红外吸收法测定硅单晶中氧和碳的测试方法与工艺课件

时间反复无常，鼓着翅膀飞逝红外吸收法测定硅单晶中氧和碳的测试方法与工艺红外吸收法测定硅单晶中氧和碳的测试方法与工艺时间反复无常，鼓着翅膀飞逝红外吸收法测定硅单晶中氧和碳的测试方法与工艺硅单晶中氧、碳的分布情况÷1、氧:在硅单晶中,以间隙氧的形式存在(1)硅中氧的含量直拉单晶硅:4×1017~3×1018原子/cm3多晶硅:1016~1017原子cm3令(2)最大溶解度熔硅:2.2×1018原子cm3固体硅:2.75×1018原子/cm3÷(3)分布:硅单晶中的氧,由于分凝作用在晶体中呈条纹状分布,头部高,尾部低。冷(4)间隙氧对硅单晶结构和性能产生的影响1)可以增加硅片的机械强度,避免弯曲和翘曲等变形2)形成热施主,会改变器件的电阻率和反向击穿电压,形成堆垛层错和漩涡缺陷3)形成氧沉淀,产生位错、堆垛层错等缺陷。÷2、碳:在硅单晶中,一间隙氧的形式存在(1)单晶硅中氧碳的含量:1016~1017原子cm3(2)最大溶解度:熔硅:3~4×1018原子cm3固体硅:55×1017原子cm3分组分解法是因式分解的一种重要方法，它是提取公因式以及公式法分解因式的综合运用，需要经过一次分组、两次分解才能完成。其中，合理分组既是基础，又是关键，需要认真观察，瞻前顾后，具有一定的预见性。科学设计引入，才能体现分组分解法发生的过程，又能够感悟分组分解法的步骤。我设计了如下的引入：一、引入的设计（一）尝试分解下列因式：①ax-bx；②x2-y2；③a（x+y）+b（x+y）；④2（y-x）2-x（x-y）；⑤am+an+bm+bn。（二）思考1.（a+b）（m+n）=m（a+b）+n（a+b）=（am+bm）+（an+bn）=am+an+bm+bn①从左到右做了什么运算？每一步的运算依据是什么？②这个式子从右到左，写做：am+an+bm+bn=（am+bm）+（an+bn）=m（a+b）+n（a+b）=（a+b）（m+n）从左到右做了什么运算？它是通过哪些步骤实现的？（第一步作了什么？分成这样（am+bn）+（am+bm）行吗？为什么？第二步作了什么？分组要具备什么条件？第三步做了什么？）2.以上过程，是怎样实现了因式分解？把一个多项式，经过一次分组，两次分解，达到了因式分解的目的，这种方法，称之为分组分解法。3，尝试分解。①a+b+ax+bx=②a2+2ab+b2ζc2=如何分组？你能找出几种方法？这几种方法有什么异同？4.据此，请你归纳分组分解法的要点：首先合理分组（至少保证有一组组内能进行分解），其次组内（一组或两组）分解，最后组间能进行分解。一次分组是基础，两次分解是目标。5.分解：两种类型的题目同时练习。二、反思（一）成功的地方1、重新安排教材内容。教材将分组分解分为分组后提取公因式与公式法两类，分别在两课时进行讲授，其实，这两类的关键或基础是合理分组。因此，我抓住这个关键，摈弃依类型安排教学内容的做法，按照整体教学实验的成果，第一课时理解分组分解法的基本思路和步骤，并进行基本的练习，第二课时进行巩固深化练习。2、科学设计新课引入。整式乘法和因式分解有着紧密的联系，多项式乘法运算的逆过程是因式分解方法的源头，抓住这一点，可以得出因式分解的各种方法及步骤。分组分解法的引入，从这里引入较为妥当。3、引导探索归纳总结。首先通过变式练习，学生自己尝试，自然进入情景。接着引导学生自己分析解决，总结规律、得出结论。较为充分地体现学生为主体、教师为主导、师生共同参与的教学理念。4、关注思维素质提升。由于多项式的不同，分组的方法也不同，具体问题需要具体分析。如果依照教材按两种类型需要两两分组或三一分组分别教学，学生练习也无需深入思考，只是简单模仿、机械训练，就失去了提升思维的契机。现在这样安排教学，就避免了这些弊端，便于学生积极思考，更好地发挥学习的主动性。（二）商榷的地方上述设计，自然地展现了分组分解法名称的由来、解法步骤及其要求，应该说是一个较好的设计。但在具体教学过程中，特别是分组分解法的步骤的得出，需要把握教师引导与学生探究的适度结合，不可偏废。没有必要的引导，探索可能陷入沼泽，引导过多，探索成为虚设。能否再放开一些？