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文档简介
原子力显微镜岛津SPM--95001.研究背景
2.AFM简介
3.AFM的基本原理
4.AFM主要构件及功能
5.AFM成像模式及特点
6.AFM的功能
原子力显微镜7.对样品的要求8.AFM操作流程9.注意事项10.AFM应用领域11.AFM在生命科学中的应用12.AFM应用前景1.研究背景以光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜为代表的一系列先进显微技术的出现与应用,为人类科技和社会进步做出了巨大贡献。1986年,IBM公司的G.Binning和斯坦福大学的C.F.Quate及C.Gerber合作发明的原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM)更为突出地显现了显微观测技术对人类的重要性,它是在扫描隧道显微镜基础上为观察非导电物质经改进而发展起来的分子和原子级显微工具。并以高分辨、制样简单、操作易行等特点在生命科学、材料科学等领域发挥了重大作用,推动了纳米科技的发展,促使人类进入了纳米时代。2.AFM简介原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM),是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定,另一端的微小针尖接近样品,这时它将与其相互作用,作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时,利用传感器检测这些变化,就可获得作用力分布信息,从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。
原子力显微镜SPM-9500
3.AFM的基本原理当样品在针尖下面扫描时,同距离密切相关的针尖-样品相互作用会引起微悬臂的形变,微悬臂的形变是对样品-针尖相互作用的直接反映。通过检测微悬臂产生的弹性形变量ΔZ,就可以根据微悬臂的弹性系数k和函数式F=k·ΔZ直接求出样品-针尖间相互作用F。再利用照射在悬臂尖端的激光束的反射接收来检测微悬臂的形变。由于光杠杆作用原理,即使小于0.01nm的微悬臂形变也可在光电检测器上产生10nm左右的激光点位移,由此产生的电压变化对应着微悬臂的形变量,通过一定的函数变换便可得到悬臂形变量的测量值。当样品在XY平面内扫描时(对某一点其坐标为[x,y])若保持样品在Z轴方向静止,且令探针的竖直初始位置为零,则可根据针尖-样品相互作用与间距的关系得到样品表面的高度变化信息Δh(x,y),即样品表面任意点(x,y)相对于初始位点的高度。对样品表面进行定域扫描便可得到此区域的表面形貌A=A(x,y,Δh(x,y))。4.AFM主要构件及功能(1)为反馈光路提供光源的激光系统(Laser);(2)进行力-距离反馈的微悬臂系统(Cantilever);(3)执行光栅扫描和Z轴定位的压电扫描器(x,y,zPiezo-scanner);(4)接收光反馈信号的光电探测器(Detector);(5)反馈电子线路(CurrentCircle);(6)粗略定位系统;(7)防震防噪声系统;(8)计算机控制系统与数据处理软件;(9)样品探测环境控制系统(湿控、温控、气环境控制等);(10)监控激光-悬臂-样品相对位置的显微及CCD摄像系统。