化学站机台名称自动清洗橱异常原因浮球sensor损坏导致漏水处_第1页
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文档简介

11周报—W4陈斯毅—化学站一.重大事项概述提纲三.本周自我总结二.异常处理心得2日期:2014/12/7机台名称：自动清洗橱异常原因：浮球sensor损坏导致机台漏水处理内容：生产反应机台漏水发现Tank8#IPA暂存槽外槽在供给水时有大量水从Tank8#IPA烘干槽的排风口下方喷出检查发现Tank8#IPA暂存槽外槽液位浮球sensor无信号由于厂家无备件，把A1QXC049（暂无使用）TANK1的液位浮球sensor更换到A1QXC053Tank8后，测试OK进行多次空run测试OK后，交付工艺汪莹3日期:2014/12/10机台名称：十三所等离子去胶机异常原因：橡胶管损坏导致腔体漏气处理内容：点检机台CST温度时发现温度偏高（测量最高温度为44℃）空RUN检查氧气、氩气流量--OK，正/反向功率--OK与另一个机台pump对调测试检查，未发现异常对机台进行保压测试时发现：腔体漏气（腔体真空度由-100kpa变为-

72.3kpa）检查腔体各接口时发现：排气口处的橡胶管损坏。更换新的橡胶管空RUN--ok测量温度正常后交工艺4明确异常点及发生异常的原因，并逐一排出掉；找到异常原因，思考处理方案，在着手进行异常处理异常处理中要注意人身安全处理完成后，需进行空run测试，确认没问题后在交给工艺5自动清洗橱sensor的调节和更换，sensor是高灵敏度零件，稍有偏差都会导致大问题，如果sensor脏污，则会感应下降，导致出现异常如overrun，如果位置错误，也会导致异常如液位sensor过液位异常。这是一个要重视的问题，虽然事情处理较为简单，

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