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文档简介

周报—W7Wuhu

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Department张卷—化学站一.重大事项概述提纲三.本周自我总结二.异常处理心得Wuhu

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Department一、重大事项概述Wuhu

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Department日期:2014/12/27机台名称：A1QXC041异常原因：片源出货后载篮上有水珠处理时间：12:00-13:00处理内容：

1.片源经ipa烘干后，由手臂取出后发现载篮上有水珠；2.观察发现只有两批片源同时run货时会出现这一状况，因为取烘干后的片源前手臂停止水槽上方，手臂上带有较多水渍；

3.对比其他HCL清洗机发现其他机台无此现象，对比配方时发现41号机水槽配方细项和其他机台不一样，联系工艺过来处理，将此机台水槽配方改为与其他机台一致，再进行空run测试；

4.测试后查看载篮和卡塞上无水渍，多次空run都正常后交付生产。一、重大事项概述日期:2014/12/29机台名称：A3DLZ006异常原因：射频功率不稳定处理时间：9:00-10:00处理内容：机台作业时，电流和射频功率不稳定，通过视窗观察射频时闪烁； 检查射频功率源和自动匹配器后部接线无异常，保险丝均正常，重新插拔接线后无果，将射频功率源更换之后仍出现相同问题，更换自动匹配器后，机台射频正常，空run测试正常，测量卡塞温度在正常范围内；进行多次run测试正常后，将机台交予生产。二、异常处理心得Wuhu

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Department处理异常前，戴好防护用具，保证人身安全；通过对比相同机台往往能更快查找出问题所在；处理完成后，切记要进行测试工作，确保机台能正常运行方可交付工艺或生产。三、本周自我总结Wuhu

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Department自动清洗橱片源烘干后仍有水渍，可能原因是HN2压力不足，夹取载篮时手臂上残留的水珠太多等，在确认不是硬件问题后，要从软体上查找原因，有时往往是软体问题所导致的；十三所等离子去胶机目前每日都有对卡塞进行测温，若卡塞温度过高，可能是匀气盘匀气不均，导致射频时卡塞各个点反应不均匀，部分点温度升高；射频不稳定有可

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