碳化硅器件研发项目环境影响报告表

1西企科环境技术评价证书类别：乙级环评报告－2021评价证书编号：第3604号西安派瑞功率半导体变流技术股份特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发工程环境影响报告表柱〔严送审袜稿〕笋陕西痒企科潜环境痒技术凤有限推公司迟二假设○徒一六瞎年菜十一豆月馆三愿十日这建设稀工程脊环境角影响脊报告肚表鼓项溪目血名通称：止特大剪功率始电力鲜半导筹体器估件性弹能产邮能提铃升竟筐州尝激束骨秀蹄肚疾醉蝶刺谢和日碳化卫硅器菜件研瞒发项散目击建设谢单位知(糖盖章建)虑：董西安箱派瑞岛功率遥半导辣体变第流技呼术股猪份有捷限公增司西编制驼日期阳：炮20屑16平年猾11四月后30没日亩国家锹环境晓保护怪总局头制1吧?建谋设项臭目环剑境影铸响报鸡告表寺?编秆制说显明网?建言设项葱目环卡境影业响报脉告表渔?由难具有格从事绞环境塞影响愤评价伐工作战资质料的单研位编嗽制。牛1允、项五目名秤称粱——游指项波目立袜项批绒复时气的名孔称，蓬应不凤超过圾30信个字午〔两娱个英昨文字普段作格一个箩汉字浊〕。拼2肃、建企设地检点餐——涉指项屯目所事在地良详细府地址提，公交路、蜘铁路羡应填室写起芹止地柴点。神3盾、行爪业类棚别贝——遵按国缺标填厦写。白4吹、总会投资旨——盯指项犯目投旦资总纠额。驱5豆、主惨要环见境保蜓护目在标程——购指项蚁目区骄周围辜一定负范围扛内集竹中居剥民住包宅区锁、学闲校、牛医院闯、保程护文士物、他风景定名胜鲁区、枯水源怪地和时生态慰敏感校点等肿，应太尽可疮能给隆出保脸护目减标、勤性质惊、规粉模和沈距厂昂界距苦离等重。隔6藏、结给论与趟建议尊——炒给出拨本项答目清臂洁生迎产、执达标给排放悄和总棍量控营制的搞分析读结论厦，确流定污弃染防组治措唉施的写有效然性，吨说明态本项病目对捉环境双造成蛋的影缩响，罗给出吧建设多工程庭环境香可行霸性的渴明确矿结论敏。同蛮时提搬出减讯少环洒境影延响的趴其他美建议不。众7娇、预双审意扁见屈——律由行承业主茎管部劳门填齐写答服复意庸见，各无主警管部他门项毒目，锣可不席填。随8吉、审佛批意尿见饼——更由负园责审足批该越工程谅的环连境保黄护行奖政主廊管部跑门批尖复。1饭工程事名称森：狐特大贴功率骗电力殖半导苹体器思件性夜能产嘱能提排升和恳碳化梅硅器扮件研育发项最目收文件许类型扛：奴环境江影响衫报告惹表深适用阿的评世价范膀围：朗一般朱工程看环境僚影响芽报告居表富法定要代表保人：蓬王晓谢平吐〔签脂章〕粥主持闻编制连机构廉：研陕西摇企科这环境奥技术带有限典公司午〔签述章〕时西安背派瑞谎功率拾半导犹体变丰流技戒术股娘份有阅限公辣司田特大握功率欧电力蝶半导床体器宝件性贷能产症能提骑升和着碳化祝硅器偷件研券发项筋目但环境区影响丙报告趣表编唤制人淡员名湖单表弦编制志主持沾人刮姓名为职〔索执〕腊业资歉格证霉书编闪号踏登记抖〔注乐册证使〕编悬号角专业馅类别丛本人室签名鲁韩烨像00呆01腔53底39冤B3条60佩40原28督10逗00堆社会保效劳颤主要兔编制壁人员挎情况俩序号庄姓名声职〔童执〕陷业资辅格证锋书编座号跳登记蒙〔注绣册证餐〕编别号茂编制己内容邀本人炉签名红1楚韩烨辜00枝01华53晓39怒B3遭60既40骄28岸10杠00俭工程馅根本农情况秘、评席价适马用标壤准、盘工程巩分析沙、自塞然环甩境社杨会环箱境简道况、加环境豪影响天分析估2乎李珊杰珊雅00寺01两53悬40扩B3至60挣4法02府70份30港0甲防治菌措施俘及预束期治葵理效蔽果、匹环境泰质量化状况劳、结调论及璃建议1戚建设尖工程啊根本划情况糟工程捉名称昨特大貌功率波电力逐半导究体器辈件性度能产觉能提犯升和魂碳化亏硅器洲件研略发项棉目贵建设筒单位云西安厌派瑞背功率氧半导项体变搏流技及术股恨份有忌限公雷司堪法人粱代表早陆剑逮秋芹联系种人忆耿涛蛛通讯圈地址冤西安挎市高引新区仰锦业破二路素13超号创联系煌填13飞89啊18鼠79瞎82脊5构冬02奋9-夺68给93销53牺36雾邮政扔编码揉71尽02就01益建设绳地点撇西安今市高娘新区攻锦业昌二路购13跌号哗立项迈审批冻部门道西安持高新室区创关新发盐展局列批准冰文号换西高种新创肃新发锯20锄16粱(2梁73灵)号谅建设南性质嫌新建扇□改想扩建枝□技得改保√党行业狂类别供及代吧码赔电力橡电子燥元器势件制竖造允〔嫩C3薄92貌4剥〕医占地宽面积数〔平萌方米菊〕墓40不00蔑绿化富面积唐〔平想方米凳〕投/泽总投依资铸〔万姻元〕状36群74倘2挨其中绑：环扒保投忧资和〔万残元〕期60犯环保治投资淘占稻比浙总投徐资比俊例友0.佣16个%颜评价阅经费仓〔万病元〕泥/盗预期拨投产枯日期扇20剑1烂8顿年蛇12车月饶工程娱内容叼及规眯模：发一、绣工程逐由来蛇西安冰派瑞拼功率炸半导腥体变欺流技凝术股赖份有潮限公毅司原侍为西级安电悔力电券子技彼术研维究所董，主贫要从斥事大模功率推电力楼半导皂体器迅件、材各类希新型渴电力玻电子永器件组、各轨种电宰力电促子应畏用装傻置、连检测陶技术筛和设映备、屯可靠偶性技栏术、闪冷却净技术班等综席合电写力电潮子技细术的将开发膊和生骆产的刺基地加，是饶我国柴著名宜的电扛力电矿子研购究开锅发中戚心、垃国家可工程购研究熔中心窜、国堪家电季力电程子产况品质距量监播督检经验中尤心以收及标咸准信域息中武心。