半导体IC切割SSS培训教材课件

SSS培训教材SSS培训教材1第一章V2Handler的各部分机械调节的方法第一章V2Handler的各部分机械调节的方法2按下E-Stop，转动Turret,检查运动顺序是否正确：外环下内环下外环上内环上

确定吸嘴的位置，在RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的位置是否在正中间。OrientatorRejectBoatGoodBoatSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整按下E-Stop，转动Turret,检查运动顺序是否正确：O38个吸嘴是否在同一个高度

方法：在XYTable上面确定一个固定点，转动Turret,看每一个吸嘴接触定点的高度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。检查吸嘴在XYTable,RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的高度是否满足要求：在XYTable上面放置一个Unit,如图所示吸嘴UnitXYTableSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整8个吸嘴是否在同一个高度在XYTable上面放置一个Uni4Orientator位置的高度标准：RejectBoat,GoodBoat上面高度标准：SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整Orientator位置的高度标准：RejectBoat,5检查XYTable在XY轴向的平行度：固定一个吸嘴，转动XYTable在X,Y轴向的马达，移动XYTable检查GoodArm在IndexTray和GoodBoat上面的高度，以在IndexTray上的高度为基准；RejectArm在RejectTray和RejectBoat上面的高度，以RejectTray上面的高度为基准。Turret速度设定：旧机器——50~100，新机器——100~120SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整检查XYTable在XY轴向的平行度：检查GoodAr6GoodBoat——802sensor,RejectBoat——801sensor

