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共1页第1页XX大学课程考试试卷答案课程名称:半导体材料与器件学分:3教学大纲编号:试卷编号:A考试方式:闭卷满分分值:100考试时间:120分钟组卷日期:组卷教师(签字):审定人(签字):学生班级:学生学号:学生姓名:一名词解释(3*2分)1.准费米能级2.能带弯曲3.离子注入(略)二填空题:(7*2分)1.耗尽近似的含义包括:(1)在冶金结附近区域(-xp≤x≤xn),与净杂质浓度相比,载流子浓度可近似忽略不计;(2)耗尽区以外的电荷密度处处为___零____。在一个非对称掺杂的结中,耗尽层宽度几乎全部位于冶金结的轻掺杂一侧。2.所有类型的载流子输运即是单位时间内各过程载流子浓度的总变化,其过程包括漂移、扩散、R-G中心复合和其他过程。3、请写出适用于n型半导体的少子扩散方程:略。三计算题(共30分)(共8分)晶片加工是半导体制备中的重要环节,其主要工序有哪些?答案:略画出硅基片表面(110)晶面上原子的位置,并求出单位平方厘米内的原子个数。答案:(共12分)图P3.21答案:(1)(2)成立(3)(4)(5)(共10分)室温下,处于热平衡条件下的硅突变结,p型掺杂NA=1017/cm3,n型掺杂ND=1015/cm3;试计算:(a)Vbi;(b)xn,xp,W;x=0处的E;(d)x=0处的V;画出电荷密度、电场和静电电势随位置变化的草图。答案:四综合题(共50分)1.(共12分)绘图说明PN结特征:(a)热平衡(外电压VA=0)情况下PN结能带图,载流子分布和载流子的运动情况;答案:(b)正向偏置(VA>0)情况下PN结能带图,载流子分布和载流子的运动情况;答案:(c)反向偏置条件下(VA<0)PN结能带图,载流子分布和载流子的运动情况;答案:(d)I-V特征曲线。答案:2.(共6分)绘制理想二极管特征曲线和非理想二极管I-V特征曲线,列举ABCEDE五种导致非理想二极管I-V曲线的原因,并在I-V曲线相应位置标注ABCDE的贡献。答案:3.(共10分)(a)如果功函数M>S,金属和n型半导体组合在一起,形成理想的MS接触。假定接触形成几乎是瞬时的,在接触过程中两种材料之间的电子转移可以忽略。请画出在接触形成后瞬间的能带图、形成后平衡状态下相应的能带图。答案:(b)如果功函数M<SQUOTE时,请画出金属和n型半导体组合在接触形成后瞬间的能带图、形成后平衡状态下相应的能带图。(做图过程中,请以公共的E0参考能级为基准垂直地对齐,M和是材料的功函数和亲和能,在接触形成过程中保持不变。)答案:4.(共10分)共发射极N+PN三极管的载流子存在雪崩倍增现象,并导致晶体管击穿。(a)请绘制能带图与电子和空穴运动示意图,对载流子倍增和反馈机理进行逐步解释;答案:(b)根据载流子倍增现象可以制备探测光信号的光电晶体管,请绘制该晶体管的能带图与电子和空穴运动示意图。答案:5.(共12分)(a)以栅电压VG为横轴画图,分别说明理想n型和
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