ZYGO干涉仪使用说明

经典word整理文档，仅参考，转Word此处可删除页眉页脚。本资料属于网络整理，如有侵权，请联系删除，谢谢！文件编号版本/修订页码ZYGO干涉仪使用说明1/81目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。2范围本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面元件的一般方法。3录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为保存。3.2测试数据（保存文件名为*.DatDATE保存。4Zygo干涉仪的定义4.1应用（application）应用是ZYGO*.app”的文GIP.app用于一般的平面和GPI-Cylinde.appAngle.app用于平行角度的测试。4.2猫眼像（）透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。4.3镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生来源。4.4升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。4.5Align/View模式按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。align模式可以看到一个View模式是按下控制盒上的align/view切换的2纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view界面观察条纹。1主要包括以下几个方面：23标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill，去除晶体待测区域，点击，定义Ref46.5.1ALIGN/VIEW5文件编号版本/修订页码ZYGO干涉仪使用说明6/8最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后,按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEWZYGO测试操作桌面中GPI.app按钮进入波面测试操作界面。6.5.2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂6.5.3点击测试界面左上角的CalibrateFringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标6.5.4点击测试界面中左上角MaskData按钮,在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。点击，定义待测区域。6.5.5点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PVX.XXXWave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时，记录此时X.XXXXZYGO主测试操作桌面。7细节说明和结语7.1安全要求7.1.1测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。7.1.2损坏。7.1.3使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测基本步骤差不多。7.2选择、安装标准镜选择：平面和柱面选择平面标准镜，球面选择球面标准镜。球面标准镜在选择的时候要考虑镜片的曲率半径和口径，参照JENfizar的标准镜选择。安装：将标准镜的两个插销对准标准镜安装支架上的卡口插入，旋转，安装到位，旋转锁死螺钉固定好。按下控制盒上align/view切换到align模式，将光点文件编号版本/修订页码ZYGO干涉仪使用说明7/86调到十字线的中心。7.3寻找干涉条纹上的align/view按钮切换到align模式，调整待测零件的俯仰和水平旋转在动态窗口中找到零件表面反射回来的光点，并将其调整到十字线中心。再次按下align/view按钮切换到view模式，微调零件或者标准镜的俯仰和水平旋转，将条纹调到3根左右。球面：将镜片夹到六位调整架上，待测面正对干涉仪主机。切换到view界cateye标准镜的位置，使得条纹对称。凸面靠近，凹面远离干涉仪主机寻找表面像，紧件的表面像，微调六维调整架将条纹调到3根。在整个寻找过程中，光点可能后进入步骤9.4”按钮让示数归零，再次回到猫眼像位置，此时光栅尺的示数使用一块柱面辅助镜CGHalignCGH的平面对准干涉仪，调整左右旋转，把第3个光点调到十字线中心。切换到view模式，微调标准镜位置，把CGH周围的圆环调到无条纹，然后再切换到align模式。将待测柱面母线按与CGH平行的方向放置到调整架上，移动调整架至CGH焦点CGHview模式，再次微调柱面的旋转和角度将条纹调正，微调前后将条纹在弧面方向调直。7.4输入零件信息点击measurementcontrolpartnumber栏中输入货号，serialnumber栏中输入零件编号。文件编号版本/修订页码ZYGO干涉仪使用说明8/87如果测量的是球面还需要在ISO10110测试波长、零件有效口径。7.5设定长度基准点击calibrate按钮，在弹出的窗口中划一条已知长度的线，并在弹出的窗面形的球面按照R/（F/#际测量的口径，作为长度基准。7.6取掩膜自动掩膜：测量圆形（球形）零件的时候，可以使用自动掩膜功能，按一定的百分比选取有效测量区域。点击analysiscontrol按钮，在弹出的窗口中选择autoapertureON，在下面的inside栏中输入有效百分比，outside栏中输入中心需要去除的部分。手动掩膜：手动掩膜适用于非圆形零件或者有特殊需求的情况。点击mask按钮进入掩膜窗口，按需要选择rectanglesquareellipsecurve等形状的掩膜，在干涉图上画出合适的大小，可以通过中间的moveresizeadjust等功能调整到合适的大小和位置。完成后点击BGINC按钮来确认。根据零件形状可以使用各种形状掩膜的组合，如果要挖去一部分，则选中该掩膜点击unfill功能调整到合适的大小和位置。完成后点击BGINC按钮来确认。根据零件形状可以使用各种形状掩膜的组合，如果要挖去一部分，则选中该掩膜点击unfill按钮来使其空白。掩膜去除：去除自动掩膜在analysiscontrol窗口中将autoape