其中,前四大系统是该仪器的核心部件。4.涉1激光彼系统激光疼器是红光反盾馈通坡路的烘信号糊源。败由于角悬臂躺尖端蠢的空迅间有疏限性良,就弱对照促射器述上的拔光束纳宽度崭提出吼了一轿定要从求:全足够芽细、劲单色逐性好览、发辅散程最度弱恼;同拾时也亩要求周光源倍的稳膜定性嘱高,室可持披续运朴行时乎间久剖,工居作寿筛命长需。污而激塞光正蛛是能傻够很天好地血满足习上述芽条件物的光陡源。4.倍2微悬厅臂系脆统微悬份臂是韵探测像样品劈燕的直协接工厅具,基它的锄属性陪直接嚼关系兰到仪骨器的匹精度佣和使鲁用范亚围。望微概悬臂港必须态有足腐够高衔的力武反应除能力送,这摘就要殃求悬容臂必哨须容贴易弯棵曲,恭也易治于复血位,粥具有悉合适孕的弹毒性系钩数,胞使得蹲零点陆几个虎纳(n欺N)甚至该更小唤的力这的变戴化都务可以牙被探美测到饱;同暴时也礼要求喊悬臂钳有足扒够高源的时墙间分饭辨能肉力,贿因而重要求至悬臂放的共颈振频的率应鹅该足慢够高丈,可踢以追丽随表玩面高它低起征伏的爸变化洋。根据徐上述宵两个甜要求佳,微柴悬臂懒的尺午寸必辟须在耻微米挖的范罢围,顿而位弦于微牛悬臂颈末端线的探针针则抽在10勉nm左右臂,而绝其上妻针尖掩的曲俱率半木径约识为30尾nm,悬倒臂的宣固有惕频率旧则必捉须高判于10吼kH招z。通雁常使悦用的房诚微悬诸臂材香料是Si3N4。其笛弹性晌系数k=治3伪=梨9.子57,其慌中E,尾I分别璃为杨轧氏模级量、图转动俊惯量依,L,帖m,宣f分别限是微搂悬臂佣的长怪度、箩质量好和共血振频啄率。选微悬胞臂的感劲度绳常数愁一般挨为4×捉--鞋2.徒0N谨/m。4.呼3压电传扫描模系统压电驰换能鱼器是均能将滑机械石作用速和电办讯号巡寿互相本转换聪的物环理器滩件。厘它不鲜仅能过够使投样品纷在XY扫描造平面倚内精萍确地霜移动书,也挺能灵仔敏地卸感受牛样品腥与探迫针间晕的作甜用,软同时盯亦能纠将反犬馈光锦路的坡电讯么号转惑换成邀机械茎位移毕,进科而灵取敏地带控制甩样品则和探傍针间霜的距电离(力),并卡记录莲因扫外描位燃置的昂改变航而引菊起的Z向伸婶缩量Δh躺(x路,y渔)。这刮样,朋就实垫现了轧对样期品的虑表面遣扫描室。常见础扫描漫器的某最小故分辨字率0.宿1n街m×她0.粒1n邻m×盼0.蓝01岸nm。4.劲4光电恭检测刊与反估馈系恐统目前AF梅M探测石悬臂态微形惧变的鸣主要胡方法甲:光束灰偏转透法用一凑束激怖光照端在微垄悬臂来的尖倡端,霉而用溜位置键灵敏科光检菊测器(P工SP视D)来接象收悬贴臂尖数端的颤反射匹激光腥束,怖并输浅出反目映反愉射光投位置息的信罢号。求由于乱悬臂柳的形商变会运引起天反射暴光束膝的偏踢移,闹导致糖反射笔光在PS搜PD上位畜置的洽变化点,进陈而产适生反凯应悬棋臂的科形变棉的电雾讯号飞,以封供调础节压嗽电扫心描器初的伸察缩控更制。5.哭AF援M成像俗模式伤及特郑点原子著力显涌微镜形的操奇作模阀式分满为三散大类警型:接触熟模式(C歪on优ta旧ct卖M烦od讯e)、非接化触模忍式(N舟on蚊-c醒on洗ta珍ct拆M鲜od顷e)和轻敲喜模式(T般ap尊pi贼ng渗M皱od供e)。图3给出陡了AF境M不同鼻操作丑模式订在针醋尖和菌样品辩相互笋作用未力曲释线中莲的工钻作区着间和逮力属圾性。5.选1接触亭模式(C登on亚ta鹿ct涝M贱od洒e)接触励模式醒是AF幻玉M最直成接的茎成像岂模式跟。样必品扫全描时拼,针陷尖始凯终同约样品召“接掀触”魄,而川相互偶作用傍力是轮排斥姑力。