ARL9800X荧光光谱仪真空系统中文说明书

ARL9800X荧光光谱仪真空系统中文说明书9800的真空系统和以前的84/86及9400都不同，这是因为除进样方式和试样室结构不同外还利用了分子泵。9800真空系统利用了二个泵：低真空油泵和高真空分子泵。〜WenvacuumPumpPtimaryChamberV函usngaiigtManualvalve*iSpectrometer〜WenvacuumPumpPtimaryChamberV函usngaiigtManualvalve*iSpectrometer\Veniing-valvePrimaryChamberventingvaJvt*^58-SpectromclcrpumpingvalveMolecularvajcuumpumpShutLerSpectrometervacuumgaugeVapvuToilfiller低真空油泵（Pump2,,P2）要紧用于试样进出时的试样室抽暇和光谱室的前期抽暇，它有二种工作方式，即全工作方式（FullMode，220V供电）和半工作方式（HalfMode，110V供电），按真空度情形由XQM操纵自动切换。高真空分子泵（Pump1,P1）用于光谱室抽暇，它的转速可按光谱室真空状态由XQM操纵转变，通常处在rpm（转/分）。由于分子泵没有油气污染而且能够改变转速从而维恃真空稳固，因此保证了光谱室有一个清洁稳固的分析环境。.抽暇顺序：仪器一通电，XQM第一获取光谱室（SP）真空状态参数。.如SP<25KPa，XQM以为光谱室处于真空，给二个泵供电起动，使P2处在全工作方式而P1转速升至15000rpm，同时打开光谱室抽气阀门V1抽暇。当SP<1000Pa，XQM会命令P1提速至27000rpm继续抽暇。在抵达SP<13Pa，XQM将使P2改成半工作方式，P1继续维恃高速。在整个进程中，试样室始终处于大气状态，这时仪器处在待分析状态。.如SP>25KPa,ICS以为光谱室处在大气或接近大气状态，二个泵都不供电起动，等待环境设置的命令。环境设置可用软件设置或终端命令SE1」。.环境设置命令输入后，第一试样室的LoadingLift下，Shutter关，使试样室与外界隔离。1）这时XQM对P2供电并使的地方于全工作方式，打开试样室抽气阀门V2，对试样室抽暇。2）当PC<二SP时，XQM命令打开输送杯外框（shell）使试样室和光谱室联通，同时P1通电，转速慢慢升至12000rpm。3）当SP<25KPa，打开光谱室抽气阀V1，P1转速升至15000rpm，二个泵同时抽。4）当SP<1000Pa，P1转速升至27000rpm，继续二个泵同时抽。5）当SP<13Pa，P2改成半工作方式，P1继续维恃高速抽光谱室。6）紧接着XQM命令关闭Shell使试样室和光谱室隔离，试样室抽气阀门V2关闭，试样室进气阀V3打开使试样室进气成大气然后V3再关闭，试样室的Shutter打开，LoadingLift上，使试样室与外界连通。这光阴谱室真空，试样室大气，仪器处在待分析状态。.抽暇中止（Pumpingsuspended）:抽暇中止是在抽暇进程中的一个特殊状态，这时V1和V2被关闭，P1和P2的供电被切断。上述的任一抽暇进程显现问题，都会引发抽暇中止。例:.当上述3-2进程抽了30分钟后，还到不了SP<25KPa；.当上述3-3进程抽了60分钟后，还到不了SP<1000Pa或又大于25KPa了；.当上述3-4进程抽了60分钟后，还到不了SP<13Pa或又大于25KPa了；.开机时SP真空，按上述1进程抽了5分钟后，还到不了SP<13Pa或又大于25KPa了；.光谱室处在真空下，但突然SP>100Pa。处在抽暇中止状态下要恢复抽暇，必需从头设置环境。.油泵（P2）的电路操纵：油泵操纵涉及的电路有：PowerDistrubution（板号S702593图号S111852）;XQM（板号S702416图号S111556，S111853）;XSP（板号S702594，图号S111851）油泵电路操纵较为简练。油泵电机接的相中地三线由PD板的TS911输出，其中仅相线（丁5911-1）受操纵。电源220V相线经继电器IC2输出至TS911-1；由生成24V的变压器低级线圈中心抽头引出的电源110V相线经继电器IC3输出至TS911-1。油泵的操纵采纳微处置器输出命令，由XSP板上的功率驱动片IC4（L293D）的输出去驱动PD板上的IC2或IC3继电器，从而供给油泵电机不同的电源。有关的输入信号途径如下：