捡20留10站年西夺电所经将全侵部科待研、鸭生产或整体呈化转体成立乌了西樱安派音瑞功隶率半牵导体渗变流烫技术统有限目公司错，坏20盖10牺年匪12蔬月通驶过了正?关蜜于成荡立西谜安派携瑞半背导体丙变流赖技术厦有限角公司挖的批澡复?桨〔陕垫科改集发文[2须01糕0]往15芳1划号〕义，货20咱15震年现12屿月取肿得了挎?企详业名慕称核档准变宜更通列知书蕉?〔衬〔西饰工商深〕名来称变线内核次字宴[2帮01窗5]苏第造00嗓28芦09希号〕涉，公件司名姜称变岂更为知西安捕派瑞已功率咐半导强体变追流技用术股满份有吼限公类司块。膏公司乔目前欢现有膊生产膀线年杜产普是通晶滨闸管嫌4贼万只阵，超由大功孩率聚5变英寸资晶闸太管爹0.忠2狠万只视，特段大功疮率半晨导体帆6饮英寸泳晶闸选管催0.摆5利万只丈。根附据公摔司的甩开展馋方向壳，为寸进一窝步提糖高阻族断电陵压和玩直流娘导通墨电流烘以及惑实现迫Si鸟C昌SB许D嫂和导MO县SF累ET犬的产澡业化孤，遮研制揪出拒60违0-逝10抗00辛0V伟/3馅0A述以上宏系列种Si嚷C孝SB星D姻二极逮管与朽MO差SF皇ET过器件田。并凶在此躬根底辅上研厘制东SI浑C任基水PI别N肿二极抽管、坟IG护BT表和晶染闸管种及其喝相关慌器件冲和技丘术，猛逐步渣实现三产业蜓化。奥通过希本项贫目的昌实施应，建稼立一怪个覆张盖晶粉闸管迁、生Si梁C堂器件依研制巴生产查基地园，将研派瑞朵公司宏打造启成为堡具有贴世界蓄一流嘉技术内水平仗的、漫能够帽提供欺完整否特大而功率佳电力炎半导慨体器而件产蹲品及法其应保用解刷决方验案的称供给牛商。武根据初?中画华人漂民共受和国室环境插影响软评价谷法?联、?轧建设启工程骆环境谁保护眠管理他条例沸?、刘?建拍设项专目环宫境影桑响评假设价分挑类管卡理名按录?假的有缴关规叨定，课以及喷西安赵市环括境保网护局暖高新凡分局济对工坟程环答境管团理的洁要求添，该亮建设目工程召应进亭行环业境影技响评祥价，浓编制乒环境轿影响子报告渴表。涌20兴16努年9跨月，伍西安阶派瑞掘功率局半导他体变棚流技搞术股守份有稀限公效司罪正式希委托胸陕西捞企科搁环境枪技术鹊有限如公司感承当座本项拐目环杨境影拳响评泻价工弟作，齐并编荡制建酒设项脑目环我境影辉响报窑告表况。接向受委确托后速，我咳公司胁组织嫩有关采技术第人员绍进行惨了现船场踏倦勘，醉收集笛了建特设项足目所烤在区付域的荐自然谱、社桥会、仆生态撑环境惑和人杂文环萌境资冈料。合在工捆程污躬染因绞素分帜析的皇根底坟上，态通过刘实地马监测鞠、类播比调烛查和锈资料坊收集呢，编充制了驶?恶特大镜功率扯电力倦半导报体器告件性集能产乔能提我升和保碳化独硅器颜件研钻发项点目板环境原影响讲报告滴表?喷。损二、狐工程很概况带1、缸建设跑地点砌特大蔬功率栗电力颠半导蹦体器稻件性初能产悟能提不升和复碳化喘硅器催件研私发项帅目盟建设伪地点虹位于犁西安艳市高陆新区珠锦业纳二路览13甜号西仗安派葱瑞功麦率半呈导体蔽变流讯技术稠股份塑有限机公司淡厂区笛原厂伴房内因。妹工程不北邻河特斯搏拉汽豪车销刘售服模务〔凉西安裳〕公彼司和深西安留沃恩午机床岩有限中公司头，南成临锦末业二衣路，批西临商丈八刻三路叉，东制邻霍吗尼维辱尔生纪命安波全集括团和智SE准W-猴传动盆设备她西安富公司惭。项冤目地挠理位胳置见拜附图堆1。帐2、回建设麦内容川及规拔模乎本项写目对朴现有她1#膝建筑赚晶闸画管工坑艺厂州房、港4#鸟建筑福化学翠品库斜、5梁#建炭筑动利力站刑进行元技术箩升级帽改造犁，不筑涉及穷土建拾工程碍。创1#续建筑奶晶闸趁管工童艺厂然房给位于罢厂区元中部堵，紧丝挨西渔厂界宋，北休侧为氏汽车暖库和计综合涨办公恢楼；咳4#仆建筑报化学耗品库明位于启1#男建筑强东侧疯靠北扫方向纠，东逼侧为邮空地趟；秀5#号建筑胁动力甩站旱位于缸1#病建筑胁东侧戴和聪4#纺建筑窗南侧屋，东制侧为零空地挤。本鼻工程焰四邻晓关系恨图见兔图1老。瑞工程搜分两节个阶秒段：禁第一绝阶段签通过棵技术饮升级唱改造袖使现孤有生馋产线洒工艺谅设备浊到达让特大栋功率观8英粗寸晶族闸管巾的顶鄙级配雄置，新向下胸兼容蹈现有京产品续，包盼括普西通晶朱闸管逼〔大您功率死整流号管、喷快速迎软恢锈复二斧级管尚、脉慧冲晶刷闸管良、快张速晶勤闸管暑〕、名直流重输电崖用超赏大功殖率5抢英寸回、6谣英寸辫晶闸搏管，感增加趁新产谈品的慧同时来，够提高聋原有寸产品潜的间性能俯与产啦能伪；第县二阶滔段是吨在详同时腥在晶真闸管爆生产领线的浪根底窄上，即研发豪IG恋CT拜(普杂通元页器件托)和本Si事C器谢件等呀高端升产品争〔完为成8帽英寸园芯片迷生产诞线的乡根底蝴上〕疫。弄本项宜目具该体建狠设内僵容及血规模池见表包1，蕉改造拍区布悟置图未见附岭图2扩。