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文档简介

ESD防静电控制规范本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范,贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制,穿插介绍了防静电设施的技术要求,检测方法和作业指导等内容。目录包括静电敏感区域的界定、工程环境防静电规范、人员防静电规范、防静电操作方法规范、工装、设备、仪器以及防静电器材的防静电规范、常用的检测方法、静电防护作业管理指导、ESD相关术语、常用的防静电标志、部分静电敏感器件的静电敏感电压、引用的标准及参考文献、相关记录、版本修订历史记录。静电敏感区域的界定包括ESD敏感器件的生产区域、前加工区域、贮存区域、返修区域和老化区域。公司的静电敏感器件需要在这些区域内进行静电防护控制。5.2.1.MOS器件、MOS管和MOS集成电路是电子元器件的一种。5.2.2.FET器件包括场效应管和集成电路。5.2.3.TTL器件包括各种逻辑门数字集成电路。5.2.4.AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。5.2.5.X-ROM存储体器件和记忆体器件包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。5.2.6.CPU微处理器和各种BGA器件都是电子元器件。5.2.7.各种二极管和三极管也是电子元器件。5.2.8.各种半导体开关元件也属于电子元器件。5.2.9.各种厚膜和薄膜电阻都是电子元器件。5.2.10.钽电解电容也是一种电子元器件。5.2.11.SAW声表面波器件是电子元器件的一种。5.2.12.石英和晶振体器件也是电子元器件。5.2.13.以上元器件组装后形成的PCBA板也是电子元器件之一。5.3.静电敏感区域的标识:5.3.1.静电敏感区域的区域界限应使用黄黑相间的斜条纹标识,线条宽度为5~10CM。5.3.2.从静电敏感区域的入口处开始,在明显处应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。5.3.3.防静电容器、防静电周转箱、防静电元件盒等器材上应有防静电标志,并置于明显且不易受到磨损的地方。5.3.4.经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。5.3.5.含有ESSD的图纸资料应有ESSD标志。5.3.6.设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。5.3.7.整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。5.3.8.交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。6.静电敏感区域的工程环境防静电规范6.1.防静电工程环境的设计原则:6.1.1.抑制静电荷的积累和静电压的产生。6.1.2.安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷。6.1.3.防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。6.1.4.防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。6.1.5在防静电工作区内,禁止使用易产生静电荷的电荷源。以下为常见的电荷源分类:-工作台表面:油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面-地板:塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂-工作鞋、帽、鞋:普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋-电荷源:操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等6.2防静电工程环境的要求:6.2.1环境的温度和湿度要求:温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间。环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥,应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求,但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求如下:-对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。-有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。-遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。-发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。-每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。6.2.2地表6.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:6.3.1接地线:也称为地线母线,防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用,不得接在电源零线上,不得与防雷地线共用。6.3.2接地主干线的截面积应不小于100mm2,支干线的截面积应不小于6mm2,设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷朔导线,并以黄绿色为宜。6.3.3防静电设备的连接端子应确保接触可靠,易装拆,允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等。6.3.4接地电阻:指接地体与大地之间的接触电阻,静电保护接地电阻应小于4Ω。6.3.5地线的埋设:埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大,接触密度要高,接触要紧。6.3.6接地线的定期检查为确保设备和工作环境的安全,需要定期检查接地线和接地端口的泄漏电阻(接地电阻)。检查工具包括万用表和接地电阻测试仪。检查频率如下:-每周检查生产线主接地线对通用接地点的接地性能和设备、工装及工作台等设施的接地性能。-每月检查ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线。-每6个月检查每个通用接地点对地的接地性能。检查标准如下:-每周检查的标准:小于4欧。-每月检查的标准:0.9×10Ω~1.1×10Ω。-每6个月的检查标准:小于4欧。6.3.7接地线的定期维护对于检查不过关的接地线,必须采取措施及时解决,确保接地线有效接地。