GB/T 12963-2022电子级多晶硅

ICS29045

CCSH.82

中华人民共和国国家标准

GB/T12963—2022

代替GB/T12963—2014

电子级多晶硅

Electronic-gradepolycrystallinesilicon

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T12963—2022

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子级多晶硅与相比除结构调整和编辑

GB/T12963—2014《》,GB/T12963—2014,

性改动外主要技术变化如下

,:

更改了适用范围见第章年版的第章

a)(1,20141);

更改了牌号要求见年版的

b)(4.1,20144.1.1);

更改了产品等级见年版的

c)(4.2,20144.1.2);

更改了不同等级电子级多晶硅的技术指标见年版的

d)(5.1,20144.2);

更改了结构要求见年版的

e)(5.3,20144.4);

更改了试验方法的内容见第章年版的第章

f)(6,20145);

更改了检验项目的要求见年版的

g)(7.3,20146.3);

更改了取样及制样的内容见年版的

h)(7.4.1,20146.4.1);

更改了氧含量的检验结果判定见年版的

i)(7.5.2,20146.5.1);

更改了标志的内容见年版的

j)(8.1,20147.1);

更改了随行文件的内容见年版的

k)(8.5,20147.5)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位江苏鑫华半导体科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司青

:、、

海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司江苏中能硅业科技发展有限公司有研半导体硅材料

、、

股份公司麦斯克电子材料股份有限公司亚洲硅业青海股份有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有

、、()、

限责任公司新特能源股份有限公司四川永祥新能源有限公司上海赛夫特半导体材料有限公司宜昌

、、、、

南玻硅材料有限公司浙江海纳半导体股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司东方电气乐山峨半

、、、()

高纯材料有限公司

。

本文件主要起草人田新蒋文武赵培芝万首正李素青秦榕王彬孙燕贺东江陈卫群宗冰

:、、、、、、、、、、、

徐岩邱艳梅李斌刘晓霞张遵付绪光董先君潘金平张园园雷聪

、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布年第一次修订年第二次修订年第三次修订本次为

1991,1996,2009,2014,

第四次修订

。

Ⅰ

GB/T12963—2022

电子级多晶硅

1范围

本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别技术要求试验方法检验规则标志包装运输贮存

、、、、、、、、

随行文件和订货单内容

。

本文件适用于以氯硅烷硅烷制得的电子级多晶硅以下简称多晶硅

、(“”)。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

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