治图1伴会项叔目四次邻关秧系图录表1钟建设呢内容痰及规圆模建设位置建设内容建设规模1#建筑晶闸管工艺厂房一层纯水区增10t/h纯水处理系统与原系统实现并联运行改造工艺净化面积约为3600m2，动力面积约为280m2废水区进行局部改造，增加沉淀时间和距离，进一步提高对含氟废水的处理效果二层净化空调机组增加FFU〔风机过滤器装置〕数量，将FFU布置占比提高至80%，同时改造回风通道、铸铝镂空地板等，新增1台40000m3/h新风机组〔含变频控制柜〕热排风机组增加一台热排风机，形成1备1用，并增加相应的分支管路工艺真空机组增加1套工艺真空系统〔1备1用2台WS501罗茨干泵组，1个真空储气罐，管路、阀门等〕有机排风机组增加1套有机排风系统〔包括管路等〕酸碱排风系统工艺线排出酸碱到排酸风机之间，增加一级或几级小的酸碱中和箱工艺改造区增添工艺生产设备，配电、照明等生产辅助动力系统进行改造4#建筑化学品库氢气、氧气改造现有汇流排〔软连接改为弹簧硬管连接〕改造面积约为50m25#建筑动力站冷却循环水改造增加1台冷却塔，新增1套循环系统〔包括泵组、管道〕改造面积约为70m2液氮罐区进行改造增装200m3/h气化器1套(包括气化器、管路改造等〕，备用液氮罐10m3一个，增强氮气供给能力维本项础目总颠投资扫为3两67壶42工万元克，围用地典性质锁为工拉业用狡地，采土地狂文件热见附墓件沉1丢。主研要产宾品方奇案见捕表框2惠，项跑目新死增设的备见秩表乔3、立4您，项券目主趋要组弦成情胖况见篮表5孙。担表悲2络产品剂方案序号产品名称新增年产量〔万只〕备注1普通元器件2第一阶段2直流输电用超大功率5英寸晶闸管0.33直流输电用超大功率6英寸晶闸管14直流输电用特大功率8英寸晶闸管0.35碳化硅器件0.6第二阶段伶表谢3描第一金阶段眉工艺仇设备丽清单烈〔新伯增〕序号设备名用途描述设备型号数量〔台〕1高温离子注入机碳化硅或硅片掺杂IH－860DSIC12激光动态成像机实时电子版激光曝光ALDI-SLS138英寸3层扩散炉高温掺杂/548英寸双面曝光机规准曝光/358英寸单面曝光机精准曝光/26套刻测量仪光刻对准检查KLA510517PECVD结终端钝化/18LPCVD沉积膜THERMCO510419快速退火炉SHS2800离子注入退火SHS2800110涂胶显影轨道机匀胶显影MK-VZ211干法去胶机去除光刻胶MATTSONASPEN2ICP212箱式高真空退火炉掺杂或金属层退火/2138英寸腐蚀机湿法去胶、腐蚀/6148英寸清洗机硅片清洗/6158英寸甩干机清洗甩干SEMITOOLD800616电子束镀膜机电极制备/317扩展电阻测试仪扩散结果检测/118少子寿命分布测试仪少子寿命分布检测ELYMAT119台阶测试仪腐蚀轮廓测试DECTEK120IGCT静态态参数测试台IGCT动态参数测试/121IGCT动态参数测试台IGCT动态参数测试/1228英寸静态态参数测试台7英寸晶闸管参数测试/1238英寸动态参数测试台8英寸晶闸管参数测试/1248英寸浪涌电流测试台8英寸分立半导体器件/1258英寸冷焊机8英寸晶闸管封装/126电子扫描显微镜芯片微观检查S-4500127全自动硅片清洗机硅片清洗/528仿真设备和软件研发SIVACO129碳化硅工艺管芯片高温掺杂/10308英寸高温片蓝芯片加热酸洗/100318英寸碳化硅舟芯片高温掺杂/50328英寸源管高温预沉积/20338英寸舟高温扩散/50348英寸工装、模具等8英寸后道工艺/358英寸冷焊模具和测试卡具等8英寸封装测试/化表4丽第二闸阶段枪工艺在设备直清单漠〔新材增〕序号设备名用途描述设备型号数量(台)1溅射台(AL/TI)/VARIAN329012APCVDWJ999(BPSG)/WJ99913双面刷洗机/DNS60A14酸碱清洗台〔金属、无金属〕/国内定制26光刻机/NikonI1015OX刻蚀LAM4520/LAM452016刻蚀LAM4420/LAM442017金属刻蚀LAMTCP9600SE/LAMTCP9600SE18紫外线固胶PCU200POLO/PCU200POLO19立式淀积炉SVG7000/SVG7000110卧式炉BDF41〔栅氧〕/BDF41111卧式炉BDF41〔场氧〕/BDF41112卧式炉BDF41〔场氧〕/BDF41113卧式炉TMX9K〔回流〕/TMX9K114缺陷扫描电镜KLA2135/KLA2135115线宽扫描电镜H8840/H8840116膜厚仪UV1050/UV1050217颗粒仪SFS-6200/SFS-6200118显微镜OPSTATIONV/OPSTATIONV219膜厚椭偏仪OP2600/OP2600120B/P含量测量仪ECO1000/ECO1000121CP探针台&测试仪/EG2001&DTS1000222线宽扫描电镜KLA8100/KLA8100123CV测试仪/NA124SiC高温外延生长设备/VP508GFR125高温退火/Activator150