EnVacPmp2由XQMPPI2/PA2^J151/15C^XSPJ152/15HC4/1In1VacPmp2由XQMPPI2/PB3(In1MoPbLi)fJ151/16BfXSPJ152/16B-IC4/2In2VacPmp2由XQMPPI2/PB4(In2MoPbLi)fJ151/16CfXSPJ152/16C-IC4/7有关的输出信号途径如下：Pmp2Full由XSPIC4/2fJ152/15AfPowerDistributionJ921/3-IC2fTS911/1220VPmp2Half由XSPIC4/6fJ152/15BfPowerDistributionJ921/4-IC3fTS911/1110VXQM跟据真空度值按需要第一发出EnVacPmp2命令使泵能起动：再发出In1VacPmp2命令，IC2动作，220V加在泵的电机上，油泵处在全工作方式状态；或发出In2VacPmp2命令，IC3动作，110V加在泵的电机上，油泵处在半工作方式状态。通过终端命令可查讯油泵目前处在什么工作状态：RI1,1,52H」回答显示01001100Y是油泵处在全工作方式状态，01010100Y油泵处在半工作方式状态。.分子泵(P1)的电路操纵:分子泵操纵涉及的电路有：XQM版号S702416图号S111556，S111853)；XSP(板号S702594图号S111851)。分子泵的接头共有六个：1,a;2,b;3,c;4,d;5,e;6,f。VacPmp1-

VacPmp1+

HallSensor

PtcPmp负电源正电源转动方向信号温度信号1,afXSPJ152/22A,22BfIC19/102,bfXSPJ152/21C,21BfIC19/23,cfVacPmp1-

VacPmp1+

HallSensor

PtcPmp负电源正电源转动方向信号温度信号5,efXSPJ152/17AfDGND6,ffXSPJ152/22Cf+12v分子泵的电源在XSP板上，由二个脉冲宽度调剂器IC10;IC14(PWM,SC3525AN»功放IC19(LMD18200)组成，分电压操纵；电流操纵和功率输出三部份。该电路的输入信号有：电压设置VpSetPointfXQMIC20/7fJ151/28CfXSPJ152/28CfIC10/2,16电流设置CuSetPointfXQMIC20/6fJ151/28BfXSPJ152/28BfIC14/2,16芯片选择EnVacPump1fXQMIC5/1fJ151/19CfXSPJ152/19CfIC10/10马达方向HallSensorfXSPIC17F/13fJ152/23CfMolecularPumpMotor3,c该电路的输出信号有：电流信号StsPmpiCurfXSPIC7/46电压信号StatueVpfXSPIC7/45过热信号DryThFlagfXSPJ152/24CfXQMJ151/24CfPPI1/PC1VacPump1+fXSPJ152/21C,21BfMolecularPumpMotor1,aVacPump1-fXSPJ152/22A,22BfMolecularPumpMotor2,b

