能光伏胃眼云司NEMANG£hlSOLARFAB.rLTD编号：XN/WI022-ZG-2009第2页共3页台阶仪操作规程5.4样品放置时，要保证样品在样品台上平稳放置，放置时要横平竖直，所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。5.5在探针降落到样品表面的过程中，先使用Engage按钮落针，此过程尽量不使用Z-。如探针距离样品很远，Engage使用弹出警告的情况下才使用Z-按钮；具体操作时，点击1-2下Z-键，再使用Engage按钮让探针下落。如果再次出现警告，则再点击Z-按钮，再使用Engage按钮落针，确保针尖安全。5.6测试时，显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏，如表面有很多不明的颗粒存在于样品表面，停止测试，待送样者把样品处理干净后再作测试。5.7断电时，UPS自动启动，此时将探针升到顶端，取出样品，关上保护盖，关闭台阶仪电源，关闭电脑。5.8台阶仪在使用的过程中，需作定期校准，为保证测试的准确性，暂时定为一周校准一次。5.9清洁样品台无异物、赃物。5.10擦拭台阶仪外壳表面无灰尘，用洗耳球对探针进行吹扫。5.11探针针头是否完整，有无歪斜、探针脱落。5.12台阶仪主机与电脑连接是否完好，各连接线是否处在连接位置。5.13样品台是否整洁，有无明显异物。5.14台阶仪的校准。5.14.1正常开机打开台阶仪拿出校样标准件。5.14.2对做出的数据对照标准数据是否一致。6・设备日常维护点检按照《实验室设备周点检表》中的项目进行检查。7相关记录《实验室设备周点

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