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文档简介

一种蒸镀锅机构及蒸镀设备的制作方法背景目前，化工、电子工业以及机械制造等众多领域中，蒸镀技术已经广泛应用。传统的蒸镀设备一般采用某种材料制成的圆形容器，该容器的内部存在密闭的空间，通过真空泵和加热等方式，将涂有镀层材料的源材料蒸发并沉积在工件表面，可以实现将涂层材料形成用于覆盖工件表面的薄层的工艺。目前通过蒸镀技术制作的产品具有很好的性能，但是传统的蒸镀设备存在一些不足之处，例如，成本高，生产效率低，容易出现设备漏气等问题。因此，研发一种高效、稳定、安全、易操作的蒸镀设备已经成为研究人员关注的热点之一。发明内容本发明提出的是一种蒸镀锅机构及蒸镀设备的制作方法，该设备结构简单、稳定、易于操作，可大幅提高生产效率和成本效益。蒸镀锅机构本发明的蒸镀锅机构包括锅体、固定环、加热器和真空泵等部分，具体结构如下：锅体锅体是蒸镀锅机构的主体部分，其内部诸如水、气体等物质可以被真空泵抽尽，以实现蒸发源材料在真空中沉积的目的。固定环在锅体的底部，设置一个固定环，用于固定蒸镀基板。固定环为一L形部件，由表面光滑的金属材料制成。L形部件的两个水平臂在内侧设置支撑座，用于固定蒸镀基板。加热器加热器位于锅体底部，加热器采用发热管或其它加热元件组成，用于蒸发乃至沉积源材料。加热元件通常采用铁、铜等金属材料，表面进行喷涂处理，以保护电阻丝不易氧化。真空泵真空泵位于蒸镀锅机构的底部，用来抽出锅体内的气体和水分，保证蒸发源材料在真空环境下的沉积。蒸镀设备的制作方法造本发明的蒸镀设备，需要按照以下步骤进行：制造锅体锅体通常采用不锈钢或钛合金等耐高温、耐腐蚀金属材料制作。具体制作步骤为：对选定的材料进行切割或剪切等加工，将其制成所需的镀膜器结构零件。根据提供的锅体三视图，将上述零件拼装成完整的锅体结构。通过焊接等方法，将锅体的细节进行处理和清晰，消除锅体的缺陷，确保无泄漏等问题。加工固定环固定环材料所选，可采用进口高硼硅软玻璃或其它高温玻璃等材料。制造步骤如下：根据设计图纸确定固定环尺寸，进行相应的修整和拼接。通常在固定环底部形成和玻璃接触的环形平整区域，确保玻璃稳固地固定在环上。针对固定环的边缘和固定座进行加强，以保证其安装平稳。制作加热器加热器的选型、成型方式、材料都会影响蒸镀设备的性能，这里我们选取了成熟稳定的加热丝。具体制作方法如下：根据设定的加热器需要耗电量和工艺要求，选取合适材料。将加热丝进行绕线、电极固定和热处理等工艺处理，形成加热器的成品。安装真空泵及电路蒸镀设备安装真空泵的方式宜与加热、冷却等电路分离，以免电磁干扰影响设备稳定性。安装真空泵及蒸发器电路并进行排线，保证使用的高低电路、中间变压器等均符合设计要求。进行电路调试，保证设备能正常运行。总结本发明提出了一种蒸镀锅机构及蒸镀设备的制作方法，该设备结构简单、稳定、易于操作，可大幅提高生产效率和

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