安徽弘电微电子有限公司年产30KK高压硅堆项目环评报告

建设项目环境影响报告表(公示稿)项目名称：年产30KK高压硅堆项目建设单位(盖章)：安徽弘电微电子有限公司编制日期：2019年10月国家环境保护部制《建设项目环境影响报告表》编制说明《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的两。5、主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应、规模和距厂界距离等。析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建1一、建设项目基本情况项目名称年产30KK高压硅堆项目建设单位安徽弘电微电子有限公司法人代表联系人通讯地址安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园双龙路2号联系电话传真/邮政编码247099建设地点安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园双龙路2号立项审批部门池州经开区经发局批准文号池开管经[2018]127号建设性质新建√改扩建□技改□行业类别及代码C3971电子元件及组件制造2000㎡绿化面积-总投资(万元)0资(万元)环保投资占总投资比例(%)评价经费(万元)/预计投产2020年01月工程内容及规模：目的由来高压硅堆又叫硅柱。它是一种硅高频高压整流二极管。高压硅堆具有体积小、重量轻、机械强度高、使用简便和无辐射等优点，普遍用于直流高压设备中作为基本的整流元件。高压硅堆市场前景良好，具备高品质、高性能，高信赖度和高利润率，在市场对高品质高压硅堆需求迅猛增长的形势下，拥有巨大的市场潜力和发展前景。为满足市场需求，安徽弘电微电子有限公司拟投资10000万元，在安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园双龙路2号投资建设年产30KK高压硅堆项目，形成年产高压硅堆30KK的生产能力。该项目已在池州经济技术开发区管理委员会经贸发展局备案(备案号：池开管经[2018]127号，项目编号：2018-341761-39-03-019996)。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》的有关规定，按照《建设项目环境影响评价分类管理名录 (2018版)中“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“83、电子元件及电子专用材料制造”中的“电子专用材料”项目，因此本项目应编制环境影响报告表。2受建设单位委托，我单位承担项目环境影响评价工作。接受委托后，我单位立即组织工程技术人员对项目进行了实地考察，对建设地周围环境状况进行了调查，收集了当地的环保、水文、气象、地质等有关资料，按有关技术要求编写了本环境影响报告表，呈报环境保护主管部门审批。2、项目地理位置本项目建设地点位于安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园双龙路2号，租用安徽钜芯半导体科技有限公司的标准化厂房(中心坐标为东经117.526990°、北纬30.707819°)进行生产，租用厂房四周均为安徽钜芯半导体科技有限公司的生产区，安徽钜芯半导体科技有限公司所在厂区东临金同璐，南邻双龙路，西侧为安徽颐源高科有限公司，北侧为园区规划工业用地。项目地理位置见附图1，周边环境详见附图2。、产品方案项目主要产品方案见下表。表1-2项目产品方案一览表序号产品名称规格型号单位产量备注1高压硅堆2层百万颗/年5层百万颗/年2百万颗/年4百万颗/年20层百万颗/年4合计百万颗/年304、项目建设内容及生产规模项目租用安徽钜芯半导体科技有限公司的标准化厂房2000平方米，并按无尘车间要求进行装修设计，购置一贯机、切脚机、自动焊接机等生产设备，形成年产30KK颗高压硅堆的生产能力。建设项目主要建设内容详见下表。表1-2建项目工程内容组成一览表工程类别工程名称工程内容及规模备注主体工程无尘车间装修无尘车间2000m2，配置高压硅堆生产设备。改造辅助工程办公室不单独设置，依托安徽钜芯半导体科技有限公司的办公用房依托原有供水系统依托安徽钜芯半导体科技有限公司的供水系统，由园区市政给水管网供供水系统公用工程排水系统依托安徽钜芯半导体科技有限公司的排水系统，采用雨污依托原有公用工程排水系统水管网。生活污水经化粪池预处理后排入园区污水管网送3至城东污水处理厂处理达标后排放至附近水体依托安徽钜芯半导体科技有限公司的供电系统，由园区供电电网接应供电系统焊接烟尘：自动焊接机和焊接炉的排气口接入焊烟过滤净化系统处理后通过不低于15m至城东污水处理厂处理达标后排放至附近水体依托安徽钜芯半导体科技有限公司的供电系统，由园区供电电网接应供电系统焊接烟尘：自动焊接机和焊接炉的排气口接入焊烟过滤净化系统处理后通过不低于15m高排气筒排放；塑封和固化废气：塑封和固化过程产生的非甲烷总烃通过收集后通过排气筒高空排放。废气治理生活污水经化粪池处理后，排入园区污水管网送城东污水处理厂进行深度处理。环保工程废水治理噪声防治采取优选低噪设备、车间内布置、隔声、减振等措施项目边角料、残次品属于一般固废，全部收集后外售综合利用；生活垃圾纳入环卫处理系统处理固废处置工程依托可行性：本项目租用安徽钜芯半导体科技有限公司的标准化厂房进行生产，由于安徽钜芯半导体科技有限公司在建设时已考虑本项目的需求，因此本项目办公、供排水、供电等公用工程依托可行。5、主要原辅材料消耗项目主要原辅材料及其消耗量见表1-3。表1-3项目主要原辅材料一览表序号项目单位数量备注1GPP/SKY芯片百万个/a3032框架百万套/a3铜引线百万套/a40.44塑封块t/t/75锡膏kg/a6锡片kg/a3007铝线kg/a%8N2m3/a2000来源于钜芯液氮罐9H2m3/a82040L钢瓶装塑封块简介：项目塑封材料为环氧树脂，环氧树脂是指分子中含有两个以上环氧基团的一类聚合物的总称。环氧树脂的主要特点是粘结强度高、收缩率低、产品脆性大、价格较高。