积扫描先时,肿悬臂现施加籍在针冶尖上砖的力略有可援能破道坏试皆样的院表面董结构虑,因并此力舞的大尊小范颠围在丑~N。若苦样品材表面旅柔嫩培而不岛能承久受这病样的安力,欲便不血宜选桑用接境触模省式对伪样品摊表面臭进行摸成像添。此没模式较通常糖产生叉稳定掀、高泽分辨龄图像翠。针哗尖-样品脖距离烈在小殖于零螺点几描个纳请米的悼斥力升区域尸,对考应图3中的1-角2段。5.统2非接帖触模(N辽on升-c称on哈ta店ct尾M界od么e)非接渣触模粥式探雪测试砖样表粒面时岸悬臂土在距螺离试刘样表家面上交方5~10昼n活m的距剪离处喂振荡败。样礼品与洗针尖穿之间箩的相哭互作鞭用由同范德女华力次控制稼,通侄常为N,样刻品不笔会被款破坏励,而旦且针宝尖也珍不会虑被污逗染,份适合伶于研即究柔漂嫩物同体的邻表面冰。此祥模式饱的不转利之葛处是逗要在浊室温读大气股环境错下完周成。隙针尖-样品定距离桐在几脑到几末十纳层米的金吸引柏力区年域,考对应忍图3中的3-救4段。圣由于沉针尖-样品泉距离展较大蚊,因拐此分拴辨率幼比接翼触式恢的低尊。到踪蝶目前犬为止治,非料接触泻模式袜通常扫不适裙合在谜液体单中成违像,剂在掌生物锣样品甜的研村究中辣也不去常见身。5.脱3轻敲批模式(T储ap枕pi骑ng镰M痰od莫e)轻敲流模式杆是上闻述两掀种模夜式之写间的涝扫描接方式做。扫犁描时搭,在蝴共振斥频率职附近秆以更区大的廉振幅(>映20除nm欧)驱动抓微悬针臂,浇使得抓针尖裙与样脉品间桂断地猎接触兔。当腹针尖淋没有貌接触显到表眼面时缎,微持悬臂猛以一梦定的美大振伶幅振惑动,样当针营尖接标近表评面直贤至轻们轻接棒触表寄面时狠,振乔幅将伪减小鸭;而缝当针喷尖反租向远晶离时,振幅树又恢鬼复到钥原值族。作饰用在全样品忆上的偷力保代持恒予定。否由于欲针尖测同样仇品接雾触,岁分辨良率几纳乎与挡接触散模式靠一样茄好;狱又因锁为接权触非旱常短僵暂,哄剪切贤力引别起的广样品堵破坏少几乎鲁完全该消失励。轻用敲模原式适旬合于添分析米柔软愿、粘狸性和由脆性脑的样川品,渠并适航合在扮液体换中成径像旬。5.朱4三种披模式破的比熟较1、接触棉模式(Co猴nt溪ac扇t僵Mo陪de):掀优点奸:扫洪描速涂度快析,是搁唯一单能够肥获得寸“原套子分面辨率雪”图减像的AF转M垂直拿方向斗上有孤明显弯变化容的质使硬样扰品,便有时团更适痕于用Co隐nt欺ac母t妄Mo芹de扫描革成像辩。求缺侮点:悉横向朋力影架响图娱像质障量在蜡空气妙中,彻因为砖样品迎表面挑吸附谈液层急的毛撇细作哄用使粱针尖较与样甩品之表间的酷粘着拣力很哲大,臭横向烈力与里粘着性力的荒合力迹导致扔图像荷空间屈分辨防率降盘低,斤而且逼针尖浪挂擦约样品半会损抚坏软兵质样弊品(丢如生朴物样示品,浙聚合芦体等饺)。2、非接眼触模善式(No欢n-轮Co津nt减ac摆t尼Mo障de):涉优呜点:宜没有线力作菌用于淹样品帮表面倍。哄缺点话:由扯于针即尖与林样品胡分离锋,横侵向分搞辨率咬低;教为了粘避免虫接触逝吸附付层而等导致关针尖厨胶粘垫,其斑扫描架速度否低于Ta站pp男in唇g里Mo缎de和Co俩nt大ac陶t易Mo页de喇A灯FM。通移常仅腾用于汇非常督怕水孔的样猫品,熄吸附卵液层原必须贩薄,略如果复太厚演,针慢尖会痛陷入接液层疾,引捐起反求馈不尼稳,火刮擦浇样品余。由梢于上千述缺起点,on泊-c榆on卸ta促ct籍M单od淋e的使漫用受踏到限砖制。3、轻敲学模式(Ta六pp脖in深g组Mo蓬de):蚂优点符:很泪好的仔消除江了横淋向力雀的影顷响。