调节时Boat必须在Arm的正下方GoodBoatSensorSensorUnitArm2检查Arm2Gripper和Carrier是否在同一个平面；跑机过程中检查Gripper是否变形；Arm2在XYTable的马达位置，Retainer活动顺畅；Arm2在Flipper,Wash的位置是否正确，调节气阀，使上下运动力度再合适的范围之内；SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整GoodBoat——802sensor,RejectB7Washing&Drying:Washing冲洗次数为3~6次，速度为80mm/sDrying烘烤次数为8~10次，速度为60mm/s,温度设定为2~3若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干，则必须检查如下：清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查高压水压力状况；Carrier在Start,End的位置是否正确清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查压缩空气的压力；加热泵是否工作；Carrier在Start,End的位置是否正确SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整Washing&Drying:清洗不干净：检查上下喷嘴是8发现链条活动常：检查前后导矸是否平行；导杆前后距离太近导致链条过长刮到Wash底部；连轴器松动导致位置变化；Carrier托盘是否松动，检查轴套是否破损，及时更换；长轴是否变形Flipper检查检查Flipper在Work,Home状态下是否平衡，调节连轴器，使之达到平衡；Carrier两头的夹子是否松动，固定架子的杆是否松动；检查Flipper在翻转是是否顺畅；检查定位针是否磨损；调节气阀大小，使之翻转的动作平缓SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整发现链条活动常：检查前后导矸是否平行；Flipper检查检查9Leadin检查：检查Sensor高度，皮带是否磨损导致Substrate不能到位，检查轨道宽度Arm1检查检查Arm1Left在Leadin位置是否平行，定位针是否破损，保证在吸料时，Substrate完好；检查Arm1Left在Chucktable位置，检查上下平面是否平行，确保放料位置正确；检查Arm1Right在Chucktable位置，检查平面度，下降高度不能太低，确保位置正确；方法：手动使Carrier在Chucktable位置下降到底，比较Chucktable与Carrier两个平面，以Chucktable平面为基准，同时移动Arm1Right到一个定位销与Chucktable平面平行，再检查另外一个定位销是否与Chucktable平面平行，若不平行，松开中间四个螺丝进行调整。SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整Leadin检查：Arm1检查检查Arm1Left10检查Arm1Right在Flipper位置:确保位置正确，当Arm1Right下降抓Carrier时，不能太低，刚好能抓到位最好检查整机效率Saw机速度60Wash速度80，次数3-6Dry速度60，次数8-10Turret速度80-100在跑机时，观察机器状态，协调各参数，若发现异常，及时处理SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler机械位置调整检查Arm1Right在Flipper位置:检查整机效率11SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw机机械位置调整镜头（7.4）确定镜头聚焦的零点，一般在Rubber孔边缘面上，低倍镜头聚焦范围在高倍镜头聚焦的范围内，达到High/Low拒交相一致；任何原因拆开镜头，安装时要按照原次序安装，有空袭是要涂上密封胶，保证镜头十字架与Substrate十字架平行；若发现镜头脏污时应及时清洁，用净化纸棉签与酒精清洗。断片处理残片切割采用半自动切割方式（3.4），在CH3方向，只能在切两刀之后再重新对刀第一刀，第二刀和第三刀的距离不同???SawSortSystemTechnicianTra12SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw机机械位置调整保证切割残片时，抬刀高度和贴Marking纸的厚度一般为5张，切完时最下面一层纸应不被切透。（4.1.2）Z-AxisAutoDownLength20mmDown0.01mm注意：每一次NCS测高报警时，应清理Sensor直至测高完成，发现损坏请及时更换WorkThickness1.1mmFocusStroke2.5mmFocusSetup0.05mm2.5mm1.1mm做PR时，θ-Level设置为45%~50%。十字架边缘要清晰，斜光一般不要求太强，一台机器的PR应该包括几种不同型号的Substrate.SawSortSystemTechnicianTra13第二章换刀程序第二章换刀程序14退出主菜单.进入换刀菜单.如图退出主菜单.进入换刀菜单.如图15按F1进入换刀界面按F1进入换刀界面16二:用换刀工具把新刀换上.(重要部分,需现场指导和培训)换刀工具如下:二:用换刀工具把新刀换上.(重要部分,需现场指导和培训)17装刀顺序如图装刀顺序如图18换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位.