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文档简介
主要内容工艺流程简介
◆概念◆原水水质指标、纯水水质标准◆工艺原理◆典型工艺流程◆各个处理单元功能◆发展趋势
施工要点◆设备部分◆管道部分◆电气部分本文档共30页;当前第1页;编辑于星期二\21点37分
20世纪70年代以来,美国科技界为了研制超纯材料(半导体元件材料、纳米精细陶瓷材料等),最早提出并制备了纯水。
纯水可定义为:运用过滤、脱碳除盐、离子交换、紫外线杀菌、超滤等技术,去除自然水体中的悬浮物、溶解物、细菌等杂质后制备的水,其特点是除水分子外,其他物质的含量为ppm级或ppb级。
随着电子业、生物制药业的不断发展,纯水的应用领域越来越广泛。1.1.概念本文档共30页;当前第2页;编辑于星期二\21点37分1.2.原水水质指标、纯水水质标准序号名称单位序号名称单位1温度摄氏度8重碳酸根毫克/升2色度度9氯离子毫克/升3浊度度10硫酸根毫克/升4硬度毫克/升11钙离子毫克/升5碱度毫克/升12镁离子毫克/升6电导率微西门子/厘米13总铁毫克/升7PH值
14总有机碳毫克/升常规原水水质监测指标本文档共30页;当前第3页;编辑于星期二\21点37分指标项目单位指标值项目单位指标值线宽μm0.5~0.25铵μg/L0.1电阻率25℃18.2溴化物μg/L0.05内毒素EU/Ml0.03氯化物μg/L0.05总有机碳μg/L2氟化物μg/L0.05溶解氧μg/L1硝酸盐μg/L0.05蒸发残余物μg/L0.5亚硝酸盐μg/L0.05显微镜测微粒L
磷酸盐μg/L0.050.1~0.21000铝μg/L0.020.2~0.5500钡μg/L0.020.5~0.150硼μg/L0.02在线测微粒L
铬μg/L0.020.05~0.1500铜μg/L0.020.1~0.2300铁μg/L0.020.2~0.350铅μg/L0.020.3~0.520锂μg/L0.02>0.54镁μg/L0.02细菌100mL样品1锰μg/L0.021L样品1镍μg/L0.02总硅μg/L0.5钠μg/L0.02溶硅μg/L0.1锶μg/L0.02钙μg/L0.02钾μg/L0.02锌μg/L0.02硫酸盐μg/L0.05美国计量测试学会纯水水质标准(ASTMD5127-99)本文档共30页;当前第4页;编辑于星期二\21点37分目级别比电阻
MΩ.cm@25℃硅≤μg/L>1μm微粒数
<个/ml细菌个数
<个/ml铜≤μg/L锌≤μg/L镍≤μg/L钠≤μg/L钾≤μg/L氧≤μg/L硝酸根≤μg/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/L总有机碳≤μg/LEW-Ⅰ18(95%的时间不低于17)20.10.0010.20.20.10.50.5111120EW-Ⅱ15(95%的时间不低于13)1050.1111221111100国标GB/T11446.1-1997,EW-Ⅱ标准国标GB/T11446.1-1997,EW-Ⅰ标准本文档共30页;当前第5页;编辑于星期二\21点37分指标项目单位指标值电阻率MΩ.cm@25℃18微粒数个/ml(>1μm)10细菌个数个/100ml5总有机碳μg/L30溶解氧μg/L50总硅μg/L5Na/Kμg/L0.5Cuμg/L0.5Fe/Znμg/L1Clμg/L1液晶显示器件(TFT-LCD)项目超纯水水质指标本文档共30页;当前第6页;编辑于星期二\21点37分1.3工艺原理物理反应:过滤、超滤化学反应:吸附、电渗析、反渗透、离子交换本文档共30页;当前第7页;编辑于星期二\21点37分1.4典型工艺流程本文档共30页;当前第8页;编辑于星期二\21点37分预处理系统(Pre-treatmentSystem):
砂滤、碳滤、阳床、阴床、脱碳酸塔、热交换器制程系统(Make-upSystem):
紫外线杀菌、保安过滤器、一级反渗透系统、二级反渗透、混床(电渗析系统)抛光系统(PolishingSystem):
热交换器、紫外线杀菌、抛光混床、超滤、膜脱气循环系统(Distribution
System):
加药系统(Chemical
System):HCl、NaOH、NaClO、PAC反洗、再生、清洗系统(Backwash,Regeneration,CleanSystem)回收系统(ReclaimSystem):
回收预处理系统,回收制程系统系统组成本文档共30页;当前第9页;编辑于星期二\21点37分砂滤器内填充多层过滤介质:大颗粒砂石、粗砂、细砂、无烟煤。多介质过滤器能有效地去除原水中的悬浮物、各种大小的颗粒物,降低浊度,提高原水的透明度,理论上可使水中大的悬浮物含量降到40μm。碳滤器内填充活性炭,该装置能有效地去除水中的游离氯、有机物、气味和砂滤产水中的悬浮物。脱碳酸塔去除水中的二氧化碳。1.5各个单元处理功能本文档共30页;当前第10页;编辑于星期二\21点37分阳床填充树脂去除水中阳离子阴床填充树脂去除水中阴离子热交换器调节系统水温,确保反应效果本文档共30页;当前第11页;编辑于星期二\21点37分紫外杀菌器254nm紫外线用来降低进水的有机物