跑降低狡了由很吸附纯液层番引起伴的力惜,图锋像分燃辨率抛高,仆适于抓观测闸软、命易碎塔、或住胶粘线性样真品,爹不会吗损伤驶其表羞面。胶缺点猜:比Co令nt敌ac就t痕Mo愤de碍A习FM的扫住描速桃度慢啦。6.真AF框M的功乒能6.柱1表面构形貌塌的表寇征通过筒检测营探针-样品锄作用镇力可恶表征肝样品锋表面物的三乱维形减貌,丈这是AF狮M最基守本的贩功能霞。由塑于表渐面的捧高低苍起伏忆状态箩能够牺准确社地以史数值勒的形袖式获取取,畅对表亭面整螺体图解像进纺行分意析可突得到目样品嚼表面和的粗窗糙度Ro赢ug炮hn溜es脱s)、颗袜粒度(G况ra阁nu拳la捞ri氧ty愈)、平值均梯墙度(S永te作pH披ei华gh桨t)、孔纽奉结构鞋和孔考径分涝布等五参数委;对汇小范德围表弱面图悄像分膊析还林可得还到表胃面物望质的行晶形订结构鸽、聚箭集状葵态、赔分子浩的结朱构、罗面积乱和表破面积穿及体黎积等两;通搅过一蛾定的侮软件粉也可赏对样卡品的速形貌还进行滴丰富堡的三床维模口拟显补示如涂等高盾线显匙示法腾、亮恭度-高度侄对应甜法等雀,亦尝可转啄换不探同的家视角帆,让主图像见更适录于人原的直草观视暑觉。6.龄2表面僻物化蒜属性学的表堤征AF衬M的一求种重偷要的嫩测量均方法世是力-距离筒曲线病,它白包含朋了丰席富的宽针尖-样品鼓作用旧信息射。在勤探针层接近班甚至篮压入胖样品脉表面炎又随霉后离塌开的刊过程毙中,胸测量怠并记真录探泡针所揪受到腹的力尾,就炊得到挂针尖轨和样葵品间靠的力-距离击曲线岔。通宣过分甜析针成尖-样品溪作用凑力,塘就能涌够了宰解样遭品表长面区英域的凭各种这性质盛如压专弹性能、粘盖弹性疏、硬躲度等教物理惯属性唉;若讲样品臣表面慌是有遭机物耽或生伐物分沿子,邻还可齿通过远探针驾与分等子的午结合摸拉伸芳了解偿物质范分子泼的拉锤伸弹勾性、均聚集男状态响或空助间构蚀象等宁物理艺化学重属性裂;若宣用蛋国白受首体或遭其它型生物诉大分赶子对未探针筐进行冷修饰(f租un雅ct钓io籍ni顷za询ti谨on储),探巡寿针则廊会具字有特出定的择分子叉识别药功能京,从球而了付解样别品表胃面分货子的助种类告与分沫布等太生物洁学特忍性。7.对样笑品的附要求(1)研究幅对象:有搞机固华体、杯聚合絮物以籍及生浊物大异分子伞等;(2)样品袜的载读体:云此母片五、玻革璃片赖、石纺墨、窜抛光持硅片叫、二银氧化境硅和日某些牙生物继膜等讽。最沟常用吵的是膏新剥弓离的耻云母态片,馆因为零其非砌常平灶整且告容易页处理恨;抛次光硅下片最纵好用愁浓硫类酸与30部%双氧直水的7∶庆3混合只液在90匠℃下煮1h;利切用电否性能冈测试塞时需眨要导亦电性遍能良蓝好的阔载体惑,如骄石墨便或镀看有金愿属的厨基片杆。(3)样品辆的厚当度:最胖大为10颤m忘m。(4)样品测的大盯小及佣重量:试瞎样的企大小活以不元大于犁试样球台的能大小免(直易径20骡m抗m)为忆标准觉,最坦大值骑约为40塔m异m。样医品不竭宜过桑重,逗如果喉过重问,有竿时会嘱影响Sc浓an豆ne漠r的动糊作。8.晋AF漫M操作高流程(1)启动靠仪器:接通惨电源喂,先监打开丛控制掠器,梯再打盼开AF伏M主机削;开余启计仰算机笋并双妄击SP颂M-护-9吵50玩0打开颗软件耻(待皱主机留的RE医AD精Y键变飘亮稳裳定后消);预热20屈—3推0分钟妖;(2)放样稠品:待信膝号为5个以刃上时魔,将双待测绘样品裕用镊闷子轻兽轻放挂入样犁品台葛;(3)软件宗设置:A.打开辈软件寻后出诵现[S跨PM丢M汁an炒ag笨er滤]窗口袖;B.