并保证每部分清洁 清洁未清洁换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位.并保证每部19三:对BBD进行清洁已达到指定要求两种情况:磨轮罩打开和关闭的状态.关闭打开BBD:调节方法如下调节BBD的螺丝,使BBD的感光量在打开磨轮时在60%-80%之间关闭磨轮时在10%左右如果没达到规定量,请用棉签清洗传感器部分三:对BBD进行清洁已达到指定要求两种情况:磨轮罩打开和关20四:对非接触测高进行清洁已达到指定要求在关闭清洗水和吹气的情况下传感器的电压水平需达到90%-99%之间.如无法达到时.请用棉签对传感器清洗四:对非接触测高进行清洁已达到指定要求在关闭清洗水和吹气的21进入测高菜单进入测高菜单22选择F3测高模式后进入选择Z1或Z2需测高对应的选项进行自动测高选择F3测高模式后进入选择Z1或Z2需测高对应的选项进行自23进行刀痕校准校准前校准后进行刀痕校准校准前校准后24开始自动切割由技术员观察切割质量注意事项:1：换刀时,需对刀架周围和刀架本身进行清洁.以防止sub残渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空报警。2：清洁刀架两侧的冷却水管。以防水管堵塞造成刀片冷却不够,使刀片变形导致刀痕变大产生的切偏缺陷.开始自动切割由技术员观察切割质量注意事项:25第三章打磨法兰程序第三章打磨法兰程序26在生产过程中.出现打刀后法兰出现以下情况:1:刀片打碎后,有残留在法兰上的碎片无法取下(打磨或更换）2:在换刀时发现法兰外盖难以取下并感到有卡住的情况（更换）3:把新刀放在法兰内环时发现刀活动范围过大,或发现刀无法轻松的放入内环（更换）4:内外环无法完好闭合.（打磨）请根据以上情况对法兰进行打磨或对法兰进行更换在生产过程中.出现打刀后法兰出现以下情况:27进入打磨程序.如图按F1进入菜单进入打磨程序.如图按F1进入菜单28把工具按要求装上.如图工具如图:安装过程需现场培训和指导把工具按要求装上.如图工具如图:安装过程需现场培训和指导29打磨位置如图侧面图正面图打磨位置如图侧面图正面图30打磨高度和距离打磨高度和距离31进入设定程序.对各参数进行校对后开始打磨注意：打磨参数已经设定，技术员只需选择所要打磨的（动作轴）后按enter就开始自动打磨。在打磨完毕后根据打磨效果对（总次数）进行修改以达到最佳效果进入设定程序.对各参数进行校对后开始打磨注意：打磨参数已经32第四章SawPR第四章SawPR33退到主菜单后选择F2进入选择选择F2,进行TechPR程序第一步退到主菜单后选择F2进入选择选择F2,进行TechPR程34如图中所示，用绿色田字对准白色十字架后，在下列目录，选择F7或F8,进行灯光或聚焦设定，已确保到达最佳效果完成以上步骤后，按F5进行水平校准，（校对同一条直线上的两个不同的十字架来达到水平）第二步CH1方向如图中所示，用绿色田字完成以上步骤后，按F5第二步CH1方向35完成水平校准后，按”Enter”进行电脑自动teach如图框所示，达到此标准后按Enter进入下一步第三步完成水平校准后，按第三步36确认切割道此步骤重点注意如图：用3根绿线中，选择中间的实体绿线来对应白色十字架的中心。（这是刀片切割的位置，请保证要对应到中心位置）后按Enter确认第四步确认切割道如图：用3根绿线中，选择中间的实体绿线来对应37CH2方向的方法请参考以上四个步骤进行Tech第五步CH2方向的方法请参考第五步38第六步校准目标确认切割道第六步校准目标确认切割道39完成PR完成PR40第五章HANMI更换程序。第五章HANMI更换程序。41☻更换程序进入此键面进行程序选择选定需要更换的程序后按（deviceChange)进行确认。产品选择后成红色状态表示更换成功☻更换程序进入此键面进行程序选择选定需要更换的程序后按（de42☻更换产品对应的模具SawblockDryblockTurntableTablepickerUnitpickerSQUAREPAD☻更换产品对应的模具SawblockDryblockTu43☻校准吸嘴先打开Specialkeyon,按AutoAlign进行自动校准吸嘴观察吸嘴位置，以确定吸嘴已装正确观察此数据，确保X:0.001-0.005之间☻校准吸嘴先打开Specialkeyon,按AutoA44☻更换Saw程序退到主菜单后选择F3(程序目录）选择需要更换的程序后，按F10确认☻更换Saw程序退到主菜单后选择F3(程序目录）选择需要45进行刀片测高请根据换刀程序步骤进行刀片测高进行刀片测高请根据换刀程序步骤进行刀片测高46☻最后确认以上步骤做完后，请按以下几点进行最后确认1：让操作员把相对应的产品放入机器。2：由技术员检查第一片产品的：刀痕确认，Vision，和摆放位置。并让R/L操作员确认产品质量☻最后确认以上步骤做完后，请按以下几点进行最后确认47第六章VISION第六章VISION48BGAHanmiSSSvision操作在HanmiSSS机器系统里,已存储了原始的vision检查程序C：\DB\TeachData.。根据不同的产品所做的程序也同时存在C:\Vision\DB\TeachData里.每次产品更换，除了更换相应的conversionkit外，必须根据不同的产品调用相关的程序。必须用无尘纸认真擦拭Dryblock,保证Dryblock的清洁.程序调用完毕，主程序中以红色字体显示当前运行程序，其已和Vision检查程序完成自动连接。（见图1）BGAHanmiSSSvision操作在Hanmi49检查Vision端程序状态，若在DatabaseIndex中和主机相同的程序通道显示出来，则程序调用完成（见图2）。否则，重新在主机中调入一次，或关闭Vision程序，再重新启动