由于环氧基的化学活性，可用多种含有活泼氢的化合物使其开环，固化交联生成网状结构，因此它是一种热固性树脂。环氧树脂在5℃-35℃长期室内保存性能稳定，可以在0~180℃温度范围内固化。在无氧条件下，环氧树脂的热分解温度在300℃以上，而当在空气中使用时，环氧树脂一般在180~200℃就会发生热氧化分解。本项目为电子信息产业，选用优质不易分解的4塑封材料，在塑封固化过程中废气产生量很小。6、项目主要生产设备项目主要生产设备见表1-4。表1-4项目主要生产设备一览表序号设备名称型号数量(台)备注1一贯机TO12一贯机ITO13切脚机TO/ITO24模具TO/ITO25压机ST076烘箱MPS2-300DS77高周波加热机LMP-32358拉波机HV19自动双头打线机ETO-2202自动焊接机TO/ITO-2201用于点焊半自动切弯机TO-2204焊接炉TCP-8401用于焊锡片测试箱TK68-3KV检测设备测试箱MPT测试机HV-6338高温反偏HV1UV烘烤UVC-201A1打端子机1500型4实验室烤箱AM-A220驰返变压器动熊测试机组PX-6185B121全自动压力锅机HL-320122超高压一贯机HV17、平面布置和理性分析本项目位于安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园双龙路2号，项目位于安徽钜芯半导体科技有限公司厂区内，租赁车间西南部分从事生产活动，车间内设备布局根据生产要求布设，便于生产。项目厂区内人流物流顺畅，平面布置紧凑，流程合理，满足国家防火、环保、安全、卫生等方面规范规定。综上，项目平面布局合理可行。58、劳动定员与工作制度本项目劳动定员36人，实行两班工作制，每班工作8小时，年工作时间为300天。程(1)供水依托安徽钜芯半导体科技有限公司的供水系统，由园区市政给水管网供给。(2)排水项目采用雨污分流制排水系统，雨水经厂区内雨水管汇集后，排入开发区雨水管网。项目产生的废水主要是职工生活污水，生活污水经化粪池预处理后，依托安徽钜芯半导体科技有限公司排水系统排入园区污水管网，送城东污水处理厂进行深度处理。(3)供电依托安徽钜芯半导体科技有限公司的供电系统，由当地供电管网供给。(4)消防项目建筑防火设计依据《建筑设计防火规范》(GB50016-2014)(2018版)，厂房防火设计按丁类厂房设计，耐火等级设计为二级。满足本项目防火要求。10、产业政策符合性分析查阅《产业结构调整指导目录(2011年本)(修正)》(国发改委2013年第21号令)，本项目不属于国家产业政策中淘汰、限制类项目；且本项目已经在池州经济技术开发区管理委员会经贸发展局备案(池开管经[2018]127号)，因此，本项目符合国家产业政策。11、相关规划和行业管理要求符合性分析11.1与《池州经济技术开发区总体规划》相符性根据《池州经济技术开发区总体规划(2006-2020年)》，开发区北至江口长江岸线，南至贵铜公路，东至规划铁路专用线东侧，西至清溪塔西侧，规划面积24.55平方公里。规划的主导产业为有色金属产品加工、纺织、机械、电子信息等。本项目为主导产业中的电子信息产业，项目与池州经济技术开发区的定位相符合。11.2与《安徽池州经济技术开发区规划环境影响报告书》及其审查意见的相符性分析根据《安徽池州经济技术开发区规划环境影响报告书的审查意见》(环评函[2008]785号)，规划的主导产业为有色金属产品加工、纺织、机械、电子信息等，严禁违反国家6度产业政策及不符合开发区产业导向的建设项目入区建设，严格控制高耗能、高污染的行业和企业入区建设。环评函[2008]785号文“关于安徽池州经济技术开发区总体规划环境影响报告书的审查意见”，具体如下：度表1-5本项目与园区规划环评审查意见相符性情况审查意见要求项目情况符合性1严格入园项目环境准入，严禁违反国家产业政策及不符合开发区产业导向的建设项目入区建设，严格控制高能耗，高污染的行业和限值污水排放量大的项目入区建设。本项目建设符合国家产业政策要求，本项目不属于高能耗、高污染行业，能够满足入园要求。符合2开发区实行雨污分流，加快城东污水处理厂、开发区污水处理厂及污水管网等配套工程建设进度，完善环保基础设施，在污水处理厂建成投运前，入区项目产生的污废水必须达标排放。本项目采用雨污分流，项目废水处理后达污水处理厂接管标准后排入市政污水管网。符合3开发区内危险废物的收集、贮存应符合《危险废物贮存污染控制标准》 (GB18597-2001)的规定要求，集中收集，安全处置生活垃圾，声环境执行相应功能区标准，施工期噪声执行《建筑施工场界噪声限值》中有关规定。按照相关规定处置固体废物；生活垃圾由环卫部门统一收运处理。固废均能得到合理处置。符合4加强环境监督管理，区内所有建设项目要认真履行有关环境保护法律法规，严格执行建设项目环境影响评价制度和环境保护“三同时”制度。本项目严格执行有关环境保护法律法规，严格执行建设项目环境影响评价制度和环境保护“三同时”制。符合5规划实施中新增污染物排放总量按有关污染物排放总量控制的要求，在池州市污染物排放总量消减计划中予以落实。本项目总量控制按要求落实。符合本项目用地为工业用地，项目为开发区规划主导产业中的电子信息产业，符合安徽池州经济开发区产业定位，且不在池州市经济技术开发区的产业限制范围内，因此本项目的建设符合池州市经济技术开发区的总体规划要求。11.3与《长江经济带生态环境保护规划》相符性2017年7月13日，环境保护部、发展改革委、水利部联合印发了《长江经济带生态环境保护规划》(环规财〔2017〕88号)，《长江经济带生态环境保护规划》贯彻“山水林田湖是一个生命共同体”理念，统筹水陆、城乡、江湖、河海，统筹上中下游，统筹水资源、水生态、水环境，统筹产业布局、资源开发与生态环境保护，对水利水电工程实施科学调度，构建区域一体化的生态环境保护格局，系统推进大保护。《长江经济带生态环境保护规划》根据长江流域生态环境系统特征，以主体功能区规划为基础，强7化水环境、大气环境、生态环境分区管治，系统构建生态安全格局。《长江经济带生态环境保护规划》确立资源利用上线、生态保护红线、环境质量底线，制定产业准入负面清单，强化生态环境硬约束，确保长江生态环境质量只能更好、不能变坏。