微电子制作工艺课程实践教学方案设计

集成电路制造工艺课程实践教学方案设计的设计思想、实践教学的目标定位、组织实施方案，以及实行的教学手段。关键词：实践教学 职业力气 顶岗实习Abstact:Introducethedesignconceptof《MicroelectronCraftpracticeteachingplanwhichisexecutedinmicroelectronspecializedinBinzhouVocationalSchool.Alsointroducethepracticeteachingtarget,enforcementregulationsaswellasteachingmethod.Keywords:practiceteachingprofessionalcapacityon-the-jobpractice微电子工艺试验是微电子专业的核心主干课程，具有很强的理论性和实践的根本理论、根本工艺流程以及微电子器件主要生产设备的操作、维护、检修、程素养的根底上具备可持续进展的职业力气。二、实践教学方案设计思想实践教学的目的是检验学生对微电子工艺的从业岗位所需的根底学问和根本的统一，提高学生分析问题和解决问题的力气。IC实际工艺中的工艺流程为教学主线，在“贴近工程工程，真实工作流程，真实仪学生到达企业对该工种的要求。三、实践教学目标定位微电子专业旨在培育有用型、技能型人才，具有较强的实践力气；以实际工测试、整形、安装、焊接技能，把握硅集成电路主要工序的工艺操作方法、外延隐埋、薄膜制备、光刻等技术；生疏主要半导体器件参数、微电子工艺参数的测量方法。四、实践教学内容设计块，依据和实际工程“无缝对接”的原则，建立课程实践教学模式和体系。(一)课程力气体系应用技能、综合运用技能、可持续进展的职业技能。探针台金相显微镜、静电键合台、砂轮切片机、氧化炉、集中炉、合金化炉、烧结炉、静电键合机等等仪器的正确使用和维护的力气。膜制备、光刻技术、测试、整形、安装、焊接技能，化学清洗技术等。半导体器件手册猎取相关技术指标的力气。挑战。〔二〕实践教学内容实践教学中,结合微电子工艺工程师各岗位的要求，把实践教学划分为五个教学模块:仪器设备操作技能模块、单项工艺〔氧化、光刻、集中、离子注入、源应用力气模块。习和顶岗实习等形式进展。课堂实训：为保证课程课堂试验实训的效果与质量，编写了《微电子工艺实训指导》,〔硅片热氧化试验、集中〔两步法掺硼杂质试验、集中法掺磷杂质试验、光刻〔在二氧化硅上选择刻蚀窗口的试验、淀积〔电子束蒸发薄膜制备、金属腐蚀速率的测量、二氧化硅薄膜厚度的测量、集中节深度的测量、静电键合试验等课程设计。也是培育学生学问综合运用力气、资料检索力气、分析与解决问题、工程开〔3—5、的实现。课程设计围围着：简洁的元器件的制作、性能测试、运用模拟软件模拟的高质量、高水平的进展。综合实训问题的力气。架烧结、压焊、封帽、成品测试。写出实习总结报告。顶岗实习综合评价。五、实践教学的组织与实施〔一〕制定完善的制度综合性实习、顶岗实习完成实践教学任务。证标准的教学过程、完整的教学内容和显著的教学效果。〔二〕与企业进展全面的深度的合作学院与滨州芯科电子有限责任公司和青岛兴盛微电子科技签订了3-5〔主要由合作单位的技术人员介绍主要的技术〕10-15〔三〕推行弹性学习时间制度增加实习工程。为确保每个学生都有充分的实际操作时间和到达满足的娴熟程性又充分利用了学校的试验设备。〔四〕多渠道、多形式的教学关心手段和网上试验室，把教师自制的试验教学课件和购置的SEMI〔SemiconductorIntemational,SEMI〕DVD，作为网上学习和网上试验室的重要资源，供学生随时学习。改进、完善，激发学生的学习兴趣。〔五〕全方位、多尺度的评价学生的实践力气等方式增加实训时间，到达满足后要求指导教师重考核。的状况：4020%。分析问题，解决问题的力气：20%。自主学习和自主创力气：20%。六、总结电子专业是从2023级开头，无论是在理论教学还是在实践教学中都没有可借鉴提高了学生就业率和用人单位对学生的满足度，取得了很好的社会效益。参考文献：[J].2023〔4：54-56[J].41-42GaryS.May