对于生锈或接触不好的接地线,要及时更换。对于松动的接地线,要重新连接。按接地线相关规定进行维护。6.4人体静电防护系统在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配间等对防静电要求较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,并经过测试合格后方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下:1.将转换开关拔到左边“FOOTWEAR”档,双脚站在白色不锈钢脚板区域。2.按住“PRESSTOTEST”键。此时,左边(LEFT)指示为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻。如绿灯亮则表示电阻合格。如果测试不合格,需要更换新的防静电鞋。检测指标包括体积电阻率和摩擦静电压,检测标准为0.5*105—1*108Ω和0.10kv。检测仪器包括体积电阻率兆欧表和摩擦静电压静电电压表。防静电鞋的使用要求需要遵守相关规范。验仪上的金属接点,确保静电环与测试仪导通。接着,员工应将手臂伸直,让静电环与皮肤紧密贴合,等待测试仪显示结果。如果测试仪显示阻值小于10Ω,则表示测试合格,员工可以进入静电敏感区域工作。如果测试仪显示阻值大于10Ω,则表示测试不合格,员工应更换防静电腕带或进行其他必要的调整,直到测试合格为止。防静电工作鞋应定期进行防静电特性检测,确保其防静电性能符合要求。为了保证操作者的安全和防止意外触电,除了将车间地面做成防静电地面外,操作者还应穿用防静电鞋,并且必须与防静电衣配套使用。防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。在穿防静电鞋时,不得穿袜子或另加鞋垫,特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其他涂料。防静电手套或指套不仅具有防静电的功能,还具有防腐蚀的作用。在对静电敏感的工位,如MOS管等敏感器件的装配工位,操作员工应戴上防静电手套或指套。在不便使用有绳防静电腕带的岗位,如流动操作岗位,须使用防静电手套。定期更换破旧和脏的防静电手套和指套。防静电手套或指套的防静电特性检查方法与防静电服相同。防静电腕带由松紧圈和接地组件构成,松紧圈的要求是体积电阻率≤100Ωcm。为确保操作者在触及线电压时不致发生人身伤害,接地组件必须串接一定数值的电阻。该电阻的选择原则是,一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA,另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放,使皮肤上的静电压小于100V,一般该电阻阻值取为10Ω。因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强,建议使用在线报警防静电腕带,以保证人体皮肤静电能及时释放掉。每班开工前,每位员工都应自检防静电环是否正常,并作好记录。员工进入车间前应首先佩戴好静电环,进行自检测试,只有测试合格,才可以进入静电敏感区域工作。在进行焊接时,务必先拔掉烙铁电源插头。禁止重复使用ESSD器件包装管来包装ESSD器件。对于原包装标识为静电敏感的元件,其散料必须使用防静电材料盛放和包装。ESSD器件初始包装应在静电敏感区域内完成,并且要用防静电材料包装。已完成初始包装的ESSD器件进行二次包装时可以在非ESD区域内完成,但仍需使用防静电材料。禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESSD器件。在任何场合中,未采取防静电措施的人员均不允许接触ESSD及其部件。生产过程中使用的设备,如成型机、插件机、波峰焊机、贴片机、切脚机、清洗机等,必须采取接地等防静电措施。运输ESSD及其部件时,应将其放入防静电包装内进行,必要时,应使用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可,只有认可合格后,方可给生产线使用。新投入防静电敏感区域的防静电材料,包括主料、辅料和包装材料,都应进行ESD认可,只有认可合格后,方可给生产线使用。新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可,只有认可合格后,方可给生产线使用。工作台的安装配置要求:按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。使用异丙基酒精彻底清洗台垫下表面(即黑色的一面)。从防静电台垫正面压下旋钮接头(可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替),使其穿过台垫和箔带有(多层箔带时应保证全部穿过),以保证电接触良好。使用异丙基酒精清洗防静电台垫上表面和各组成构件。将经过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上。按操作人员的作业范围确定铺放台垫的面积。将工作台置于防静电地垫上。防静电工作台的接地,使用横截面不小于2mm的绞合铜芯软线或电缆把防静电台垫和地垫分别串联1MΩ电阻后连接到地线配置系统上。全部安装完毕后,对各参数指标进行检验合格后,方可开始使用。防静电工作台接地要求:防静电工作台的台垫和地垫,分别串联1MΩ±10%的电阻接地(即软接地)。1X10~1X10Ω,并应定期用抗静电剂处理。使用电动工具时,应确保其外壳接地对地线配置系统电阻值不大于2Ω,且接地点应集中接于一点。7.7.7.7.1.7.7.2.7.7.3.7.7.4.7.7.5.7.7.6.7.7.7.7.7.8.7.7.9.7.7.10.7.7.11.7.7.12.7.7.13.7.7.14.7.7.15.7.7.16.7.7.17.7.7.18.7.7.19.7.7.20.7.7.21.7.7.22.7.7.23.7.7.24.7.7.25.7.7.26.7.7.27.7.7.28.7.7.29.7.7.30.7.7.31.7.7.32.7.7.33.7.7.34.7.7.35.7.7.36.7.7.37.7.7.38.7.7.39.7.7.40.7.7.41.7.7.42.7.7.43.7.7.44.7.7.45.7.7.46.7.7.47.7.7.48.7.7.49.7.7.50.7.7.51.7.7.52.7.7.53.7.7.54.7.7.55.7.7.56.7.7.57.7.7.58.7.7.59.7.7.60.7.7.61.7.7.62.7.7.63.7.7.64.7.7.65.7.7.66.7.7.67.7.7.68.7.7.69.7.7.70.7.7.71.7.7.72.7.7.73.7.7.74.7.7.75.7.7.76.7.7.77.7.7.78.7.7.79.7.7.80.7.7.81.7.7.82.7.7.83.7.7.84.7.7.85.7.7.86.7.7.87.7.7.88.7.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