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文档简介
半导体的发展趋势
半导体的发展趋势超晶格材料是两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜,事实上就是特定形式的层状精细复合材料。可用于制造微波器件,高速器件,光电子器件等。。发展趋势微米-纳米(纳米电子学)
微电子超大规模集成电路的特征尺寸已经从亚微米级发展到100nm尺度以内,随着电子器件集成度的进一步提高,微电子器件物理和工艺面临新的挑战,而以量子输运机制为主导的固态纳电子器件及其纳电子学已经在器件物理、工艺和性能方面取得了显著的成果,并显示了潜在的应用前景。毫无疑问,纳电子学是微电子学的集成者。以纳电子学为先导的纳米科技已经渗透到材料、生物、化学、机械等学科领域。发展趋势微米-纳米(纳米电子学)除隧道二极管(开关速度达皮秒级)之外,已投入实用的是一种超导量子器件,即约瑟夫逊器件(精密仪器中用)。其他种类的器件还有待进一步研究,如利用量子细线中的高电子迁移率效应制备超高速逻辑器件,利用超微细结构中的隧道效应制作多值逻辑器件,利用量子箱结构制作大容量存储器,利用相干电子波的干涉、衍射和反射现象制作的高速开关器件以及传感器件,利用
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