单击骗窗口傻中的on恼li僻ne按钮渴出现[S狼PM究O管nl肥in奔e]窗口用及[S丸ca后nn湿in抱g需Co慢nd躬it箱io仰n回]子窗微口;C.点击[O翻sc违il关lo漠sc钢op刮e]前的软对勾成出现[L么ef时t燥Os胖ci猾ll样os凳co桨pe弯]波动臭图像捞窗口笼并拖敬动其固至右仰下方鲁;D.点击[S要PM刮O漏nl尼in销e]窗口向中[S袍et婚ti昌ng怒]-画[僵Y瓣Sc愁an葱S狠ta弦rt抱]-较[鹿To更p]设置妄扫描窑探针岗自上吵而下狭扫描营,点寒击[P丈an腰el弄D滩is简pl麻ay考]出现[S熟ig毒na逼l劫Di盗sp言la山y妥Pa劲ne帽l]窗口跳,将银垂直[V歉er草ti撒ca韵l烈De应fl掠ec替ti杰on幸]用垂蓝直齿绝轮调您至-2,将熊水平[H塘or秩iz北on围ta需l属De究fl筐ec丝式ti税on秀]用水伐平齿俱轮调娇至0,反密复调歼节至气少3次后互,关防闭窗页口。AF麦M样品套台示碑意图[S帐PM休O福nl束in延e]工作后窗口(4)设置掀参数:在[S栏ca姥nn领in月g原Co劣nd昂it董io装n渗]子窗列口中嗓设置去:A.兄[S迹iz始e](微叨悬臂控在样藏品表钟面水葵平扫瞧描范同围)像设置栋为20插um;B.耽[R谨at粘e](微季悬臂冲扫描衡速度圈)设妨置为2H园Z;C.赴[Z邀R赴an嗓ge榜](微稀悬臂超扫描润时Z方向葱波动途范围肉)一责般设否置为[X拾1](Z方向反波动径范围睬为扫法描器或规定狭的最药大波拌动范台围)理;[X尊2]指Z方向集波动流范围税缩小站一半榨;D.穿[O目pe荣ra爬ti违ng骑]操作梯电压雪为1V;E.仅[P祸ro绩po绸rt伟io产na淡l携Ga宰in加]比例怜增益务设置乡丰为10;F.倍[I下nt零eg侧ra昂l支Ga拦in页]积分举增益衔设置皆为0.睡01;G.全X,伴Y,位Z设置夜为清凉零模倘式0;在[S崖PM答O淡nl尼in鄙e]窗口教中,[Z姿R陆an忙ge咏]根据创检测羡对象院设置韵合理猛数值猾。(5)开始仓检测A.点击[F脏as爸t衣A悉pp奏ro花ac往h]快速妹趋进膀按钮容,微果悬臂澡会自金动趋镜近样疾品,亦并且猪在距与离样校品10脸um处自糊动停历止;B.点击[S沙lo个w屠Ap寇pr荐oa裤ch既]慢速写趋进素按钮超,当华微悬亿臂接融触到国样品宇后,槽慢速饭进针赞自动蚀停止奸,开霞始扫淋描样嘉品并枪出现辅扫描渣图像惨(慢希速进不针一讨般进肿行8格自离动结税束)勉。检测忆进程涌中出氧现扫参描图辨像(6)调节阶图像A.点击[S趋PM位O冶nl女in棋e]窗口垦中的Zo盐om选择早图像平中的室合适收区域片进行艰放大碰扫描敲;B.调节[s夜ca保n睬co铃nd怠it率io笔n]中的[Z睛r持an亦ge泰]使沿Z方向攻波动铜的范依围缩矛小相浇应的往倍数欲;C.当图饿像出耀现竖纸道时条,将Da去ta从25演6*25筐6先设誓置为51死2*51球2,再石设置破为25趁6*25播6;D.有时兄候出波现的彼扫描姿图形哭可能鼓是伪图,因状此应文该回蚂针再抄重新借扫描普;E.要看检扫描产图像与中测贺得的陷某处落样品忍的高沈度先夸按住Sh柜if芝t,再它用鼠亦标在夺样品纷处划很线。(7)保存灿图像在工投具栏择内点柴击[S弃av笔e]按钮久,选泪择要尤保存编的图追片信群息,误然后肆再点俩击[O族K]。当怎扫描纳到底摧或在否顶时蛋,本程次保尿存才渔能结敢束。袖保存夜的文招件以追当前隙日期扯和时怨间命腰名。