。保安过滤器用来除去水中的微粒及前面过滤器中未处理掉的杂质从而保护RO膜不受杂质的破坏。保安过滤器能够连续有效地去除大于5、10微米的杂质。电渗析在直流电作用下离子从EDI进水中被分离出来,通过EDI中满载的树脂可以使低电导率水中的离子迅速迁移,以达到对微量离子的去除。本文档共30页;当前第12页;编辑于星期二\21点37分一级、二级反渗透系统反渗透分离技术是通过膜组件的半渗透性去除水中的溶解性杂质。半渗透膜允许水通过,但是会阻止溶解盐类、无机分子及分子量大于100的有机分子通过。混床填充树脂去除水中阴、阳离子本文档共30页;当前第13页;编辑于星期二\21点37分热交换器调节系统水温,确保反应效果紫外杀菌紫外杀菌器能产生185nm的紫外线,该紫外线会彻底破坏微生物的DNA以致微生物无法进行新陈代谢和繁殖。膜脱气膜分离技术去除水中溶解性气体本文档共30页;当前第14页;编辑于星期二\21点37分抛光混床是在同一个抛光容器内,将阴阳离子交换树脂按照一定的体积比例均匀混合。在树脂交换过程中,阴阳离子处于均匀混合状态,阴阳离子的交换反应几乎是同时进行的,所产生的H和OH随即合成H2O,交换反应进行彻底,出水水质好。超滤在外压作用下,利用非对称性膜去除水中相对分子质量大于500的高分子物质或胶体的膜分离装置。本文档共30页;当前第15页;编辑于星期二\21点37分循环系统输送超纯水至各个用水点,循环回流至超纯水箱循环系统输送超纯水至各个用水点,循环回流至超纯水箱加药系统絮凝剂(PAC),加入砂滤,絮凝作用;NaClO,加入砂滤,杀菌消毒。本文档共30页;当前第16页;编辑于星期二\21点37分加药系统HCl、NaOH,用以阴床、阳床、混床的再生反洗系统:砂滤、碳滤再生系统:阴床、阳床、混床清洗系统:反渗透系统、电渗析系统回收系统超纯水经终端机台设备使用后,回收利用其他管道选型;设备选型(禁油)氮封本文档共30页;当前第17页;编辑于星期二\21点37分1.6发展趋势1)市场份额趋于扩大化;2)纯水制备系统与回用系统耦合;3)设备处理单元趋于成熟化、集成化、专业化;4)纯水制备系统成本最小化、能耗最低化。本文档共30页;当前第18页;编辑于星期二\21点37分工艺流程简介
◆概念◆原水水质指标、纯水水质标准◆工艺原理◆典型工艺流程◆各个处理单元功能◆发展趋势
施工要点◆设备部分◆管道部分◆电气部分本文档共30页;当前第19页;编辑于星期二\21点37分2.1设备部分1)塑性材料设备(FRP、PE、PVC)
设备基础检查、设备底部填充物、底座固定、满水试验2)金属衬里设备(碳钢、不锈钢)
设备基础检查、底座固定、平台爬梯安装、电火花测试3)压力容器质量技术监督局备案、申请施工许可证、质量监督、安全检查4)动力设备(泵、风机等)
设备基础检查、设备底部填充物、泵与电机连接的联轴器两轴芯本文档共30页;当前第20页;编辑于星期二\21点37分2.2管道部分1)支架
焊缝检查(焊缝表面不得有裂纹、焊瘤、气孔、夹渣、咬边、未焊满等缺陷)
除锈、涂漆、安装尺寸检查2)金属管(碳钢、不锈钢、镀锌管)
坡口、焊缝检查、充氩保护、镀锌层恢复、管道平直度检查3)塑料管道(施工技术培训、搬运、存储)
U-PVC:倒角、划线、粘接温度、承插长度
C-PVC:倒角、划线、粘接温度、承插长度、洁净施工
PP:热熔、作业温度、自动焊、手工焊
PVDF:洁净棚(一万级、七级)本文档共30页;当前第21页;编辑于星期二\21点37分C-PVC施工技术1)施工准备序号作业名要点1一般材料准备・准备好指定的配管材料。・黏结剂为材料厂家指定品。2清洁管施工准备・不织布(商品名例:BEMCOT)、防尘手套、使用清洁过工具。・穿干净的服装进行作业。・在洁净室中穿洁净服。3一般注意事项・不要把手指伸到配管中。本文档共30页;当前第22页;编辑于星期二\21点37分Z尺寸的计算图示下料尺寸Z尺寸Z尺寸顶点2)施工基本顺序与要点a:配管切断长度的计算本文档共30页;当前第23页;编辑于星期二\21点37分Z尺寸束结插入长度Z尺寸法兰b.现场标线标
线:标识插入长度的确认线;确认线:管道插入后,确认此次黏结是否合格的确认线;
本文档共30页;当前第24页;编辑于星期二\21点37分标线线长度同じ長さ20插入长度标线确认线相同长度标线的作业方法本文档共30页;当前第25页;编辑于星期二\21点37分管道的切割专用的工具进行管道的切割保护管路c.管道的切割45゜以上内倒角内外倒角d.内外倒角本文档共30页;当前第26页;编辑于星期二\21点37分黏结部的清洗不织布&清洁无尘布料丙酮e.黏结部的清洗黏结剂的涂抹标示线确认线整个配件内部的2/3均量地从管路的顶部开始涂抹约标示范围的2/3内面量较少、外面厚涂f.黏结剂的涂抹本文档共30页;当前第27页;编辑于星期二\21点37分外部必须涂抹
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