版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
原子光刻技术电科0901
杨沙沙
光刻技术是纳米结构制作的重要工艺,通过增大光刻物镜的数值孔径(N.A)和缩短曝光波长,可以提高光刻系统的分辨率。但当光刻图形的尺寸小于100nm时,光学光刻面临着很大的挑战。原子光刻是一种利用原子束实现刻印的新方法。作为原子光刻中的原子拥有X射线、电子束及离子束等刻印媒体所不具备的特点。
在电子束光刻技术中,由于空间电荷效应的影响,特征尺寸的缩小是以昂贵设备为代价来实现的。在这些情况下,作为一种潜在光刻技术的原子光刻技术有望成为集成电路和微型器件加工的新型纳米结构制造技术。原子光刻技术简介:1995年,美国国家标准技术研究所和哈佛大学的科学家们成功地运用中性原子代替光子和电子,在硅表面产生了金的微纳米图形,这是原子光刻技术的第一个实验结果,并预言原子光刻技术制造出集成电路或其他器件比其他光学光刻技术制造的小十倍。自从以后,美国、德国、日本、法国等国家先后在中性原子光刻实验上取得了成功,原子光学的基础研究成果正逐步向原子光刻技术进行转化,是基础研究技术化的典型之一。中性原子光刻:
中性原子光刻是指利用中性原子束在材料表面上制造特定的结构图形。基于中性原子的性质,原子光刻具有以下独特优势第一:中性原子束的原子源装置结构简单,价格低廉;第二:相对于光子和电子,中性原子束的粒子动能非常低,小于1eV,对表面损伤极小;第三:中性原子的运动轨迹不受均匀电场和磁场的影响,而介于中性原子之间的长程粒子间相互作用力非常小,没有库伦排斥力引起的分辨率限制(离子束光刻中存在);第四:中性原子束还具有电子束或光子束所不具有的跃迁态,原子具有可用激光调谐的中间态结构,这种中间态结构使得原子操控成为可能,并可以通过激光冷却来增强原子束通量和校准。与其他光刻技术比较,原子光刻由于目前的技术尚难以获得高强度束流,制造效率较低。以惰性气体为例,一个原子经激发处于激发亚稳态是可携带8-20eV的内能,单个红外光子就可以耗散一个
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- GB/T 44494-2024家用和类似用途制冷器具食品保鲜
- 学习委员竞选演讲稿模板10篇
- 读不完的大书
- 在银行的实习报告范文合集七篇
- 七夕情人节给老公的寄语(170句)
- 新学期的计划范例汇编九篇
- 父母感恩演讲稿范例集锦7篇
- 环保的演讲稿7篇
- 2020年辽宁沈阳中考满分作文《宋词是我的启明星》
- 艺人网络形象管理与社会媒体营销考核试卷
- 政府投资项目审计
- 民法典-婚姻家庭编课件
- 旅行社经营管理案例分析
- (新)海陆分布与气候课件
- 淘宝模特合作协议
- 推拿治疗学-课件
- 螺纹牙强度校核计算
- 小学英语-PEP小学英语四年级上册Unit4B Let's talk教学设计学情分析教材分析课后反思
- 广西物资学校招聘非实名编工作人员考试真题2022
- 华北理工大学环境工程原理教案
- 联考测评(六)作文“觉得自己很牛的人都是因为圈子太小了”导写及范文
评论
0/150
提交评论