图2图1检查Vision端程序状态，图2图150第二步一般而言，程序调用完成，即可开始生产。存在C:\Vision\DB\TeachData里的Teach文件由PM或工程师完成并已优化。在跑第一条产品时，若发现白点X-Mark未挑干净,或很多Over-reject,操作员应通知当班负责技术员调整Teach光线或重做Teach第二步一般而言，程序调用完成，即可开始生产。存在C:\Vi51Ballteaching1.选择检查球的摄像头,(见图3),检查是否有切过的package放在加热板上,将检查摄像头移到加热板下可显示package内一次检查的区域。图3Ballteaching1.选择检查球的摄像头,(见图522.选择按钮live,以获得图像。（见图4）图42.选择按钮live,以获得图像。（见图4）533.选择通道“#1”，在“Light”中可调节主光和侧光的设定值，保持“CH1”设定为0。（见图5,图6.图7）图5图6CH1主光侧光3.选择通道“#1”，在“Light”中可调节主光和侧光的54图7图755光线的优化对vision的检测十分关键，优化程度可放大图象，通过快捷键“Ctrl+A”显示各位置的灰度值来判断。见下图推荐值。在主光和侧光的调节方面，建议先设定侧光为0，逐步调节主光，使灰度值在以下的推荐范围内。图8光线的优化对vision的检测十分关键，优化程度可放大图象56记住此主光设定值，在设定侧光时，可先使主光为0，逐步调节侧光，使灰度值在以下推荐范围内此后将两者组合，得到较佳的光线组合。图9图10记住此主光设定值，在设定侧光时，可先使主光为0，逐步调节侧574.选择通道“#2”，在“Light”中可调节“CH1”的设定值，保持主光和侧光的设定值设定为0，“CH1”中的设定值是否恰当，可在整片“Strip”内寻找有白点的区域，看在此灯光下，该白点是否清晰可见。见图12.图13.图114.选择通道“#2”，在“Light”中可调节“CH1”58图12图1259图13调节此处光的数值,使该白点是否清晰可见图13调节此处光的数值,使该白点是否清晰可见605.光线设定完毕，建议先退回到“SetupDBSheet”保存一次，防止灯光的设定因之后的“Teach”不成功而作废。图14图145.光线设定完毕，建议先退回到“SetupDBShe616.回到“Teach”界面将指针指在图象可视区域，右击鼠标，显示：图156.回到“Teach”界面将指针指在图象可视区域，右击鼠标627.选择ROIDragging，设定一次检查区域。8.画好一次检查区域，左击鼠标,确定检查区域。注意确定的区域必须和主机设定的值一致，此后在“SetupDBSheet”中显示的“Shot”值也是一样的。见图16图167.选择ROIDragging，设定一次检查区域。8.63此处设定值与下图一致此处设定值与下图一致64与上图设定相同与上图设定相同659.若ROI设定有误，可取消此次设定。10.确定检查区域后，点击“Teach”按扭。11.“Thresholdsetting”窗口会自动弹出，设定“X-Marklowvalue”and“X-Markhighvalue”。9.若ROI设定有误，可取消此次设定。10.确定检查66Vision检查白点的原理是：在灯光的照射下，黑白灰度等级由0~255，但统计计算无法区分计算所有灰度等级，所以设定了“Thresholdvalue”,高于“Thresholdvalue”的灰度点，即判定为白象素点，低于“Thresholdvalue”的灰度点，即判定为黑象素点。Vision检查白点的原理是：在灯光的照射下，黑白灰度等级67“X-Marklowvalue”是判定划伤缺陷的阀值，若设定的过低，package上的一些稍亮的区域就会被判为白点，造成Overreject。若设定的过高，则划伤形成的稍亮部分无法检查出来，划伤缺陷无法检测。最佳设定可根据以下推荐图象进行。<Lowvalue><Highvalue><Goodvalue>“X-Marklowvalue”是判定划伤缺陷的阀值，若68“X-Markhighvalue”是判定白点缺陷的阀值，拖动滑标，设定值以白点刚可以显示出来为准。该设定值和“SetupDBsheet”中“MaximumRejectMarkArea”配合使用，检出白点。“X-Markhighvalue”是判定白点缺陷的阀值，6912.“Thresholdsetting”设定完成后，Teaching区域若显示绿色，则表示teach成功，保存“SetupDBsheet”,即完成Teach工作。