-50，126碳膜溅射/ULVAC，SME－200127碳膜去除设备/ULVAC，NE-550128栅氧化高温氧化炉/129贴膜ADVANTEKTL/ADVANTEKTL130去膜TAKATORIATRM2100/TAKATORIATRM2100131贴膜ADVANTEKTL/ADVANTEKTL132去膜TAKATORIATRM2100/TAKATORIATRM2100133芯片参数测试系统/KEYSIGHTB1505A/B1506A134超声波清洗机//235超声波自动键合机//136键合拉力测试仪//137X-RAY检测仪//138真空枯燥箱//339激光打标机//140模块动、静态测试系统/定制141热阻测试仪/定制142浪涌测试仪/定制1侧表5受墙淋工程摔主要卡组成秀情况序号工程组成建设名称建设内容与原有工程的依托关系1主体工程净化空调机组增加FFU〔风机过滤器装置〕数量，将FFU布置占比提高至80%，同时改造回风通道、铸铝镂空地板等，新增1台40000m3/h新风机组〔含变频控制柜〕依托现有厂房及空调净化系统热排风机组增加一台热排风机机组，形成1备1用，增加相应的分支管路依托现有厂房与排气筒工艺真空机组增加1套工艺真空系统〔1备1用2台WS501罗茨干泵组，1个真空储气罐，管路、阀门等〕依托现有厂房工艺区改造增添工艺生产设备，配电、照明等生产辅助动力系统进行改造依托现有厂房及生产线,增加生产设备2辅助工程纯水区改造增10t/h纯水处理系统与原系统实现并联运行冷却循环水改造增加1台冷却塔，新增1套循环系统〔包括泵组、管道〕依托现有冷冻站3储运工程原料储存氢气、氧气改造现有汇流排〔软连接改为弹簧硬管连接〕依托现有工程液氮罐区进行改造增装200m3/h气化器1套(包括气化器、管路改造等〕，备用液氮罐10m3一个，增强氮气供给能力依托现有工程产品储存存放于成品库房依托现有工程4公用工程工程供水来自市政供水工程排水系统包括生产废水、生活污水、雨水排水系统。供电为市政供电工程办公区采用空调供暖依托现有工程5环保工程废水处理生产废水经厂区污水处理站处理后排入第二污水处理厂依托原有污水处理站，设施的处理能力为8.5m3/h生活污水经厂区现有化粪池处理后排入第二污水处理厂处理依托现有化粪池，现有规格为G3-6SF〔6m3〕的化粪池2座，水力停留时间为12小时，原有工程生活污水排放量约为16.4m3/d，现有工程新增排放量3.2m3/d，可以满足排放需求废气处理酸碱废气〔氯化氢、硫酸雾、氟化物、氨气〕经过酸碱中和箱反响后，碱性废气被中和去除，酸性废气经洗涤塔〔氢氧化钠〕处理达标后通过15m高排气筒排放依托现有处理装置及排气筒〔原有2套设备，1用1备〕有机废气〔非甲烷总烃〕经废气处理装置活性炭吸附塔处理达标后由15m高排气筒集中排放依托原有处理装置及排气筒，本次改造新增一套设施备用油烟废气经型号为LJPD-1-30000的油烟净化设施处理后达标排放利用现有职工食堂，餐饮规模满足本工程新增工作人员噪声控制选用低噪声设备，其次采用消声、隔声、减振等措施依托现有厂房、隔声窗固体废物处置生活垃圾由区环卫局统一运至城市生活垃圾处理场处理，废旧塑料和废包装材料等，由相关单位收集回收利用依托现在垃圾存放点危险废物废酸排入废水处理站酸碱中和池中和，产生的沉淀物与废有机溶剂委托西安高科环保技术集中处置〔委托协议见附件〕废有机溶剂用桶存储，大约1吨的时候开始清运真四、衡原辅特材料宾及能绞源消绕耗球本项感目主术要原偷材料繁为单咱晶硅楚片、扶钼园叔片、逝金属蛾陶瓷罚管等至，其停他辅具助材埋料主厨要为汁氮气呆、硫汁酸、籍盐酸戴、硝饼酸等扬。项凳目主靠要原卧辅材冈料及壁能源紧消耗劈情况岩见表滔6佛。在表识6辅戏工程房主要率原辅华材料燕及能魔源消糊耗编号物料名称规格〔固、液〕年用量采购来源备注1单晶硅片固态84000片德国/2钼园片固态168000片英国、奥地利等/3金属陶瓷管固态84000片德国、瑞士/4金刚砂颗粒状400公斤西安/5硅橡胶固态200公斤西安/6光刻胶〔危险化学品〕胶状150升北京/7异丙醇〔危险化学品〕液态180升天津99.5%8乙醇〔危险化学品〕液态150升天津99.7%9环己烷〔危险化学品〕液态0.80t西安99.5%10乙酸丁酯〔危险化学品〕液态1.00t西安99.0%11盐酸〔危险化学品〕液态14t西安36-38%12硝酸〔危险化学品〕液态14t西安65-68%13硫酸〔危险化学品〕液态7t西安95-98%14磷酸〔危险化学品〕液态3t西安85%15氢氟酸〔危险化学品〕液态2.00t西安40-50%16冰醋酸〔危险化学品〕液态2.00t西安99.5%17双氧水〔危险化学品〕液态2.00t西安30%18氨水〔危险化学品〕液态1.00t西安25-28%19氟化铵〔危险化学品〕固态0.50t西安/20氮气气态7000m3西安99.999%21氢气〔易燃易爆危险品〕气态200m3西安99.999%22氧气气态2000m3西安99.999%23机油液态15t西安/24包装材料---140t西安/25新鲜水液态1555.4市政管网/26电--176当地电网/稳五、芳公用硬工程责〔1龟〕给肤水学本项扩目给蒙水由息市政牛供水盟供给柿。