检漏仪操作保养规程

检漏仪操作保养规程1、目的正确使用检漏仪，延长检漏仪的寿命，减少零部件的损坏频率，确保镀膜主机顺利检漏。2、范围适用于镀膜主机箱体的检漏3、职责设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业，保证检漏仪的正确使用和维护。4、内容开机接上被检件，将调节阀关至最小闭；三位阀的操作手柄指向预抽，总电源开关为关闭；将仪器接上220V电源；接通总电源开关；421.5当真空度低于10Pa后顺时针旋转操作杆到检漏位乙灵敏度高一低开关乙高，约5分钟后，面板上正常绿灯亮；将灯丝触发开关向开触发一下，灯丝工作指示绿灯亮漏率校准（每月或换灯丝后效准1次）422.1Z量程选择开关在10,量程波段开关在10-8（Pa.m3/S）；灵敏度高－低开关在高；校准旋钮顺时针到头；顺时针旋钮操作杆由检漏到放气；卸下检漏口上的堵头,装上标准漏孔并锁紧,打开标准漏孔上的阀门；422.6顺时针旋转操作杆到预抽位乙进行预抽。当检漏口压力低于5Pa时,顺时针旋转操作杆到检漏位Z；观察漏率显示。数据有可能低于标准漏孔的标定值。改变量程使漏率发光显示占满标1/3以上。关闭标准漏孔阀门,漏率显示应立即下降,表明此时仪器已对氦有响应；重新打开标准漏孔阀,待漏率显示稳定后,分别调节加速和聚焦旋钮（先松开锁紧钮）使漏率显示最大。还可以稍微旋转一下质谱管上离子源两侧的磁极,使漏率显示最大（此举对第一次投入使用的新离子源或新换灯丝有必要）；关闭标准漏孔阀门,漏率显示立即下降。锁紧加速和聚焦调节旋钮；调节漏率显示零点：在标准漏孔关闭状态,调节细调零或粗调零，使漏率显示在最灵敏档（X10-10）为0.5左右；开标准漏孔阀，稳定的氦漏率显示值应超过标准漏孔的标定值。逆时针调节校准，使漏率显示值与标准漏孔的标定值一致；4.2212顺时针旋转操作杆到放气位乙卸下标准漏孔，装上被检件，仪器即可实施检漏。注：若高-低开关在低位乙应Z量程选择开关在9,重新用标准漏孔对仪器校准！4.2.3正常检漏操作（WIOPa），被检件能够在5分钟内预抽到10Pa以下，可按正常操作进行，否则被检设备应抽到10Pa以下才能进行检漏操作。顺时针旋转操作杆到放气位乙，装上被检件，确认联接可靠；顺时针旋转操作杆到预抽位乙，打开调节阀，对被检件预抽，应能在5分钟内预抽到10Pa以下；注：操作杆在预抽位乙停留的时间不得超过5分钟!当检漏口压力低于10Pa时，顺时针旋转操作杆到检漏位乙；用喷枪对被检件的可疑漏点部分喷吹氦气，同时观察漏率显示和倾听喇叭音响；旋转量程波段开关（量程波段开关一般在10-10），调节细调零或粗调零，使漏率显示在0.5左右，可在不同灵敏度档观测。424高压检漏操作（10〜50Pa）,被检件的大漏或体积较大，不能在5分钟内预抽到10Pa，可采取高压检漏模式。灵敏度高－低开关Z低，量程选择开关Z9；如要定量，在此状态利用标准漏孔对仪器实施一次漏率校准；装上被检件，打开阀门；4.2.4.4顺时针旋转操作杆到预抽位乙对被检件预抽，应能在20分钟内抽到10〜50Pa；注：操作杆在预抽位Z停留的时间不得超过20分钟!当检漏口压力低于50Pa以下时，顺时针旋转操作杆到检漏位乙；用喷枪检漏。由于检漏口压力增高，本底信号增强，可通过调节粗调零和量程，使本底信号在漏率显示上不超过满标的4/5。注：操作杆在预抽位预抽时，若检漏口压力始终达不到50Pa以下，不允许进入检漏!只能逆时针退回红点或放气。4.2.5维持备用关灯丝；高-低开关在高位Z；检漏口用堵头堵死；425.4顺时针旋转操作杆到预抽位乙抽至10Pa,再顺时针转到检漏。完全停机关灯丝；检漏口用堵头堵死；顺时针旋转操作杆到预抽位后,立即关闭总电源。否则会引起机械泵返油。保养内容一级保养清洁机身；检查滑阀泵油位是否足够,不足应添加真空泵油。二级保养检查线路有无松脱现象；校正检漏仪；滑阀泵和分子泵首次运行1000