（见图25）若Teach失败，必须根据“Ballresult”的提示信息修改相关的设定值。12.“Thresholdsetting”设定完成后，T70常用的快捷键：“Ctrl+A”：显示各点色素值,辅助光线设定“Ctrl+D”打开DBsheet“Ctrl+E”执行Testrun“Ctrl+T”执行Teach“Ctrl+I”显示I/O控制界面“Ctrl+Alt+V”显示主机和visionPC之间的局域网通讯连接信息。“Ctrl+Alt+Shift+T”：显示“Thresholdvalue”设定滑标,用于设定辨别package边界分辨值。“Ctrl+Alt+Shift+R”：Ini设定值写入运行程序。常用的快捷键：“Ctrl+Alt+Shift+T”：显71SetupDBsheet内关键参数的含义及设定:SetupDBsheet内关键参数的含义及设定:72IPINRemove:Package一角的方向标志,亮度大,可能被误认为白点或Extraball。因此程序中定义了一个矩形区域，将这个区域屏蔽，即视而不见。矩形区域大小由此参数决定。PkgEdgethreshold:package放在加热板上，切割道露出的区域和package产生的黑白对比是辨认package边界的依据。黑白对比的原理和X-mark辨认原理一样。IPINRemove:Package一角的方向标志,73所以，由于加热板太脏，package边缘黑白对比度小，难于辨认出package边缘，会造成PKGAbsence的over-reject.或引发Missingball的over-reject。因为，系统程序中球的阵列是根据package边界计算得到，在辨认package边界后，计算得出理论上球的相对位置，若边界确认有误，则球的阵列就会出错（见图33）。这是必须保持加热板清洁的又一原因。图33所以，由于加热板太脏，package边缘黑白对比度小，难于74PkgEdgethreshold的设定原则：在Teach过程中，灯光设定完成后。通过快捷键“Ctrl+Alt+Shift+T”，显示出“Thresholdvalue”设定滑标（见图34）,通过调整滑标，使package边界清晰可见（见图35）。记下该值，进入到SetupDBsheet里修改PkgEdgethreshold为该值即可。可根据最终Teach的结果适当调整。在Teach过程中的lowlimitandhighlimit的设置显示窗口。即使teach成功,只表示程序已记录相关的package信息，不可能100%合适。所以,在观察白点的误判机率时，可在较小的上下范围内调整，而不必重新调整光线或重做teach。如发现一些白点漏检,可能是白点区域交暗，应将阀值减小一点。反之，如有太多的over-reject,可将阀值增大一点。当然，over-reject发生的原因还有package上有残留水滓，建议适当加长加热时间和空气清洁次数。还有Package的表面脏污，加强Saw机内的清洗。Illumination:显示的是在做Teach过程中设置的光线值。PkgEdgethreshold的设定原则：在Tea75MaximumRejectMarkArea:定义的是白点检查区域内的白点象素阀值。图38中蓝色区域为X-mark的检查区域，统计该区域内所有判定为白色的象素。比如设定值为3000，正常情况下，Goodunit在该区域内所有判定为白色的象素的总和小于3000，当有Ｘ-Mark时，判定为白色的象素的总和大于阀值3000，就可以被Vision检查出来，若实际上因为光线不好或白点太暗，有Ｘ-Mark时该区域内判定为白色的象素的总和仍然小于3000，比如为2900,Vision系统还是无法将其检查出来。在这种情况下，修改该设定值为2800,即可判别出来。当然，在Ini文件中改变蓝色区域的大小，使统计区域改变也可达到相同的效果。见下图MaximumRejectMarkArea:定义的是76半导体IC切割SSS培训教材ppt课件77X-mark白点Over-reject的情况：若发现很多好的Package被Over-reject，放大图像，看是否有水的残渍。因为其在灯光下显白色，使得蓝色区域内的白色像素点总和已高于X-mark的阀值，造成Over-reject。此情况下，增大阀值，可解决。但是，同时又有可能将一些色泽较暗的白点漏检。所以，调整加热时间和清洁喷嘴的吹气次数，保持喷嘴和加热板真空孔的通畅，尽可能干燥package是最根本的办法。X-mark白点Over-reject的情况：若发现很多78第七章常见问题,电路图和机械原理第七章常见问题,电路图和机械原理79