困〔2店〕哪排水斗工程块采用薯雨污鹊分流旬的形搁式。瓦工程屡产生炼的废行水经础厂区猾污水弦处理妻站处代理后肾排入谣该区马域市年政污竹水管仓网，察最终条排入汉第二巨污水妙处理烧厂。键职工馋食堂迹废水化经隔行油池果处理俯后和恭生活痒污水缝一起拉排入裕化粪尤池处畜理，怎最终越排入骨第二桐污水裙处理焦厂时。双〔3冷〕窜供省电亲本项池目年钞用电沾量约井为1往76赵万k萄wh晋，由撤市政脾电网月供给京。勇〔4名〕供厨暖趁工程国办公拾区采庭用中庄央空扩调供独暖。扫六、承总平竖面布赌置息现有浑工程窝占地爷75草93桂7完m抢2益，型整个火厂区誉主要喉分为奉办公承区、葡生产惕区、被储存输区和敬公用忌工程谈。本较次工旅程只慕是进席行技不术改预造，答不新遥建厂标房。梢办公霸区位息于厂狭区北衰端，龄主生忠产车细间位盏于厂传区中界部布乡置，序从西毛到东倚分别续为晶请闸管妻工艺侍厂房含、化厕学品告库、瓶动力会站，百污水危处理圈站位炮于晶键闸管回工艺按厂房梳的北祥端悠。仔具体音厂房统总平篮面布搜置见回附图叉3凡。燃本项韵目对光现有疤1#枯建筑输晶闸医管工霜艺厂胀房、园4#诚建筑阿化学爹品库破、5蝶#建慢筑动讽力站判进行稻技术夸升级雹改造酷，涉昼及改船造面限积约拌40惜00绘m培2签，境其中仍1#诉建筑惯晶闸害管工她艺厂桑房预涉及谎改造坊工艺供净化葡面积驳约为有36蛋00凶m丑2幅，动渐力面灯积约拴为肺28致0m助2飞；资4#印建筑循化学阵品库抚涉及仔改造铅面积替约为救50质m争2非；掠5#京建筑堂动力地站座涉及谊改造盈面积征约为傻70结m粉2冠。促七、垒组织眨定员娃与生趣产制役度宅工程唤原有熔员工润38莲1人障，雹本次蜂新增势生产盛人员保50谁人，般企业翻实行地单班扔工作吴制，商年工咳作日竖22佣0天两，日静工时忽8小框时，中全年俱生产减17方60并h。韵八、恒工程握产业政政策恋符合程性分沾析息根据追?产小业结时构调纱整指劳导目炮录〔战20社11编年本悔〕?鼓〔2分01妙3年胡修管正南〕，铲本项楚目为名第一幕类，跌鼓励以类-黑二十魄八条醋-信此息产摘业-酒21河-新水型电藏子元铅器件于制造占，符瓣合国窄家产采业政掀策。砖九、云与相下关规旨划、输政策稠的符岔合性抵分析薯1、切建设帜工程蔽与西竞安市损总体口规划蚁的相丽容性嚼?西羊安市暴20喊08策-2桥02乐0年筝城市岔总体渠规划通?中笑指出偶，为安合理返分布聚生产望力和直形成老城镇酒体系或，有君利于弟资源炮开发惨、生坚产发歼展和胖生态疾平衡艘，促片进城愉镇建续设和件控制膊城市故人口钓的增嘉长，秩城市肤的布津局原财那么是蜜优化闸布局混结构正，完堂善城匆市功盐能；脉保护荡古城狂风貌浙，实杆施新喇旧分管治；脊降低拍中心略密度妹，发慰展外饿围新甘城；坛显山早露水详增绿捷，塑录造城沃市个愤性，刷城市许布局峰形态搂为九键宫格灰局，报棋盘蜡路网缘，轴树线突谁出，远一城尖多心距。壮主城州区将但形成括虚实框相当赤的小宏九宫裂格局半，中孝心为伏唐长详安城周，发全展成抵商贸毙旅游类效劳佳区；妖东部梨依托折现状脂开展相成国墙防军娱工产往业区当；东膜南部尼结合程曲江粉新城朴和杜为陵保柳护区欣，发皆展成子旅游戒生态敞度假逐区；陡南部唐为文御教科幻研区推；西怠南部饼拓展秆成高肆新技稼术产免业区武；西构部发阳展成行居住姥和无浩污染系产业酒的综佩合新鹅区；裕西北艰部为蝇汉城弃遗址裕保护膨区；谨北部洲形成多经济勇技术践产业掠区；旅东北嘉结合受浐灞闯河道尼整治江，建招设成谎高尚霉住宅搜、旅宣游生康态区鼻。虫本项挠目位着于西忙安市荒高新旬区，这工程位所在简地土摔地规部划性发质为坝工业青用地歪，其蒜建设双符合龄西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〔1.0〕ND〔1.0〕/L≤0.05汞ND〔1.0〕ND〔1.0〕ND〔1.0〕/L≤0.001铬(六价)ND(0.004)ND(0.004)ND(0.004)mg/L≤0.05总硬度98112108mg/L≤550铅ND(2.5)ND(2.5)ND(2.5)/L≤0.05氟化物0.5430.8770.818mg/L≤1.0镉ND(0.5)ND(0.5)ND(0.5)μg/L≤0.01铁ND〔0.1〕ND〔0.1〕ND〔0.1〕mg/L≤0.3锰ND〔0.1〕ND〔0.1〕ND〔0.1〕mg/L≤0.1溶解性总固体372413398mg/L/高锰酸盐指数3.63.23.8mg/L≤3.0总大肠菌群未检出2未检出个/L≤3.0细菌总数345277个/100mL≤100备注本次监测数据仅对本次采样点位所采集样品有效。环由上迁表知孟，颤监测气期间俗工程罚地上符游、至下游赔、项梅目排所在眠地的兽地下壮水屈监测默数据付均满煌足洋嘱厚而化巨瓦拉匠倚题纽多档效冶斤。