《长江经济带生态环境保护规划》坚持问题导向，加强长江经济带沿线饮用水水源保护力度，实施水源专项执法行动，强化水源地及周边区域环境综合整治，切实做好城市饮用水水源规范化建设，确保集中式饮用水水源环境安全，有效应对环境风险。《长江经济带生态环境保护规划》创新流域管理思路，加快推进重点领域、关键环节体制改革，形成长江生态环境保护共抓、共管、共享的体制机制。大力推进生态环保科技创新体系建设，有效支撑生态环境保护与修复重点工作。《长江经济带生态环境保护规划》加强协调联动，强化水资源、水生态、水环境三位一体推进。重点解决局部区域大气污染、土壤污染等问题，补齐农村环保短板。强化突发环境事件预防应对，严格管控环境风险，提升流域环境风险防控水平。创新大保护的生态环保机制政策，推动区域协同联动。《长江经济带生态环境保护规划》在落实《纲要》提出的行动、工程基础上，从区域协同治理的需求出发，提出水资源优化调配、生态保护与修复、水环境保护与治理、城乡环境综合整治、环境风险防控和环境监测能力建设等6大工程18类项目。《长江经济带生态环境保护规划》提出实行负面清单管理。即：“长江沿线一切经济活动都要以不破坏生态环境为前提，抓紧制定产业准入负面清单，明确空间准入和环境准入的清单式管理要求。提出长江沿线限制开发和禁止开发的岸线、河段、区域、产业以及相关管理措施。不符合要求占用岸线、河段、土地和布局的产业，必须无条件退出。除在建项目外，严禁在干流及主要支流岸线1公里范围内布局新建重化工园区，严控在中上游沿岸地区新建石油化工和煤化工项目。严控下游高污染、高排放企业向上游转移。”本项目的建设不在岸线1公里范围内，且本项目符合国家产业政策，符合《安徽省池州经济技术开发区总体规划》要求，不在相关负面清单范围内，本项目的建设符合《长江经济带生态环境保护规划》要求。11.4与《关于打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》相符性2018年6月27日，中共安徽省委、省政府印发了《关于打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》。《意见》指出了打造水清、岸绿、产业优的美丽长8江(安徽)经济带的思路目标。“水清”，就是实现水环境改善好、水资源保护好、水生态修复好“三个好”；“岸绿”，就是实现森林覆盖率、空气优良率、土壤清洁率“三个大提升”；“产业优”，就是实现园区、企业、项目“三个高质量”。《意见》提出着力打造1公里、5公里、15公里“三道防线”：第一段线是沿江1公里以内，做到“五个达标”，即长江干流及主要支流入河排污口国考断面水质监测达标率全面实现，长江干流40个水功能区全部稳定达标，沿江5市PM2.5指标全面达标，应绿尽绿全面达标，不符合环保要求的重化工、重污染企业实现搬迁全部达标；第二段线是5公里以内，做到“五个一律”，即畜禽养殖企业和网箱水产养殖一律整改到位，25度以上坡耕地一律退耕还林还草，在建的重化工业项目一律整改达标，现有的重化工企业一律实施提标改造或转型，“散乱污”企业一律依法关闭搬迁；第三段线是15公里范围内，做到“五个合规”，即现有污水处理厂出水水质全面合规，城市黑臭水体治理全面合规，畜禽养殖场粪污处理设施装配排放合规，新建项目全部合规，工业园区优化整合全面合。(1)本项目距离长江直线距离为2.18km，距长江干流距离大于1公里，符合《中共安徽省委文件、安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》(皖发[2018]21号)中严禁1公里范围内新建项目相关要求；(2)本项目为电子信息产业，不属于石油化工、煤化工等重化工、重污染项目，符合《中共安徽省委文件、安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》(皖发[2018]21号)中严控5公里范围内新建项目相关要求；(3)本项目为新建项目，项目地址位于池州经济技术开发区，项目用地为工业用地，符合《中共安徽省委文件、安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江 (安徽)经济带的实施意见》(皖发[2018]21号)中项目进园区的要求；(4)本项目废水主要是生活废水。生活废水经厂内收集后排入园区污水管网，确保废水达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准后送城东污水处理厂处理，并会按照环评及环评批复要求配套建设其他污染治理设施，污染物可稳定达标排放，固体废物得到妥善处理、处置，符合《中共安徽省委文件、安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》(皖发[2018]21号)中“纳统管”等相关要求。11.5与打赢蓝天保卫战三年行动计划相符性分析9根据《国务院关于印发打赢蓝天保卫战三年行动计划的通知》(国发[2018]22号)以及安徽省人民政府印发《安徽省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的通知》(皖政[2018]83号)，安徽省属于重点区域范围，本项目与《安徽省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案》的符合性见下表。表1-6拟建项目与《安徽省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案》符合性一览表序号方案要求符合性分析分析结果1优化产业布局：积极推行区域、规划环境影响评价，新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价，应满足区域、规划环评要求；加快城市建成区重污染企业搬迁改造或关闭退出，推动实施一批水泥、平板玻璃、焦化、化工等重污染企业搬迁工程；城市钢铁企业要切实采取彻底关停、转型发展、就地改造、域外搬迁等方式，推动转型升级。禁止新增化工园区，加大现有化工园区整治力度本项目位于池州市经济技术气机械及器材制造)，用地性质为工业用地；池州经济技术开发区为集中式工业园区，因此本项目符合经济开发区、园区功能要求；本项目不属于重污染企业，不在关停之列相符2严格控制“两高”行业产能：严格执行国家关于“两高”产业准入目录和产能总量控制政策措施；严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能；加大落后产能淘汰和过剩产能压减力度；严格执行质量、环保、能耗、安全等法规标准。