Hanmi机器常见的问题—3PointAlignmentUnit在Tray上面摆放不好（针对做“三点”调试后仍不能解决摆放问题的情况），判断方法：检查吸嘴是否干净，用酒精及无尘纸清洁；VisionsetupMarkLive检查光线是否合适：正常：最佳光线应该是使吸嘴看起来呈现出白色正方块，这一点对“三点”调试非常重要；检查X1,X2上的吸嘴是否完好无损，如有损坏，应立即更换。请使用相同类型的吸嘴；

Hanmi机器常见的问题—3PointAlign80如果上面三个步骤仍然不能解决问题，请检查吸嘴相对于Tray盘的高度是否合适。简易测高方法——手动测试Z1-1打在Tray上面的高度：Motorsetup3pointsetupZ1value分别手动测量a,b,c,d点的高度，记录Z1高度，得到四个数据，选取其中最小的数值然后减去0.1-0.5之间的数值，即为Z1-1在GoodTray上面的高度值。若四个数据比较接近，则减去0.1-0.2之间的数值。然后依次按照上面的方法测试:

Z2-1

--〉GoodTray

Z1-1

--〉ReworkTray

Z2-1

--〉ReworkTrayabdc

Hanmi机器常见的问题—3PointAlignmentMotorsetup

Z1-1的Vacuumofffromdown(offset)position1.0?ZPickervacuumoffconfirmtime(DevicesetupDeviceParameter)对于6X6以下的产品，此值设置为小于15，对于3X3的产品设置为0对于较大的产品，一般设置为30如果上面三个步骤仍然不能解决问题，请检查吸嘴相对于Tray盘81控制信号流程马达控制板位置感应器汽缸电磁阀信号接口输入板信号接口输出板Plc逻辑控制储存器Cpu控制中心马达解码器步进马达伺服马达马达驱动器HomesensorLimitsensorHomesensorLimitsensor控制信号流程马达控制板位置感应器汽缸电磁阀信号接口输入板信号82Wash/dry传动装置滑动套筒4滑动套筒3滑动套筒2滑动套筒1导杆2导杆1传动链条传动齿轮2传动齿轮1支撑轴承4支撑轴承3支撑轴承2支撑轴承1联轴器马达变速器Wash/dry马达传动杆2传动杆1联动滑块Wash/dry传动装置滑动套筒4滑动套筒3滑动套筒2滑动83Wash/dry控制图加热泵控制信号水泵控制信号风刀x4清洗喷嘴x4吹风泵高压清洗水动力水电流断路保护器延时继电器直流继电器1电磁阀压缩空气交流继电器1加热棒高压水泵总电源交流继电器2直流继电器2压缩空气控制盒Wash/dry控制图加热泵控制信号水泵控制信号风刀x4清84V2真空流程图RejectarmheadGoodarmhead吸嘴x8真空阀x8压缩空气电磁阀Arm1rightheadArm1lefthead真空储气罐出风口进风口V2真空泵真空泵控制信号交流继电器总电源进风口出风口压缩空气交流继电器V2吹风泵吹风泵控制信号管道Wash/dry风刀管道控制信号机械控制信号气缸Rejectunit信号电磁阀V2真空流程图RejectarmheadGoodar85SAW真空流程图真空泵马达联轴器真空泵储气罐电磁阀角度马达基座电源冷却水进水口流量计

电磁阀流量感应器220v电压储水箱冷却水排水口真空感应器真空指示表24v电源WorkvacuumsensorJigvacuumsensor真空发生器压缩空气工作台底座工作台橡胶垫来料工件SAW真空流程图真空泵马达联轴器真空泵储气罐电磁阀角度马86球压伤故障分析检查rejectboat;rejectarm;rejecttray的位置Rejecttray中有球压伤的现象检查Goodtray中是否有球压伤的现象检查X-Ytablecarrier上的units是否有压伤的情况检查吸嘴x8的高度是否一致，相对于table;orientator;goodboat的位置和高度检查flipper翻转前是否有压伤的情况检查flipper的水平；flippertable上的异物;clamperpin的磨损;

