特气管道施工与检查ppt

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特气管道施工与检查、特气概述一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体和特种气体两种。

大宗气体一般是指集中供给且用量较大的气体,涵盖制程用气如:2、、2、,以及非制程用气如:、2、2等。

特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰性气体等。

随着各种不同气体的特性,设计出不同的气体输送系统来满意各种不同制程设备的需求。

整理2二、特气的分类我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般根据使用时的特性分为五类:1、易燃性气体2、毒性气体3、腐蚀性气体4、惰性气体5、氧化性气体整理3三、特气管材介绍目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材料主要有不锈钢、特***龙、高密度聚乙烯、以及聚偏二***乙烯等。

其中在气体传输中一不锈钢管件的应用最为广泛,通常在全部与制程相关的制程气体的输送方面都要应用不锈钢管件。

不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件,尤其是一些剧毒易燃易爆的危急性气体。

所以不锈钢管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中要求最为严格。

整理4管材分类不锈钢管管材等级级电解抛光级-光辉退火级酸洗钝化一般对于级要求级的制程气体的输送,均要求采纳316材质的管材,对于一般非制程气体的输送采纳316材质的管材。

整理5四、干净管道安装之材料接收目的:主要确定管道在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合步骤:一、材料订购后在接收前最好能先到原厂抽检。

%做氮气测漏测试以及的测试。

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、真圆度、测试。

二、,在品保人员准许后才可拆箱,拆箱需特别当心以免伤到管材。

。

,同尺寸的管子会有不同的炉号,需依照炉号区分出来。

,移入前需在擦拭洁净整理6五、干净管道安装之材料检验目的:主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范。

步骤:一、材料在移入无尘室后预备取出10%做检验二、检验项目:1、外观检验:目测表面有无凹痕、刮伤,内表面有无缺陷、凹洞、刮伤、污点残余物。

2、粗糙度的检验:利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。

3、管壁厚度及外径的检验:利用光标卡尺做管外径和厚度的检验。

整理7六、干净管道安装之焊工验证——1目的:此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘焊接的人员,其焊接质量的认证并且可做日后管道追踪的管理。

步骤:一、将管子分成四:”~15,20~80,100~150,200以上。

二、从每个中选一种尺寸的管子做焊接认证,通过后在其范围内的尺寸均可施工,不行跨施工,除非通过各个的认证。

三、觉得认证的尺寸后焊接者需在限定的时间内完成焊接测试。

四、认证者先将几台焊接数据归零,焊接者需要自行重新调整数据和管内气体流量并且要会更改钨棒和调整钨棒的间距。

五、焊接者最终需完成三块试片,一块即管子直接焊接,两块即管对管,对接的试焊。

整理8六、干净管道安装之焊工验证——2六、完成的试片在试片上必需填写上炉号、日期、管子的尺寸、。

七、认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否,合格者才可施工,合格者需经10天后可再做认证。

八、整理出一份合格者名单,传到现场给人员,以掌控现场施工人员的施工质量。

整理9七、干净管道安装之焊道检验目的:此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避开日后的泄露或者腐蚀的危急。

步骤:一、焊道是否有氧化的现象二、焊道是否渗透完全三、焊道是否弯曲偏移严峻14”~2”→10%,3”管以上→15%四、焊道是否穿孔五、焊道是否过度凹陷14”