严格按照《产业结构调整指导目录》，执行过剩产能淘汰标准本项目不属于“两高”行业，不在禁止建设行业之列相符3强化“散乱污”企业综合整治：全面开展“散乱污”企业及集群综合整治行动；根据国家规定，细化“散乱污”企业及集群整治标准；实行拉网式排查，建立管理台账；按照“先停后治”的原则，实施分类处置；列入关停取缔类的，基本做到“两断三清”(切断工业用水、用电，清除原料、产品、生产设备)；列入整合搬迁类的，要按照产业发展规模化、现代化的原则，搬迁至合规工业园区并实施升级改造；列入升级改造类的，树立行业标杆，实施清洁生产技术改造，全面提升污染治理水平本项目不涉及相符4深化工业污染治理：持续推进工业污染源全面达标排放，将烟气在线监测数据作为执法依据，加大超标处罚和联合惩戒力度，未达标排放的企业一律依法停产整治；推进重点行业污染治理升级改造；二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、挥发性有机物(VOCs)全面执行大气污染物特别排放限值；有条件的工业集聚区建设集中喷涂工程中心，配备高效治污设施，替代企业独立喷涂工序本项目废气均经相应治理设施治理后达标排放，且各污染因子全面执行大气污染物特别排放限值相符5加快调整能源结构，构建清洁低碳高效能源体系：继续实施煤炭消费总量控制；实施“煤改气”和“以电代煤”；开展燃煤锅炉综合整治；加强散煤治理；提高能源利用效率；加快发展清洁能源和新能源本项目以电为能源，不涉及煤炭消耗相符6加强扬尘综合治理：严格施工扬尘监管；因地制宜稳步发展装配式建筑；将施工工地扬尘污染防治纳入文明施工管理范畴，建立扬尘控制责任制度，扬尘治理费用列入工程造价；重点区域建筑施工工地要做到工本项目不涉及相符地周边围挡、物料堆放覆盖、土方开挖湿法作业、路面硬化、出入车辆清洗、渣土车辆密闭运输“六个百分之百”，安装在线监测和视频监控设备，并与当地有关主管部门联网7实施VOCs专项整治行动：开展石化、化工、工业涂装、包装印刷等VOCs排放重点行业和油品储运销综合整治，执行泄漏检测与修复标准；禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目；开展VOCs整治专项执法行动，严厉打击违法排污行为，对治理效果差、技术服务能力弱、运营管理水平低的治理单位，公布名单，实行联合惩戒，扶持培育VOCs治理和服务专业化规模化龙头企业本项目不涉及相符12、“三线一单”符合性分析(1)生态保护红线符合性判定根据《安徽省人民政府关于发布安徽省生态保护红线的通知》(皖政秘〔2018〕120号)及附件《安徽省生态保护红线》以及《池州市生态保护红线》，本项目位于池州经济技术开发区，项目不在生态保护红线范围内，因此本项目建设符合生态保护红线要求。(2)环境质量底线符合性判定项目所在区域的环境质量底线为：根据达标区判定，本项目区域不达标，为改善环境空气质量，池州市陆续制订了《池州市打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案》等，通过各项措施，减少主要大气污染物排放总量。本项目实施后预测结果表明，项目营运期排放的污染物能够满足相应标准要求，不会改变区域环境功能。水环境质量目标为《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)III类标准，声环境质量为《声环境质量标准》 (GB3096-2008)3类标准。根据后面的预测结果表明，项目各项污染物在本环评提出的污染防治措施处理的前提下，能达标排放和合理处置，对所在区域的环境影响甚微，不会突破环境质量底线。(3)资源利用上线符合性判定项目租用标准化厂房为2000平方米，项目水、电资源由园区市政给水和供电电网接入，消耗量相对区域资源利用总量较少，符合资源利用上线要求。(4)环境准入负面清单符合性判定本项目属于《产业结构调整指导目录》(2011年本)(2013年修正)中的允许类，符合产业政策要求。根据《安徽池州经济技术开发区规划环境影响报告书》中的入区行业控制建议(产业发展负面清单)表，本项目为电子信息产业，属于开发区的主导产业，且不在禁止入园的负面清单中，符合环境准入负面清单管理要求。表1-7安徽池州经济技术开发区入区行业控制建议表行业类别控制建议行业类别控制建议服装、纺织优先进入皮革、毛皮、羽绒及其制造业严格控制农产品加工优先进入造纸及纸制品业严格控制工艺品精加工优先进入化学原料即化学制品制造业严格控制生物、保健产品优先进入医药制造业严格控制有色金属冶炼及加工控制进入橡胶制品业严格控制非金属材料业控制进入黑色金属冶炼及压延加工业严格控制文教体育用品制造业控制进入火力发电业严格控制交通运输设备制造业控制进入有异味废气排放企业严格控制工艺品其他制造业控制进入综上分析，本项目建设符合“三线一单”的要求。与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：1、租用区域有关的原有污染情况及主要环境问题本项目为新建项目，项目租用安徽钜芯半导体科技有限公司已建的标准化厂房内，项目租用区域目前闲置，租用区域没有与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题。2、租用企业(安徽钜芯半导体科技有限公司)2.1安徽钜芯半导体科技有限公司基本情况安徽钜芯半导体科技有限公司目前建设有晶圆制造及封测项目，晶圆制造及封测项目共建设标准化厂房一栋，并配套建设研发楼、仓库等，购置了相应的GPP芯片制造和小型化、低功耗半导体电子元器件封装设备，进行IC设计、4-6英寸晶圆制造、封装 (测试)及销售，形成了年产高级GPP芯片360万片、封装3600KK的生产能力。其产品方案、原料消耗、设备情况详见下表。