值得进一步在教学实践中结合学情研究解决。评析：这篇《因式分解一分组分解法引入教学设计的反思》篇幅虽然短小，但反映了数学教学的许多方面，值得认真研读。首先，俗话说：“良好的开端是成功的一半。”数学教学能够科学引入新课就是良好的开端。这篇引入设计新颖独特，引导学生积极探索，自然得出分组分解法的名称、解法步骤及其要求；运用整体教改实验的成果，深入研究教材内容，进行科学处理安排；准确地抓住知识生长点进行教学设计，突显知识发生发展的过程，避免数学练习的机械模仿，着眼学生思维素质的提升。事实上，对于四项多项式，分别需要两两分组或三一分组，并非本质所在。对于一个能用分组分解法分解的多项式，关键在于分组后能进行两次分解，这个多项式也不一定是四项式，特殊的二次三项式、二元二次齐次式（可用十字相乘法分解，需要拆项）、二元五次式也可以用分组分解法分解，第二课时可安排一些相应题目让学生练习（如，用分组分解法分解：x2-2xy+y2；x2-2xy+y2+x-y），进而加深对分组分解法的理解，沟通这些分解方法之间的联系。反思中谈到几点认识，也是十分深刻的。最后，我们感到，贯彻课标精神，要有强烈的改革意识、坚韧的钻研精神、务实的教学风格。我们期待许老师以及更多的老师，能够设计出更多更好的新课引入。在当今市场经济不断发展和完善的新时期，高校学生的管理工作又被摆在了一个突出的位置上。对于高校学生的管理来说，应当要不断创新管理方法，并能够根据高校学生心理规律以及相关的身心发展特点采取合适的心理管理方法，从而促进高校学生管理工作不断取得新进展。一、关于高校学生管理的这几种心理学理论（一）强化理论强化理论认为人为了实现一定的目的都会采取必要的行为，而且所采取的这种行为将会在环境中发挥作用。当这种行为产生对自身有利的结果或影响后，就会重复出现这种行为。反之，这种行为就会逐渐减弱甚至消失。其实在现实生活中，很多大学生都比较渴望成功，也非常期待能够获得别人的赞同。学校应当制定规则明确的奖励措施和制度规范，实行精神鼓励与物质奖励相结合的办法鼓励学生努力学习科学知识，从而让学生在取得一定的成绩后能够得到教师的肯定和认可，并同时积极强化这种行为。这种方法有助于不断提高学生的积极性和学习动力。（二）期望理论通过期望理论可以帮助大学生更好地树立自己的期望目标，对于教师来说应当积极帮助学生分析学生每个人不同的能力和水平，从而对自己有一个比较正确的评价。对于高校学生一定要强化就业指导，从而帮助高校学生树立一个远大的理想和正确的择业观。通过不断积累有关就业的基础技能和知识，不断激发出高校学生的积极性。（三）人格理论对于高校来说，在当前形势下要能够正确运用人格理论来不断提高高校学生的管理水平。并且学会运用榜样的力量使学生管理的效果更加显著。首先要培养一支素质过硬、能力较强的辅导员队伍，这样会直接影响到学校的学风建设。尤其是在当今民主意识不断增强的形势下，辅导员更要不断完善自身的知识结构和能力水平。辅导员要能够运用心理学的有关知识强化学生的思想道德教育，从而促进学生的身心健康成长。二、对当今的高校学生强化管理工作应当遵循的几条心理学原则（一）满足学生的需要要通过组织各种各样的活动来不断满足学生的精神需求，适应学生的心理发展和变化。实际上，需求是个体在生活中所需要的事物在头脑当中的一种反映。马克斯曾经根据人类的发展规律将人类的需求分为了三个种类。其中最基本的是生存需求，再向上进步是发展需求，然后再进一步发展就变成了精神需求。对于当今的高校学生来讲，学校应当组织各种不同类型的活动来满足学生不同的心理需求，从而使高校学生能够不断从中发展自己的能力和个性。（二）心理平衡原则如果在高校学生中存在着一定程度的差异，教师应当通过采取奉献爱心、关心的方式使学生感受到心理平衡，从而有效避免出现学生情绪波动或过激的现象。在一般高校中学生之间都会存在成绩、角色、位置的差别。所以不同层次的学生会有不同的心理状态和心理感受。作为学生的管理者，应当要与学生建立良好的友谊和关系，与学生相互尊重，从而减少各种矛盾和摩擦。（三）信息沟通原则要实现这一点，就要将高校中学生与管理者的身份撇开，双方之间进行心灵的沟通，彼此之间互相交换意见和看法，从而能够更好的增强彼此之间的感情和相互了解，于此同时也有助于化解高校学生心中的不良心理和情绪。