分子泵运转需55V电源，由电压操纵源慢慢增加直至抵达适合电压，称+VP。在加压进程中，晶体管Q1(IRF9224)导通使二极管D8短路，这时具有双极转子的无刷马达将用反相极化(Oppositephasepolarisation)。当马达转速达到最高27000rpm时，Q1开路，二极管使双相失去一相，马达变成发生器(Generator)。CurrrnJlCurrrnJlLMD18200组成的开关DC马达电源(SwitchingDCmotorsPowerSupplies,利用H拼式结构的脉冲宽度调剂器也讨⑼并利用51印/乂@印加~。操纵模式。当结点温度超过1250c时，电路将发出过热信号DrvThFlag。该电路还提供电流传感用以电流操纵，它连接至IC14的内差分放大器(Internalerroramplifler),并同时以StsPmpiCur信号送入口操纵器IC7/口。.真空测量及真空探头的校准(VacuumGuageCalibration):.真空测量：光谱室0口)和试样室『。的真空测量方式相同并和9400也相同，都采纳NTC探头将真空度转变致使热传导转变作为测量依据的。其中NTC1为电桥温度感应，NTC2为电桥平稳后用于反映真空度信息的。每一个探头有4个接头，1号为NTC1；2号3号接地；4号为NTC2。涉及的电路为XQM板(板号S702416图号S111556，S111853)。二个探头信号连接如下:2号3号接地接J151/30APC1号发出PCNtc2fJ151/29CfIC5/40(平接IC20/9)PC2号送入5V信号PCNtc1T"1/29B—IC5/41SP1号发出SPNtc2fJ151/30CfIC5/42(平接IC20/8)SP2号送入5V信号SPNtc1―J151/30B—IC/43IC20为A/D转换器(AD7225)，将信号转换后再计数供操纵及显示。Ntc1为操纵器(80C196KR)发出的高电位信号使5V送入探头供电。.真空探头的校准(Vacuumgaugecalibration)：真空探头的校准是利用终端命令“CG”来完成的。1)概念温度偏置(deltatemperatureoffset)：概念deltatemperatureoffset必需将试样室和光谱室处在大气环境下，然后输入以下命令：CG1,0」自动概念试样室真空探头温度偏置。CG2,0」自动概念光谱室真空探头温度偏置。2)才概念倍增系数(multiplicativecoefficient)：将要概念的探头从试样室或光谱室取下，将它装在油泵抽气管上抽暇1分钟，因抽暇的体积很小，故能够为这时真空度很高了。如概念的是试样室探头：输入口丫1,1,2,0」显示其真空，其值应为，如不是可输入命令CG1,1,」为例，可由1--3间选择，直至显示的真空度符合。如概念的是光谱室探头：输入口丫1,1,3,0」显示其真空，其值应为，如不是可输入命令CG1,2,」为例，可由1--3间选择，直至显示的真空度符合。固然，最理想的是用一个已校准过的真空表插在油泵抽气管上抽暇1分钟，记下它的读数，然后装上有关探头抽，最后用CG命令概念倍增系数，使显示的真空读数和记下的一致。为了进样时较小扰动光谱室真空，通常将试样室探头的倍增系数调剂得比光谱室探头的倍增系数略小一些，即对同一真空度的测量，试样室探头值要略大于光谱室探头值。最后将概念好的二个探头的系数数入文件，以便Load时自动送入：.TX“CG1,1,1.18”

.DELAY2（以上二句是对试样室探头的，值是例。）.TX“CG1,2,1.33”.DELAY2（以上二句是对光谱室探头的，值是例。）真空系统阀门的电路操纵：涉及真空系统的阀门共有四个：光谱室抽气阀门V1；试样室抽气阀门V2;试样室进气阀门V3;光谱室进气阀门V4。涉及阀门操纵的电路有：XQM（板号S702416图号S111556,S111853）；XSP（板号S702594图号S111851）。四个阀门的操纵方式相同，都采纳微处置器输出命令，由功率驱动片L293D驱动阀门。V1和V4由XSP板上的IC3驱动；V2和V3由XSP板上的IC2驱动。有关的输入信号途径如下：V1阀EnSpPmpVlvV4阀EnSpVntVlvV2阀EnPcPmpVlvV3阀EnPcVntVlv由XQMPPI2/PA7T151/20AfXSPJ152/20A-IC3/1由XQMPPI2/PB0T151/20B—XSPJ152/20B-IC3/8由XQMPPI2/PB1T151/20CfV1阀EnSpPmpVlvV4阀EnSpVntVlvV2阀EnPcPmpVlvV3阀EnPcVntVlvINIVlvDry由XQMPPI2/PB5T"1/24AfXSPJ152/24A-IC3/2,10(IC2/2,10)IN2VlvDry由XQMPPI2/PB6T"1/24BfXSPJ152/24B-IC3/7,15(IC2/7,15)有关的输出信号途径如下：1电源SpPmpVlv+SpPmpVlv-41电源SpPmpVlv+SpPmpVlv-4电源SpVntVlv+SpVntVlv-2电源PcPmpVlv+PcPmpVlv-3电源PcVntVlv+PcVntVlv-XSPIC3/6T52/25BfV1-XSPIC3/11T52/25JV4+XSPIC3/14fJ152/26AfV4-XSPIC2/3T52/26BfV2+XSPIC2/6fJ152/26CfV2-XSPIC2/11T52/27AfV3+XSPIC2/14T52/27BfV3-真空系统涉及到的终端命令：.分子泵开关命令：P1<on/off>,<pumpspeed>」on—1,0ff--<>1,speed--0to27000。例：P11,15000」开泵，转速15000rpm。.油泵开关命令：P2<on/off>,<halfvoltage>」on—1,0ff--<>1;230V--0110V--<>0。例：P21