鸟4、具废水矿20载16索年8毙月3吴0日税，西也安高慧新区阴中凯环环境握检测沟技术葡有限葬公司刚在项略目现家有工论程所猾在地庙污水投排放陆口对冈废水其进行疑了监冷测，非监测绝工程哑为p珍H、唉氟化吗物、磨化学债需氧内量、蹲氨氮猴，烟各监溪测一筛次，脉监测思结果溪见表什1恨3碰。监料测点折位见鼠监测辈报告猾〔美高环现监字油(水昨)2往01耗6怖—围HJ当—航32迷1屈〕。但表1虑3与工程抚废水熄监测钓结果碰表垃单位拢：m服g/愿L舟〔除始pH墓〕工程日期工程日期pH氟化物化学需氧量氨氮7.058.2214.41.35抬监测其结果葱说明确，回工程胸排水紫CO商D、井氟化叼物和脚氨氮竖满足贿满足洗DB禽61誉/2掏24晃-2纱01耕1?肯黄河泽流域墙〔陕装西段兔〕污狂水综免合排悟放标毅准?鸣二级靠排放耍标准剪，林pH午津满足扁GB炸89励78快-1侧99菌6?慌污水估综合裤排放纠标准赢?二累级标辫准要召求。脚主要敏环境毒保护茂目标曲(列满知名脊单及恨保护点级别哨)：犁本项凉目位谢于座西安燃高新稍区锦画业二孤路1顷3号已。丧表1暗4望主要免环境脱保护盾目标保护对象相对方位距厂界最近距离(m)保护内容保护目标逸翠园小区南侧60空气环境和声环境到达GB3095-2021?环境空气质量标准?中二级标准、GB12348-2021?声环境质量标准?中2类标准。西安好运来宾馆西侧60逸翠-尚府北区东侧160工程厂区所在地60m160m逸翠-尚府北区改造厂房好运来好远；中航工业科斯特汽车维修中心电科39所沃恩SEW霍尼维尔逸翠园小区60m工程厂区所在地60m160m逸翠-尚府北区改造厂房好运来好远；中航工业科斯特汽车维修中心电科39所沃恩SEW霍尼维尔逸翠园小区60m分图蚊2扣工程站四邻碍关系劳图促评价戚适用厉标准获环由境情质令量堤标躺准歇1、兵大气摩环境缠SO烫2钻、N警O愁2湖小时淋值、死24犬小时首均值愉，P沾M护10矮24认小时陶均值扰执行笛GB破30雨95塔－2懂01扫2?毙环境量空气耐质量模标准绒?二维级标喝准收，盟氯化猴氢、秘硫酸夹雾、慧氨气急、氟烘化物糕执行底TJ毙36商-7唯9?淹工业微企业句设计适卫生随标准逼?；寒2、帮声环近境执铺行G针B3燕09断6－倘20灾08局?声太环境窝质量芬标准她?2遵类标塑准；第3、央地下蛛水执允行G轻B/繁T1喂48莫48史-9筝3?舰地下搁水环谈境质冈量标视准?备Ⅲ类我标准傻。奥污呆染盼物善排仇放迅标它准查1、骨生产续废气卸执行驴?大收气污拒染物孔综合垂排放论标准垫?〔失GB企16伞29描7－肉19附96俭〕中挖的二蛋级标泽准及挽?恶迅臭污芹染物慨排放慨标准损?〔海GB堤14趋5勇54倡-9犬3〕拜表2舟中的汽相关缝要求祖；各2、漏职工拐餐厅耀油烟贼排放敢执行旱GB贼18梁48闷3-房20数01勿?饮原食业跟油烟旷排放芽标准沾〔试副行〕坟?里中型稻规模订标准拦；熟3、穗废水街排放蜂执行惑?黄对河流与域〔咸陕西罩段〕丈污水困综合晚排放革标准貌?〔剖DB尝61尘/2搏24抚-2赚01骡1〕条二级故标准央及?乱污水骨综合雀排放叨标准式?〔略GB牵89叔78类-1依99挠6〕患二级闸标准购。箩4、狠厂界功噪声膜执行壳?工拐业企猜业厂府界环文境噪英声排张放标传准?肯〔G伶B1晋23假设48惹－2卧00耳8〕前中2偿类标骗准。肿5、铃固体沿废物诵执行雀?一仪般工昆业废宇弃物轰贮存纹、处械置场喘污染脸控制堆标准纪?〔乎GB鸡18残59皂9-的20袭01样〕及叮其涌修改痛单咸的有闪关规街定。砌6、旋危险血废物逮贮存求污染建物控逐制执今行?军危险嘱废物云贮存游污染腿控制嘴标准给?〔颤GB员18动57贸9-读20孟01漠〕及蝇其荣修改愿单腥的相润应规残定。凡总隆量应控串制眨指如标庭按照帐?全坡国主最要污联染物督排放杏总量辟控制怜方案奏?，州本工沉程伪执行浪污染求物排愚放总卧量控诚制因荐子为差CO碑D防、氨命氮爱，其虏排放书总量哲控制沉指标书采用估本项妨目完伞成后塌治理祖后的侄实际停排放李量。剃表厦1筹5确总量爷控制快指标类别污染物名称本工程t/a控制指标污水COD0.0520.182氨氮0.0050.018另建设党工程懒工程寒分析电工艺司流程筐简述菠〔图宽示〕厌：氨水、氢氟酸、盐酸和纯水本钱项券目对现现有西1#醉建筑剩晶闸告管工油艺厂踢房、卡4#侧建筑凳化学尸品库赌、5罢#建缝筑动喝力站塔进行颜技术精升级停改造可，仅界购置之设备蚊进行尚安装灭，施胃工期竖影响爆较小闪；项卖目运院营期浇各产宴品的旺工艺换流程堵相似机，主尿要包怠括硅汪片腐晨蚀、计光刻乔、去谣胶、督扩散擦、刻泰蚀等命工艺敏，具骨体工呼艺流墓程及订产污跑环节谜见图腿3税。氨水、氢氟酸、盐酸和纯水硝酸、氢氟酸、冰乙酸和纯水偏1.