管理者与学生之间的信息沟通是双方共同参与的，其中一方接受信息，另一方传受信息。双方可就情感观点或心理变化相互交换意见，从而增强协调统一意识，这样可以更好地采取行动。其实对于心理管理来说这是一种动态化的管理模式，学生要与管理者进行相互交流和沟通，通过彼此之间的相互作用实现有效了解，从而能够更好地促进学生管理工作的开展。（四）具体情境原则由于当代大学生的心理受到多种因素的影响，因此不同学生的心理状况在平时表现出来的行为并不一样。对于学生的管理者应当要积极了解不同学生的心理特征，同时有针对性地开展管理工作。管理者要努力找出学生身上所存在的各种问题和心理活动，从而利用不同的方式去减轻学生心中的负面影响。最终促进学生学习效率的不断提高。三、结语对于当今的高校学生管理工作来说，由于时代在不断发生着变化，各种思想和观念在影响着学生，因此对学生的学习和生活产生了相当大的影响。我们学校中的管理者要积极利用管理心理学的有关知识去引导学生，帮助学生，减轻学生的心理负担，从而更好地促进学生管理工作的开展。硅单晶中氧、碳的分布情况÷1、氧:在硅单晶中,以间隙氧的形式存在(1)硅中氧的含量直拉单晶硅:4×1017~3×1018原子/cm3多晶硅:1016~1017原子cm3令(2)最大溶解度熔硅:2.2×1018原子cm3固体硅:2.75×1018原子/cm3÷(3)分布:硅单晶中的氧,由于分凝作用在晶体中呈条纹状分布,头部高,尾部低。冷(4)间隙氧对硅单晶结构和性能产生的影响1)可以增加硅片的机械强度,避免弯曲和翘曲等变形2)形成热施主,会改变器件的电阻率和反向击穿电压,形成堆垛层错和漩涡缺陷3)形成氧沉淀,产生位错、堆垛层错等缺陷。÷2、碳:在硅单晶中,一间隙氧的形式存在(1)单晶硅中氧碳的含量:1016~1017原子cm3(2)最大溶解度:熔硅:3~4×1018原子cm3固体硅:55×1017原子cm3(3)分布:硅单晶中的碳,由于分凝作用在晶体中呈条纹状分布,头部低,尾部高。(4)碳对硅单晶的影响1)碳以替位形式存在,使晶格发生畸变,是硅的生长条纹可能与碳的分布有关2)碳在硅单晶中成为杂质氧的成核点,促进氧的沉淀。3)导致晶体中堆垛层错、漩涡缺陷等的产生。降低器件的反向电压,增大漏电电流,降低器件的性能二、红外光谱法测单晶硅中氧、碳的含量1、硅中氧和碳的红外吸收光谱。如图所示5.6689I60KIX00图423K时嵌区硅的红外吸收光谱(1)氧吸收峰:1)波长为入1=8.3um(波数为1205cm-),此吸收波峰主要为分子对称伸缩振动产生的,吸收峰强度很小2)波长为入2=9um(波数为1105cm-),此吸收波峰主要为分子反对称伸缩振动产生的,吸收峰强度最大。冷3)波长为入3=19.4um(波数为515cm-),此吸收波峰主要为分子弯曲振动产生的,吸收峰强度较小。冷(2)碳吸收峰1)波长为入1=16.47m(波数为607.2cm-),此吸收波峰为基频峰,吸收峰强度较大冷2)波长为入2=8.2um(波数为1217cm-),此吸收波峰主要为倍频峰,吸收峰很小2、半导体与光学常数之间的关系半导体对不同波长的光或电磁辐射有不同的吸收性能,常用吸收系数a来描述这种吸收特性。a的大小与光的波长A有关,因而可以构成一个α~A的连续普带,即吸收光谱。如图所示,样品受到一束强度为0,分为三部分冷、k和,因此有今将上式除,可得I=R+K+TR、K、T分别为反射率、吸收率和透射率。在上图中的理想镜面,且两面平行的样品的情况下,考虑光在样品内部经多次反射,忽略干涉效应,透射光的强度G=Io(1-Re/1-R'e-adt因此有T=(1-R)e/1-Re吸收系数a定义为相当于波的能量经过1/a距离时减弱为1/e倍。因此α越大,光强度透射减弱越多,光的吸收性能越高令对于硅,R=30%,因此分析红外光谱,根据上式可以计算得到吸收系数a2、am和半峰宽Δv的求法用如下公式来求吸收系数amx比较麻烦,T=(1/1-Re一般用如下公式来求(m2令从吸收峰到零透射线的测量值冷l-从氧峰所对应的波数值横坐标的垂线与基线的交点到零透射线