检查物料在chucktable上的定位是否正确检查arm1righthead相对于chucktable的位置，arm1righthead相对于flipper的位置检查arm1lefthead相对于chucktable的位置检查arm1lefthead相对于leadin的位置检查物料相对于leadin的位置无有有有有无无无马达位置参数旋转的角度上下的高度前后的位置左右的位置活动范围的线平行装配的角度机械位置参数面平行位置参数前后的位置部件传动时相互之间的配合球压伤故障分析检查rejectboat;rejecta87散units的故障分析检查wash/dry之前units在carrier的定位是否良好检查flipper翻转前units在carrier的定位是否良好换向器处报警频繁X-ytable中的units是否散掉Rejecttray中的units散掉Goodtray中的units散掉Units散掉的故障检查nozzle;rejectboat;rejectarm;rejecttray的相互配合位置检查nozzle;goodtray;goodarm;goodboat的相互配合位置检查nozzle;x-ytable;orientator的相互配合位置检查wash/dry的传动是否平稳，加热棒的温度设定是否太高，Arm2righthead的相对位置，retainer与carrier分开时的相对位置检查flipperclamp,flipper,flippertable的动作是否正常，翻转中carrier,units,retainer之间是否有松动的情况检查units被吸起后在arm1righthead的位置是否正常检查arm1righthead相对于flipper的位置是否正常检查substrater在chucktable的位置是否正常检查arm1righthead相对于chucktable的位置是否正常检查arm1lefthead相对于chucktable的位置是否正常检查arm1lefthead相对于leadin的位置是否正常检查substrater相对于leadin的位置是否正常无有否是是否是是否否是是散units的故障分析检查wash/dry之前units88V2机械传动流程UnitinturretnozzleUnitsretainerinx-ytableUnitsinx-ytableUnitsinarm2rightheadUnitsinarm2leftheadUnitsinwash/dryblockUnitsinflippertableccwUnitsinflippertablecwUnitsinarm1rightheadUnitsinchucktableSubstrateinchucktableSubstrateinarm1leftheadSubstrateinlead-inpositionSubstrateinmagazineUnitinorientatorUnitinrejectboatUnitinrejectarmUnitinrejecttrayUnitingoodboatUnitingoodarmUnitingoodtrayTrayinmachineUnitinvisioncheckV2机械传动流程Unitinturretnozzle89V2vision接线图CAMERAPLCHUBVISIONPCUIPC网线网线通讯线通讯线视频信号24v电源线触发信号V2vision接线图CAMERAPLCHUBVIS90Hanmi位置故障判断MarkingCamera显示units位置是否正常，Packagepicker1,2；turntable1,2；Z-picker的真空表显示是否正常IntelCamera显示substrate的位置是否正常，Substrate在chucktable的位置是否正常。BallCamera显示units位置是否正常,Unitpicker的真空表显示是否正常检查substrate进料时的高低位置检查substrate在lead-in的前后位置检查substrate在lead-in的左右位置检查strippicker和它的定位针是否损坏检查substrate在lead-in的活动范围检查strippicker和saw的A点位置检查unitpicker与dryblock的配合位置检查unitpicker与Saw的B电位置检查DryBlock的定位和真空密封情况检查unitpicker的橡胶垫是否损坏检查packagepicker与turntable1，2的位置检查packagepicker的橡胶垫是否损坏检查turntable与底座的真空密封情况检查Z-picker的脏堵,橡胶嘴的清洁和破损情况检查Z-picker的三点校准检查Z-picker与turntable;good/rejectfeeder高度是否正常Hanmi位置故障判断MarkingCamera显示un91常见问题汇总常见问题汇总92刀切偏影响的方面有哪些法兰冷却水残渣PR真空镜头刀架程序还能想到哪些？刀切偏影响的方面有哪些法兰93能影响PR的几个要素是什么镜头位置灯光框格大小……还能想到哪些？能影响PR的几个要素是什么镜头94那些相关的部件能影响真空水泵水管电磁阀来料……还能想到哪些？那些相关的部件能影响真空水泵95切割水或水压和那些部件有关

漏水

泵管子电磁阀调节阀水帘残渣堵塞还能想到哪些？切割水或水压和那些部件有关

漏水

泵96程序你都知道哪些？列出你所知道的参数：

程序你都知道哪些？列出你所知道的参数：97以下问题你知道吗?以下问题你知道吗?98SAW机的真空产生原理及正常值的确立标准安全门的问题VISION的作用和使用规定.整个机器的电压标准值和相应的安全措施.DRY/BLOCK传动的工作原理.关于机器信号线和电源线的连接标准及整理.工具的保管和使用问题机器后面的换向器的功能使用和SKIP的可能性切割水,压缩空气的总阀开关的位置和标准数值.测高原理SAW机的真空产生原理及正常值的确立标准99压缩泵,真空泵的结构原理和控制原理V2做程序VISION做程序如何准确判断马达的好坏机器上的显示表(感应器的调整)V2SAW机的信号流程V2SAW机侧面的电路板控制哪些东西?HANMI机器的水压不足该怎么查找?HANMI怎样重新做VISION继电器的控制原理?压缩泵,真空泵的结构原理和控制原理100真空泵的工作原理?TURRET的调节原理?(怎样确定机械的零点位置和马达的零点位置)VISION的TECH,怎样重新做一个程序?SAW的PR(怎样做好SAW机的PR)UNITS的压伤问题怎么解决?从哪些方面来检查?加热棒和清洗马达的控制原理?I/O通讯接口马达的异常走动马达不工作V2做程序真空泵的工作原理?101V2/HANMIVISION有哪些重要的参数需要更改的?HANMI和VISION连接不上的原因?HANMI的PICKER吸不起UNITS的调整方法和顺序(确定位置的标准)HANMI马达复位不正常SAW机和HANDLE的连接(DAD641