表1-8钜芯半导体现有项目产品方案一览表序号产品名称单位规模备注万片/年序号产品名称单位规模备注万片/年360GPP芯片12.1贴片二极管SOD-123KK/年12002.2贴片二极管SMAFKK/年6002.3贴片二极管SMAKK/年6002.4贴片二极管SMBKK/年2品电子元器件2.5轴向二极管(1、2、3A)KK/年6002.6整流桥堆GBPKK/年602.7整流贴片桥堆MBFKK/年420KK2.6整流桥堆GBPKK/年602.7整流贴片桥堆MBFKK/年420KK/年240GBU桥2.8KK/年120KBJ桥2.92.10贴片二极管SMCKK/年240小计KK/年3600t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/表1-9钜芯半导体现有项目主要原辅材料消耗情况序号名称成分规格单位消耗量备注一、芯片制造主要原辅材料1硅片单晶硅99.999万片/年360纸箱包装2磷纸P2O54”万片/年360纸箱包装3硼纸B2O34”万片/年360纸箱包装4切割胶带兰膜99.9%万米/年60纸箱包装5金刚砂棕刚玉微粉400#a6.0袋装6玻璃粉二氧化硅99.5%a6.0瓶装7异丙醇异丙醇99.7%a2.2瓶装8氨水氨26%L/a75600桶装9双氧水过氧化氢35%L/a96000瓶装光刻胶感光树脂99.5%GL6000瓶装显影液烷类99.3%L/a4000瓶装负胶漂洗液酯类；芳香酮类；99.3%/07%L/a6000桶装负胶显影液烷类；环氧丁烷；99.5%L/a6000桶装混酸硫酸、氢氟酸、硝酸、9:9:12:7L/a240000桶装硫酸硫酸98L/a120000桶装氢氟酸氢氟酸49%L/a96000桶装硝酸硝酸、超纯水68%L/a15600桶装盐酸盐酸36%L/a27000桶装镍a0.36瓶装二、芯片封装测试主要原辅材料20铜材铜a21环氧树脂20%、酚醛树脂15%a袋装22焊片万只/年5400纸箱包装23混酸硫酸、氢氟酸、硝酸L/a8000桶装24浓硫酸硫酸98%a0.6桶装25甲基磺酸甲基磺酸a3.0桶装26锡球纯锡99.99%a8.0瓶装27甲基磺酸锡甲基磺酸，锡a瓶装t/t/t/28氢氧化钠固体氢氧化钠96%a0.9袋装29氮气N299.9954.4钢瓶装30氢气H299.9m3/a钢瓶装31异丙醇异丙醇99.7%a瓶装表1-9钜芯半导体现有项目主要设备一览表工序设备名称单位数量产地扩散半自动晶片清洗线套4扩散炉台喷砂机台7高温氧化炉台6黄光曝光机台5上胶机(手动三轴)台5显定影机台5蚀刻机台3RCA清洗机台4台4烧结玻璃烧结炉台6金属化烧结炉台2吹砂机台1焊接面金属化表面金属化槽套9测试点测机台30歆科测分机台4中国台湾切割刀片切割机台1激光切割机台25测试设施炉温测试仪台5示波器台5测深显微镜台1高倍显微镜台5辅助设施专用烘箱台40干燥箱台甩干机台26纯水系统套1无油空压机台4废气处理设施套5废水预处理套1净化厂房2000m2套1自动装填、烧结站芯片自动装填机台1自动粘胶机台4专用烧结炉台3超声波清洗机台5塑封模压站专用模具台8台湾+国产油压机台8预热机台8固化站专用烤箱台22套1成型站专业压机台5成型模套26测试站专用测试、印字、包装一体机台6专用DVF测试仪台台用Trr测试仪台24SSG专用测试仪台公用高纯氮气站套12.2安徽钜芯半导体科技有限公司主要产品生产工艺2.2.1GPP芯片生产工艺流程GPP芯片生产工艺流程及污染物产生节点图见图1-1。图1-1钜芯半导体GPP芯片生产工艺流程及产污节点图工艺流程简介：(1)清洗、水洗：外购的硅片经物理筛选，根据硅片的厚度及大小分成不同的规格，筛选出同样大小及厚度的硅片统一进行下一工序，放入1:10氢氟酸中进行清洗，去除硅片表面的油污、粉尘及氧化层等，经氢氟酸清洗后用去离子水反复冲洗，冲洗10次，硅片表面洁净后进下一工序。(2)磷扩散：在洁净后的硅片一面贴上磷纸，通过高温1200度进行扩散，同时通入氮气、氧气进行保护，使炉管形成正压不被污染，扩散后的晶片一面会沉积一层P2O5，形成一定浓度符合再分布要求的N+层和P+层。(3)密闭吹砂、硅片清洁：磷扩散过程硅片另一面在高温经氧化，经金刚砂打磨去除氧化层，打磨过程在密闭环境进行，粉尘经袋式除尘器处理后以粉尘颗粒物固体的形式收集，打磨后的晶片先通入碱液进行超声波清洗，清洗后用去离子水反复冲洗，冲洗过程产生一定量的废碱和废水，清洗干净进下一工序。(4)硼扩散：在晶片另一侧装入硼纸(主要成分为B2O3)，通过1260度高温进行扩散，通入N2/O2作为保护气体，扩散后的晶片将会沉积一层B2O3，并通过长时间扩散，使晶片中单质磷和单质硼都形成一定厚度符合欧姆接触要求的N+和P+，实现P+-N-N+结构控制区宽度到规定范围，满足电性要求。(5)清洗：硅片表面进行吹砂，去除表面氧化层，同时将表面打磨粗糙以便下一工序涂覆，吹砂后的晶片经过碱液清洗去掉浮渣再用去离子水反复冲洗，冲洗干净后进入下一工序。(6)一次黄光：将晶片在涂胶机上涂上光刻胶，在曝光机上进行曝光，将光刻板上的图形转移到光刻胶上，再放入显影液中，溶解去曝过光的光刻胶，未经曝光的光刻胶保留下来，得到所需图形。(7)蚀刻：通过混酸的配比对显影后的晶片进行腐蚀，暴漏PN结，同时将晶片分成若干晶粒。(8)去光阻：通过硫酸和双氧水进行配比去除表面光阻剂，使晶片表面暴漏出来。(9)RCA清洗：一次采用酸洗、碱洗去除晶片表面的有机物、氧化层等杂质，从而得到洁净的PN结表面。(10)电泳：将丙酮、玻璃粉按比例混合配制，并滴入微量的硝酸配成基片涂胶后基片片电泳液，再给电泳液中的硅片通电，利用玻璃粉在丙酮液中被电荷的运动方向带动，从而将玻璃粉均匀的沉积在单晶硅PN结台面沟槽中。(11)玻粉烧结、玻融：在温度为820℃的氧气气氛条件下，将经电泳处理后的硅片进行烧成约10~20min，使玻璃粉熔融在台面沟槽内。该处理工艺能有效控制钝化玻璃厚度并提高膜的均匀度，因此能提高该类半导体器件的性能，特别是提高高反压器件的稳定性、可靠性和耐压强度。(12)金属化：将表面处理干净的芯片放置在含有金属离子(氯化镍)的液体中，通过一定的温度促使含有金属离子的酸液发生化学置换反应，从而使液体中的金属离子被置换出来附着在芯片表面上，然后再对带有金属离子的硅片进行一定温度的烧结，使金属离子牢固的粘合在硅片表面上，使芯片表面形成金属层从而实现芯片良好的导电性能。