退当图销像上世出现SA葱VE骆T找HI送S时不宣能改稀变检殃测的勺各参鸽数。点击怪任何氧抬针蔑按钮肺,都夺可以琴停止雀扫描生。(8)结束专测试(9)处理系图像A.在[S柴PM项M缎an淘ag图e]窗口裙下点精击[O街ff半li金ne撕]按钮冬,出徐现[S野PM点O而ff蜻li促ne低]操作炭窗口顾;B.在[S税PM宿O姨ff滩li常ne衬]窗口鞠的工俘具栏检内,锣点击庆文件漆夹树悦按钮[B貌ro勒ws网er脑],出壮现图统片库射窗口裁;C.在图晶片库途窗口狮内,轨双击肉要处湖理的碗图片陷,会杂出现叛它的泼单独蹦的[S育PM客O榆ff因li悟ne纯]窗口给;对于震已经头平滑值好的未图片毒,如卖果希搜望看澡到样误品信谦息的熄三维碧信息霸,点伶击3D显示点按钮授。然失后在3D设置淋内可喉以选薯择3D视角姑。D.在[S厦PM赤o推ff袋li也ne谦]图片初处理兰窗口椒的工怖具栏券内,立点击璃平滑顺按钮研,选挽择[l竟in藏e鹅fl掀at衫te进n]按钮架,平肠滑图价片。E.三维税图像介显示和操作(10)结束香试验(a属)关闭SP域M国on愉li嫁ne软件姑;(b野)关闭SP充M主机阵;(c齿)关闭失电脑僚;(d庆)关闭SP闻M控制运器捡;(e壮)盖好评防尘钞布。*9.注意缴事项(1)各写参数序设置集好后耀要按总回车吵键,驾检测趋中改蚕变参旁数后筋也要放按回担车键扔;(2)开阀始检肺测要姥关闭腹空调绢,防狱止空驱气流响动对妥检测管造成毅影响叙;(3)检椒测中骂,实库验员仅不能剥碰触仇仪器缘瑞桌面惰,不桨能在肌仪器垃附近自来回枝走动珠;(4)未细抬针摘坚决密不能须放样拒品,矮每次校更换羡样品拖及试荡验结箭束后残都必孔须抬针,每紧次抬气针大摩约5、6次;(5)RE仆AD略Y键不楼亮时风可能止死机怜(死猛机时公会发位出声堆响,围在垂岛直于推水平惯旋钮疑互相凶切换瞎时也们会发氧出声啊响)静,此撇时要先关象闭SP炒M软件体再按PO斩WE断R键关乐闭主连机,等教待稳注定后事再按PO迁WE建R键重顶新启红动主户机。10叉.A蚊FM优缺批点优点咬:(1)AF轻M具有其超高奖的空扇间分阀辨率蜡,放盼大倍其数远马远超需过以裳往的顷显微莲镜:壮光学床显微垒镜的待放大拿倍数鉴一般榨不超庸过10览00倍;默电子班显微寄镜的刘放大喷倍数增的极适限是10蚁0万倍降;而AF延M的放烫大倍劫数是螺电子冬显微的镜的10袍00倍,革高达10亿倍街,可割以直拥接观啦察到敏物质肯的分怠子和阿原子刺。(2)AF配M的制线样过贵程简珍单易平行:不需团要对晃样品幼做特亲殊处旗理,喷如镀嚷铜或旅碳等论;只需恐对样仪品稍锤加固掩定便岩可进岛行观娃察。(3)AF座M还具堡有多则样的每试验泉环境召:既叼可以舞在真窜空中矩试验商,也窑可以稿在大仇气中怕,甚泊至还被可以亭在溶携液中荐观察移样品渐,同悄时对酒温度宴没有腊特殊斩要求誉,高狸温低垂温皆晃可以握进行味。(4)AF笋M具有映广泛虚的研长究对席象:朋可研汁究生抬物、盖物理舱、化胀学等尖领域免,并问能研究托生物任宏观河分子冒,甚酬至活萄的生视物组缸织。(5)AF历M不仅灭提供昨二维嘉图像探,而航且提锅供真垮正的炼三维档表面耳图。缺点国:AF猴M的成陪像范吉围太案小,由速度弹慢,篮受探济头的羊影响拜太大掩。10跟.A狠FM应用熄领域在各盐种样拦品上映获得储的结只果已唯经证仰实,依原子驱力显注微镜绑已经螺在很包多科蝇学领蜂域中残得到戴成功汗应用堆,如电化痒学、所物理
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