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V2;EAD6340

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HANMI)做三点校准时,MARKING镜头的灯光特别亮,吸嘴不去检查的故障?怎样重新做一个HANDLE的程序?测高不能通过的原因有哪些?如何区别马达和驱动器的损坏故障?如何调整PR水平校准时两点的移动距离?V2/HANMIVISION有哪些重要的参数需要更改的?102UNITS烘不干怎样解决TURRET的高度如何调节?REJECTBOOT的位置如何调节?SAW机的真空不够,如何解决?接线端子如何接线?测高测过后,在做刀痕校准时却切不出刀痕的原因?CHUCKTABLE吸不住料的原因和解决办法?JIG的校准机器各个部件的位置调整的基准和顺序?SAW机有时会报XY角度错误,怎么解决?V2VISION电脑的连接线有哪些?怎样连接的?ALARM:VISIONINSPECTIONSNAPFAILED/TIMEOUTDURINGCOMMUNICATIONBETWEENPLCANDVISIONPC怎么解决?UNITS烘不干怎样解决103ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WORK)POS(1)/FLIPTABLECCWSENSORNOTON(OXD0310)/FLIPTABLECW/CCWSENSORINVERED(OXD0311OXD0310)/SENSORERROR怎么解决?WASH洗完后,ARM2抓不起CARRIER是什么原因造成的.ALARM:ARM1RIGHTHEADZ-AXISPOSITIONLIMITHITS(OXD0604)的原因是什么,该怎么解决?复位之后,GOODBOOT不能到位CARRIER上残留有许多的UNITS的原因换向器总是报警是什么原因?进料不顺畅的原因有哪些?SAW机复位完成后与之前的位置有很大的角度偏差水泵的水打开和关闭的时序,正常时的状态是?HANMI的VISION光线是怎样调整的?ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WO104检修的步骤和方法确定标准------

寻找问题-------

顺藤摸瓜(线索)-------

判断排除--------

解决问题.问题处理的原则:记录故障的初始状态和处理过程避免故障的进一步扩大培训的目的:缩短维修时间,节省备件成本.位置标准的确立:马达的位置是建立在机械位置之上的.思维方式:根据工作的实际需要来确定机器需要满足的功能检修的步骤和方法确定标准------寻找问题------105EAD6340

废料收集时的注意事项废料箱不可有废料堆积装废料的抽屉下面不可有废料堆积，出水口必须保持通畅。检查积水槽，废料排出箱有没有漏水，有异常情况须记录并反映给技术员处理。EAD6340

废料收集时的注意事项废料箱不可有废料堆积106换刀后须确定的事项刀痕宽度和位置必须正确。切割工作台及周围不可堆积废料。前后水濂两旁两旁废料排泄通道不可堵塞，折缝中不可残留过多废料。机器后面的废料收集箱的顶部不可被废料堵塞。镜头的照明光圈和透镜外表面保持清洁换刀后须确定的事项刀痕宽度和位置必须正确。107DAD641

废料收集时的注意事项废料箱不可有废料堆积。装废料的抽屉下面不可有废料堆积，出水口必须保持通畅。左右水濂两旁废料排泄通道不可堵塞。检查积水槽，废料排出箱有没有漏水，有异常情况须记录并反映给其他技术员处理DAD641

废料收集时的注意事项废料箱不可有废料堆积。108非接触性测高时必须保证感应器的固定架周围不可堆积废料。感应器的感应面必须清洁。切割时感应面必须有水再清洗。调整该光纤放大器的动作应放在最后一步。当操作员不能做到上面要求的几点时请先PASS该报警，然后通知技术员进行测高工作。（Disco刀片，测高间隔：100m，刀具补偿：0.01mm/20m）非接触性测高时必须保证感应器的固定架周围不可堆积废料。109交接班时的注意事项清理废料的技术员必须在上班的第一时间清理废料。（先EAD6340后DAD641）交接班机器出现故障时，技术员可以处理的，由上一个班的技术员留下来处理。技术员不会处理的，有上一个班的技术员联系领班叫PM技术员来处理。交接班技术员必须第一时间了解机器的运行状况，保证产品质量不出现问题。对遇到的异常现象（产品质量缺陷，频繁的同一报警，故障停机，暂时未处理故障，异常响声，味道，漏水等）请依状态的轻重缓急区别对待，对不能处理的问题请及时联