(13)切割：在切割机上通过刀片对晶粒进行分割成若干个晶粒，切割过程用去离子水对刀片和晶体进行冷却。2.2.2芯片封装测试工艺流程及产污节点图芯片封装测试生产工艺流程及污染物产生节点图见图1-2。图1-2钜芯半导体芯片封装测试工艺流程及产污节点图工艺流程简述：(1)组装、焊接：在框架相应位置点上点胶、并放置芯片和跳线，将上述组装件HO其中氮气是为了赶走氧气，氢气是与残留的氧气反应，生成水(H2O)。此工序不产生有毒有害等污染废气。(2)酸洗(清洗)：采用混酸清洗上述组装完成的工件，除去表面的焊油和杂质，烘干备用。(3)塑封：在上述组装件表面用环氧胶塑封，将组装件保护起来，并且烘烤使胶固化。包括开班洗模、上料、打胶、合模、开模、下料，将上述清洗件放于料架上，芯片朝上将料架放于型腔模具中，确认框架完全放入型腔内。从干燥箱中拿取塑封料，预热后将胶块送入压模机的供料孔内合模固化，最后开模。开模后用气枪将表面的胶皮吹掉将未注满、裂痕、漏钉头及大压线、严重毛头、毛边、错位材料取出放入废料盒内将废弃塑封料投入垃圾桶内。(4)后固化：将成型产品送烘箱烘烤。(5)去溢料、电镀：详见“电镀生产工序”。(6)其它后工序：测试绝缘、切除产品多余引线等、激光印字、测试、包装。2.2.3电镀生产工艺流程1.3.1电镀生产工艺流程及产污节点图钜芯半导体芯片封装测试工艺建设一条试验性电镀生产线，主要用于芯片封装过程中的镀锡。电镀生产工艺流程及污染物产生节点图见图1-3。图1-3钜芯半导体芯片封装测试电镀生产工艺流程图工艺流程简述：(1)电解去溢料、水洗：用HTM-625侵泡器件，HTM-625主要成分为KOH、碳酸钠、硼砂，呈弱碱性，侵泡后引脚周围的溢料软化，通过高压水冲洗去除引脚周围的溢料。槽液可以反复使用，待去溢料效果降低后定期排放，经建设单位核实此过程槽液废水3个月排放一次，槽液收集后送厂区污水站处理，冲洗废水可循环使用，待清洁度不佳后外排至污水站。(2)去氧化、水洗：用去氧化粉(主要成分为过硫酸钠、缓蚀剂若丁)溶液去除表面氧化层，然后用去离子水水反复冲洗，去除表面的浮渣。此过程产生一定量的废酸溶液，废酸溶液一周排放一次，收集后厂区污水站处理，水洗液循环使用后外排至污水站处理。(3)预侵、电镀：将半成品放入MSA槽液(甲基磺酸)溶液中充分侵泡，然后将20t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/Ft/t/IC半成品放入电镀槽中进行通电电镀，阳极为锡块，阴极为IC半成品，通电后锡块失t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/Ft/t/(4)水洗、中和、水洗、干燥：电镀后半成品先经去离子水水洗去除表面残夜，然后放入含有中和粉HTM-070(主要成分为柠檬酸钠、磷酸三钠)的槽液中中和表面酸，再用去离子水反复冲洗，然后进行干燥去除表面多余水分。此过程产生一定量的废水，废水进厂区污水站处理。(5)退镀、水洗、干燥：由于电镀过程中放IC的支架上也被电镀了一层锡，在退镀槽液中，将支架连接阳极，阴极连接锡块，支架表面的锡得到电子后在溶液中沉积形成锡渣，退镀后支架用自来水反复冲洗，然后进行干燥。退镀液主要成分为硫酸、硫酸亚锡、甲基磺酸。退镀液六个月更换一次，收集后送厂区污水站进行处理。冲洗废水通过管道送至污水站进行处理。2.3安徽钜芯半导体科技有限公司主要污染源及污染防治措施调查根据调查，安徽钜芯半导体科技有限公司的主要污染源及污染防治措施详见下表。表1-10钜芯半导体现有项目主要污染源及污染防治措施汇总表类型排放源污染因子单位产生量排放量污染防治措施清洗光刻点胶工序异丙醇a0.300.05活性炭吸附装置1套+15米高排气筒非甲烷总烃a2.660.40芯片制造清洗工序酸性废气HCla0.9390.094酸碱洗涤塔1套+15米高排气筒NOxa3.9110.391硫酸雾a3.8930.389氟化物a0.8360.084NH3a0.6700.067芯片封装清洗工序酸碱性废气NOxa550196酸雾吸收塔1套+15米高排气筒硫酸雾a46氟化物a0.4180.042电镀工序酸性废气硫酸雾a0.019酸雾吸收塔1套+15米高排气筒甲基磺酸a0.013综合废水(生产废水、生活废废水量a6310863108含镍废水：单独收集后采用除镍一体化设备单独处理第一类污染物排放限值后再排入厂区污水处理站进一步处理。生产综合废水：经处理后的含镍废水和其他废水经pH调节+混凝沉淀+过滤处理后排入园区污水管网CODa54a9484氨氮a0.7260.665-a0.8550.684镍a0.0340.00221生活污水经化粪池预处理后排入园区污水管网公共设施生活垃圾t/t/600送市垃圾填埋场填埋处置外售综合利用委托有资质单位处置吹砂工序废金刚砂及砂粉t/t/4.8切割工序废边角料t/t/0.30检测工序废次品0.5原料使用废包装材料8.0原料使用化学品包装废弃物4.00原料使用废显影液原料使用废有机溶剂3.0电镀槽废液0.2金属化含镍废母液0.2/洁净厂房废滤芯4.0废气处理废活性炭0污水处理污泥22二、建设项目所在地自然环境、社会环境简况1、自然环境简况(地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等)：1.1地理位置安徽省池州市位于安徽省西南部，长江下游南岸，东连铜陵，南接黄山，西邻江西，北濒长江，辖贵池区、东至县、石台县、青阳县和九华山风景区以及国家级池州经济技术开发区。地理优越，区位优势明显。地处皖江城市带、长江经济带，是安徽“两山一湖”(黄山、九华山、太平湖)旅游经济圈的重要组成部分。池州港作为长江干线重点港口之一，可常年停泊5000吨级船舶。318国道、206国道、铜九铁路、沿江高速、合(肥)铜(陵)黄(山)高速、安(庆)景(德镇)高速和九华山机场、宁宜城际铁路共同构成便捷的立体交通网络。1.2地形、地貌、地质地形：池州地处安徽省西南部，东南是黄山山脉与九华山山脉结合地带，北西濒临长江。整个地势由东南向西北逐渐下降，从中山、低山过渡到低山、丘陵，最后到岗地、平原。地貌：地貌类型比较复杂，根据地貌组合特征，自东南至西北可分为三个地貌区，且都是北东方向延伸，尤以九华山—牯牛降中山、低山、山间盆地和青阳木镇—东流沿江岗地、平原区，都呈狭长状态，中部青阳县—东至县低山、丘岭、山间盆地面积较大。