贪产品也工艺妨流程阀图硝酸、氢氟酸、冰乙酸和纯水含氟废水、酸性废气、废酸含氟废水、酸性废气、氨气、废酸清洗硅片腐蚀含氟废水、酸性废气、废酸含氟废水、酸性废气、氨气、废酸清洗硅片腐蚀光刻胶、环氧乙烷、乙酸洁净车间光刻胶、环氧乙烷、乙酸洁净车间废水有机废气、废酸扩散一光刻一废水有机废气、废酸扩散一光刻一氢氟酸、氟化铵去胶腐蚀氢氟酸、氟化铵去胶腐蚀含氟废水、酸性废气氨气废水、硫酸雾废酸含氟废水、酸性废气氨气废水、硫酸雾废酸废水、废气废水、废气光刻二扩散二废水、废气废水、废气光刻二扩散二废水、废气废水、废气扩散三刻蚀废水、废气废水、废气扩散三刻蚀含氟废气蒸发光刻三含氟废气蒸发光刻三废水、有机废气合金外表废水、有机废气合金外表造型洁净车间废水、废气腐蚀洁净车间废水、废气腐蚀保护保护芯片测试芯片测试封装封装废包装材料包装出厂元件测试废包装材料包装出厂元件测试直图倦3泰工程留运营挨期生贞产工呈艺流哀程及碧产污禾环节嘉图亮工程勤生产惜工艺课流程嗓简介帖：受该项鞭目生制产工爽艺布鬼局主括要分搜为8对局部羞：硅碑片清登洗腐捷蚀区典、扩氏散区梯、光上刻区冷、蒸涉发合烘金区岗、表辱面造界型及皱保护裕区、抵芯片保测试杏区、虚封装修区、痰包装哀出厂躁区。目其中斧扩散蕉、光胳刻、阶蒸发腐合金卡、表票面造竖型及闹保护佛等主抖要工幻序均长处于五洁净潜厂房缺中。元〔1滔〕硅遮片腐论蚀：海主要刷是使欠用硝扮酸、剩氢氟逼酸、逗冰乙投酸和笛纯水首等对庸硅片嫁进行叉清洗僻和腐材蚀等剥外表遗处理辩；现〔2该〕清邀洗：荡清洗特主要丛使用凉氨水畏、氢徐氟酸壤、盐殖酸和疑纯水斧等进串行表烟面清吸洁处郊理；哈〔3巴〕扩名散：从主要归是进饲行高娃温掺妖杂制鹊造P亩N结翁，三膛次扩尊散掺奉杂各殖不相霞同；庙〔4迫〕光卡刻：兔主要供是制疫造图驶形，讽来形根成特光殊的驰电结枪构功寸能，左三次斑光刻好制造菊的图播形也渠不同仔。光洒刻主趣要使篮用光脊刻胶移、环框氧乙施烷、券乙酸踏等；雁〔5宁〕光似刻后假设腐蚀辞：采愚用氢即氟酸垂、氟筐化铵轮和纯晌水等慌；光南刻腐乌蚀后浩去胶乘采用桂硫酸局和纯耻水等歌；借〔6铲〕蒸诱发：申在硅凯片表挺面上饶镀一称层金昼属膜晓，合绘金后抱具有扶良好工的欧额姆接琴触。粮蒸发慕前清潮洁采跃用氢灭氟酸拍；央〔7熟〕表挠面造咐型：掏将硅堡片表拒面制硬造出言需要爱的形茫状，电通过躲腐蚀笨保护谁形成英具有输严格裕的电平压特速性芯薯片。把造型化过程席主要垒使用痰金刚均砂、苹丙酮塘和纯章水等似；合〔8钓〕最沸后进督行芯预片的档测试奶、封薪装和碧包装晨，即东为成怠品。制根据抄工艺诱流程旬要求芳，项究目每威道工哪序表何面处忽理所悄使用封的化薯学品灭全部两为单雀独密夫封槽抓存储图，定暮期补柳充。昌清洗绿采用候浸洗壮方式肿，对给于每尊种化扔学试饺剂槽录均按销试剂酬性质咱，单评独设办置抽榨风罩督；并间按照且挥发帅气体稻的酸离、碱招以及乘有机腹等性混质分愧别进穴行处促理。壮同时嘱要求斥工程肌所有扰使用宾的金迎刚砂面和研斤磨粉狱全部侍循环恼使用挑，生漠产使悠用各岔种酸取、碱符及有摔机溶刺剂也妈全部阶密闭冲循环柱使用叨，定恳期更刃换，气更换兄下来投的废满液全膏部单季独收贸集，性废酸至直接东进入尽酸碱防中和戒池中券和，丝产生甘的沉树淀物恒与废自有机脑溶剂悄均图密闭梳阴凉民存放旁，委搜托相昨关单夕位回翅收处务置。状2.岛碳线化硅宾〔S浑iC沃〕功妖率器猎件缺碳化象硅功糟率器垦件主厉要以寸研发伍为主邻，理刮论模桐拟为乱辅的车研究吃方法降和技狮术路投线。脾主要走研究登方案打和技铲术路仰线如泉图间4统、图翼5移所示昂。猎高温脉离子裤注入乓和高粘温退继火：瓣离子勒注入本的方晃法就冷是在羽真空品中、堂低温慈下，隶把杂禁质离翠子加钥速，念获得恋很大娃动能搁的杂证质离之子即酷可以崇直接如进入千半导群体材隔料中泄；同逃时也邪会在置半导均体中同产生狐一些范晶格抱缺陷仰，因恭此在君离子懒注入赠后需童用低被温进斜行退秧火或景激光稼退火免来消呼除这描些缺且陷。周钝化滋层的董形成撕：就混是在运半导掩体器筛件表渗面覆么盖保性护介裂质膜户，以承防止霉外表名污染漏。身研发草实验塘室以刘研发切为主级，主拣要污滑染物呀为员耳工的陈生活悔污水冰，其顶他均鸽不产炸污。拦图狐4党肥4H减-S黄iC哪S逢BD链器件迹研究活方案扶和技械术路脾线凝图远5削坊4H齐-S痛iC输M序OS险FE池T器丝件的翁研究叔方案裕和技折术路渠线趣主要苏污染踩工序载：呜施工弊期芳本项痛目使安用原蹈有厂损房进胖行技摆术升首级改模造，箩仅购骨置设慌备安仔装，船施工鉴期影张响较捞小。北1.直废水支主要福来源思于施举工人烧员生香活沫污指水，物主要组污染华因子崖是C迎OD价、B株OD枕5啦、S或S、怖氨氮肠。正2.到废气铲汽车势运输尾扬尘霉及尾具气。雁3.抖噪慈声雹设备煤安装象噪声兽。浇4.毙固苍体废惰弃烟物汇施工泻人员伐生活峡垃圾琴和废欺弃设绝备包疑装物邪。构营运甲期斩1.递废水身〔1鉴〕生弓产废泄水：肺主要巴由以级下三脖局部努组成拘。辞a.傅元器铅件等蔽外表此清洗点过程辱产生完的少逼量印废堪水撑，主缩要污建染物流为p谎H、捡CO竖D、堂氟化询物和颗氨氮六等；谷b.亭纯水字站产遍生的敬浓水垫，主尘要污夏染指沫标为饲SS轨；背c.摔废气慢处理抚产生怠的酸郑碱水悬，主榜要污孟染物软为p渴H、基CO植D、奔氟化塌物和勉氨氮袍等。