地质、地震：池州大地构造上位于扬子地台东北部，根据地层、构造、岩浆活动的差异，可分别归属于三个次级构造单元，即东至县南部为江南台隆；贵池区和青阳县以北为下扬子台坳；本市的中部为皖南浙台坳。在地壳运动影响下形成一系列褶皱与断裂，本市地层发育齐全，自太古界至新生界均有出露。市内印支期、燕山期岩浆活动强烈，导致一系列基底断裂发生，频繁的岩浆侵入活动，形成了以构造岩浆岩带为主干的成岩成矿系列。厂区地层稳定，无暗河、坍塌等不良地质现象，土层均一，强度高，为良好天然地基。1.3植被、生物多样性池州地处亚热湿润气候，亚热带典型植物群落类型在这里都很齐全，且生长发育得很好，是常绿阔叶林向落叶林过渡地带，常绿树与落叶树混生，有常绿阔叶林、常绿落23叶阔叶混交林、落叶阔叶林、针叶林、竹林等，还有一些栽培的亚热带经济林木。全市境内有高等种子植物153科676属1557种(含种及其以下等级，其中野生1430种，栽培127种)，其中国家和省重点保护的有26种。组成森林植被的主要种子植物有杉科、松科、柏科、杨柳科、胡桃科、桦木科、壳斗科、榆科、桑科、木兰科、樟科、山茶科、金缕梅科、漆树科、楝科、茜草科、木犀科、蔷薇科、冬青科、豆科、毛茛科、山茱萸科、虎耳草科、柿树科、大戟科、蝶形花科、忍冬科、山矾科等千余种。山区丘陵，竹类资源广泛分布，主要有毛竹、桂竹等十余种，其中毛竹资源最多，且大片成林。重点保护树种有连香树、红豆杉，永瓣藤、香果树、金钱松、黄山木兰、香榧、银鹊树、猬实、青钱柳等。1.4气候特征池州地处东经116°38'－118°05'，北纬29°33'－30°51'；气候温暖，四季分明，雨量充足，光照充足无霜期长，属暖湿性亚热带季风气候。年平均气温16°C，年均降水量1500mm，年均日照率45%，年均无霜期220天，最长286天。池州每年最热为7月，平均温度为28.3℃，需注意防暑；最冷为一月，平均温度为3.4℃，年平均风速为3.1米/秒。1.5水资源及水文特征池州市域地形为东南高、西北低，自南向北呈阶梯分布，江河湖水面348.4平方公东至县牛矶，下讫铜陵市交界的青通河口。境内有三大水系十条河流，长江水系有尧渡河、黄湓河、秋浦河、白洋河、大通河、九华河；青弋江水系有清溪河、陵阳河、喇叭河；鄱阳湖水系有龙泉河。流域面积在500平方公里以上的有七条河流，河长618km，其中秋浦河为境内流域中最长的一条河，流域面积3019平方公里，河长149km。池州市地表水资源丰富，全市水资源总量为63.7亿立方米，占全省水资源总量的11%，人均水资源量4326立方米，分别是安徽省和全国平均水平的4倍和2倍。另外，长江多年平均过境水资源量9317亿立方米，枯水年也达到7064亿立方米，丰富的水资源为该市经济社会发展提供了坚强可靠的用水保障。242、社会环境简况(社会经济结构、教育、文化、文物保护等)：2.1池州市概况池州市位于安徽省西南部，北临长江，南接黄山，西望庐山，东与芜湖相接，是长江经济带上重要的滨江旅游城市和历史文化名城，也是安徽省"两山一湖"(黄山、九华山、太平湖)旅游区的重要组成部分，面积8271平方公里，户籍人口162.2万人(2018年)，辖贵池区、东至县、石台县、青阳县、九华山风景区。长江流经池州160公里，通江达海，承东接西，池州港是长江干线重点港口，是800里皖江外籍游轮、国内大型游轮进入“两山一湖”地区的定点停靠码头；318、206国道纵贯市内，沿江、安景高速公路、铜九铁路、宁宜高速铁路已全线通车、九华山旅游国际机场已通航。2018年全年地区生产总值684.9亿元，按可比价格计算，比上年增长5.7%。分产7亿元，增长7.1%，其中全部工业增加值238.5亿元，增长9.0%；第三产业增加值320.3亿元，增长4.9%。三次产业结构比例由上年的11.7：42.8：45.5调整为10.9：42.3：46.8，其中工业增加值2.2池州经济技术开发区简介池州经济技术开发区位于池州市东北部。东距铜陵长江大桥35公里，西离安庆长江大桥、安庆机场60公里；北依长江，南邻安徽沿江高速公路和沿江大动脉铜陵-九江，建成面积10平方公里，入园企业400余家。区内基础设施完备，已实现“九通一平”。区内拥有长江岸线20公里，建有国家一类开放口岸——池州新港区，常年可停靠万吨级船舶，并设有海关、边防检查、出入境检验检疫等口岸联检机构。开发区重点发展电子信息、高端装备制造和现代服务业等主导产业，初步形成了以铜冠铜箔、安芯晶圆、华钛半导体为代表的电子信息首位产业，以中恒天福泰动力汽车发动机、华钰扩散炉晶圆装备、沃佳数控机床为代表的高端装备制造产业，以香港(池州)远航、广物池州物流基地为代表的现代服务业，先进制造业与现代服务业双轮驱动发展。池州经济开发区主要由池州经济技术开发区管理委员会实施行政管理。池州经济技术开发区管理委员会是池州市政府派出机构，在开发区行使市级经济管理权。2.3池州市城东污水处理厂简介池州市城东污水处理厂于2009年开始筹建，污水处理厂污水处理总规模为日处理825万吨，主要处理：池州市东部城区居民生活污水、东部城区企业的厂区生活污水、配套设施区(大学城、政务新区、临港新城)的生活污水以及部分工业企业废水。其中一期工程已经建设投产，设计处理规模为日处理废水2万吨，设计处理工艺为A2/O工艺，排放标准执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中的一级A标准。该项目所在地废水属于污水处理厂污水接管范围之内。26三、环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地表水、地下水、声环境、辐射环境、生态环境等)1、环境空气质量现状根据《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ2.2-2018)：“6.2.1.1项目所在区域达标判定，优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据或结论。6.2.1.2采用评价范围内国家或地方环境空气质量监测网中评价基准年连续1年的监测数据，或采用生态环境主管部门公开发布的环境空气质量现状数据。