驾〔2顺〕生艰活污谎水：耽职工跳生活纱产生终的污置水，词主要厅污染椅因子企为C挖OD你、S主S、近氨氮榜等。珍2.冻废气锻〔1锻〕生纷产废浇气：羽工程所生产隔过程覆中产终生的毅废气狐主要但有三叶类，茶分别接如下呀。薯a.槽表构面清退洗过仁程中郑产生毯的少炭量氯拢化氢术、氟画化物均和硫万酸雾定；王b.等表克面清抖洗过胃程中案产生棒的氨以气；普c.海表泰面处惹理过苏程中促产生带的有日机废非气非戏甲烷计总烃土。竞〔2羽〕职魄工食图堂产熄生的运油烟选废气义。遍3.均噪继声间工程停的主夹要噪仿声源土是夜风机辽、空梢调机丘组、忆冷却恰循环党泵和逼真空王泵等咱设备脂。掀4.缴位固体创废纵弃少物谱工程袍运行最后，凳固体筐废弃不物主抢要有玉：〔咏1〕慧废旧勤塑料踢和废胆包装英材料杀等；羞〔2阅〕废践腐蚀凶液、缸去胶倒液等做各类嘱废有趴机溶假剂和菌废酸滥；〔请3〕门污水碌处理捉站的扯生物椒炭；枣〔爷4区〕证废机民油；领〔5捏〕捞生活踪垃圾扣。

半工程胃主要格污染辆物产爱生及捆预计河排放齿情况方内容均类型班排放聪源肝〔编填号〕泳污染和物蚂名称欲浓度盆及产宣生量枕〔单炊位〕殃排放魄浓度姜及排且放量蓬〔单烦位〕蛮废水渴污染慌物蜂职工愚生活垫污水蔬和车食间生爱产废昆水掩CO董D区19嗽.2践0凭mg悲/m材3册0.肝07泰0期t/牢a贵14稠.4鬼mg划/m盒3踪0.抛05叔2t学/a曲氨氮晃2.浑37锹mg抽/m欧3漫烈0.备00均9汉t/锁a双1.卵35娱mg梳/m姑3智搅0.颂0驻05然t/绵a销氟化蔑物欧1恳3.贱7济mg迟/m蹲3佳妖却0.既05泊0万t/泼a取6.惠85美mg涉/m姑3贫愚忆0.挣0良25待t/跟a横SS剃12哥.5辩0怖mg宇/m渐3睛0.幅04忙5龙t/假设a踏5撞mg忧/m歪3贿0.似01倒8令t/晶a裹石油姑类投0.健16品mg婶/m征3剃兴0.均00严1单t/蝇a榴0.慈14膏mg咱/m粒3请保0.锁0诊01赠t/迎a烛动植绸物油棚0.岂53盲mg阀/m例3愧求安0.艇0均02我t/黎a雷0.旁21街mg换/m缠3礼坟中0.悟0架01消t/捐a蛙大躺气途污寿染映物少工艺重废气巾氨气椅93呀.0振mg勇/m纸3腐40估92莲kg疼/a煌4.脾65米mg凡/m锹3王20曲4.挽6惨kg隙/a短氟化预物煤92狸mg铁/m芽3井肯4乘04此8石kg摆/a蒸4.浙6界mg妻/m射3京攀2团02当.4贩kg历/a够氯化扬氢棍34阶.6畅mg柴/m涛3开笔1气52葡2.得4扑kg扔/a技1.衔73鞋mg刚/m症3卖济7黎6.顶12纠kg剑/a歇硫酸工雾语26右.2奇mg猜/m播3五该11胃52骆.8笋kg疑/a岸1.撒31千mg驶/m邮3特57蹦.6忙4吴kg翁/a尾非甲状烷总钢烃誉65您.0携mg奋/m敬3餐54扭3.纯4谱kg肢/a葬3.反2价5m忆g/吹m苹3壮27负.1栏7霸kg训/a灾食堂范废气舌油烟枕1.挡71怨mg户/m红3完2.雀23室kg羞/a著0.脸68珠mg谜/m斜3敏0.虹56们kg佣/a叠固述体目废翻物岁车间努废旧梅塑料预和废利包装石材料火7.阀5村t/幸a先7.烧5耽车间斗废有占机溶织剂扇3.狐0朗t/涝a副3.由0阶t宽/a称车间迷废酸禾1.规5致t层/a涝0.灭15瞒t/弦a中废水脂处理狐站鸣废生迷物炭望1.写3台t巡/a吐1.统3善t见/a拥车间陵废机钥油直0.怪0播1里t/牛a兆0.书0怠1糠t/飘a猫办公巾楼贯和食蔑堂梦生活脂垃圾挥5.仆97管t且/a米5.陆97扫t马/a退噪娃声视该项据目的某主要贪噪声免源是健风机车、空厨调机丸组、基冷却凳循环秒泵和葱真空酬泵等维设备赛，噪境声级浩均在仁85弃dB扮〔A炭〕以页下，泪噪声阿级不讲高。肢工程奸原辅论材料面、产贵品运疼输过持程中拣将产宽生搬口运、产车辆丹噪声旅，噪必声值赞在7命0～丹80零dB凶(A栏)。铃其哨他短无疼主要乔生态罗影响仿〔不藏够时民可加宽附页突〕瞒建设阻工程板用地定40雀00惹m羡2岗，其尼中生杆产车理间已缺建成打，仅拼需购蝴置设酸备后酿安装琴，兆依托沫已有荒绿化硬面积梅20趟00恰0m最2里，来本次死改造臂不会扔产生梢新的伙生态素影响廊。乔环境义影响烈分析序施工姥期环杯境影息响分垫析俘本项沟目使堵用原丽有厂拴房进放行技牌术升啦级改麦造，谋仅购召置设润备安世装，徒施工括期影远响较吨小。弓1.姥废水殖主要食来源沃于施寒工人差员生偶活鞭污义水，巴生活灶用水馒量按耕每人链每天守35壁L计舞，污好水排需放系衔数0今.8趟，施洪工人赞员按跑每日呢用工闹20敏人计抽算，世那么生慧活污袍水量徐最高包约0颠.5陆6m稻3执/d父，主国要污母染因专子是举CO赴D、才BO惭D弱5病、S运S、湿氨氮葵，排巾入厂温区粪兔池处氧理，执不会他对周轻围环泳境产筹生不罩利影溉响。勉2.岁废气洋汽车舟运输皮扬尘篮及尾收气。谦通过春对厂享区道衡路洒烈水等撇措施厅，蔬扬尘纷对周辰围环秒境空急气的崇影响双可以全接受塔。毁3.斧噪萍声岗设备捞安装梯噪声览。设批备的夹安装宿均在踢厂房洋内，晶在厂剪房的临隔音狱效果音下，