6.2.1.3评价范围内没有环境空气质量监测网数据或公开发布的环境空气质量现状数据的，可选择符合HJ664规定，并且与评价范围地理位置邻近，地形、气候条件相近的环境空气质量城市点或区域点监测数据。”本项目位于安徽池州市经济技术开发区，行政区域上属于贵池区，目前，池州市环境空气质量监测站点即属于贵池区范围内，因此本次评价即选用池州市2018年池州市环境质量状况公报中的结论(也即贵池区2018年环境质量公报)。2018年贵池区环境质量现状数据统计详见下表。表3-1项目区域空气质量现状评价表污染物年评价指标现状浓度(ug/m3)标准值(ug/m3)占标率(%)达标情况SO2年平均质量浓度6020达标NO2年平均质量浓度354087.5达标PM10年平均质量浓度6770957达标PM2.5年平均质量浓度4435125.7不达标CO95%平均日均浓度400035达标O390%最大8h平均浓度98.8达标根据2018年贵池区的环境质量公报数据，项目所在区域为不达标区，超标因子为细颗粒物(PM2.5)。2、水环境质量现状根据环境质量公报数据，按照《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)和《地表水环境质量评价办法(试行)》(2011年3月)进行评价，2018年全市长江(池州段)、秋浦河、青通河、尧渡河、黄湓河、九华河、白洋河、龙泉河、七星河共计9条河流和升金湖共18个国、省控监测断面水质达Ⅱ~Ⅲ类，水质良好，达标率100%。273、声环境质量状况为了解项目所在地噪声环境质量现状，项目委托山东恒诚检测科技有限公司于2019年8月18日对四侧厂界噪声现状进行了实测，结果详见下表。表3-2项目区域噪声值一览表监测点昼间夜间标准值质量状况昼间夜间昼间夜间东厂界52456555达标达标南厂界5243达标达标西厂界5545达标达标北厂界5444达标达标现状监测表明，厂界各监测点声级值昼间在52~55dB(A)之间，夜间声级值在43~45dB(A)之间，均满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准要求。主要环境保护目标(列出名单及保护级别)：项目地处安徽省池州经济技术开发区，项目区域不涉及文物保护点、无自然保护区和风景名胜区等敏感点，未发现有国家保护的野生动植物。环境保护目标具体如下：表3-3环境保护目标一览表名称坐标/°保护对象保护环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/m东经北纬麒麟公馆117.54331930.715550~500人大气环境GB3095-2012二级东北御澜湾117.54594430.710614~4000人东三范村117.54568530.714501~500人东备流坡村117.52108230.716495西北金安新村117.53082330.692481~300人南长江117.51906730.726400大河地表水GB3838-2002Ⅲ类北218028四、评价适用标准环境质量标准表表 (GB3095-2012)中二级标准，非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准详解》，表4-1环境空气质量标准限值污染物取值时间单位备注TSPµg/m3300GB3095-2012年均值µg/m3200PM10µg/m3年均值µg/m370PM2.5µg/m375年均值µg/m335SO2小时均值µg/m3500µg/m3年均值µg/m360NO2小时均值µg/m3200µg/m3年均值µg/m340NOx小时均值µg/m3250µg/m3年均值µg/m350CO小时均值mg/m3mg/m34O3小时均值µg/m3200µg/m3非甲烷总烃1小时均值µg/m32000《大气污染物综合排放标准详解》第244页地表水执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准。表4-2地表水环境质量标准污染因子pHDOCODcr氨氮BOD5TP石油类III类标准6~9≥5≤20≤4≤0.2(湖库0.05)≤0.05区域声环境执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)的3类区标准，详见下。29表4-3声环境质量标准标准级(类)别标准限值[dB(A)]标准来源昼间夜间3类6555GB3096-2008污染物排放标准项目无组织排放的有机废气执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中的相关要求，项目塑料加工工序废气执行《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)表5中大气污染物特别排放限值；焊接废气参照执行上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31933-2015)中的相关要求，具体标准限值详见下表：4-4合成树脂工业污染物排放标准污染物最高允许排放浓度无组织排放监控浓度限值监控点浓度值颗粒物20mg/m3周界外浓度最高点1.0mg/m3非甲烷总烃60mg/m3周界外浓度最高点4.0mg/m3单位产品非甲烷总烃排放量：0.3kg/t产品表4-5上海市大气污染物综合排放标准污染物最高允许排放浓度最高允许排放速率无组织排放监控浓度限值排气筒二级监控点浓度限值颗粒物30mg/m31.5kg/h周界外浓度最高点0.5mg/m3非甲烷总烃70mg/m33.0kg/h周界外浓度最高点4.0mg/m3生活污水经化粪池预处理后，通过园区管网进入城东污水处理厂进行深度处理，废水排放执行城东污水处理厂接管标准，详见下表。表4-6项目污水排放标准污染物(mg/L)pHCODBOD5NH3-N标准来源污水处理厂接管标准6~940022035GB978-1996表4三级标准污水处理厂出水标准6~9505GB18918-200230运营期各厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类区标准，具体标准值详见下表。表4-7营运期噪声排放标准标准类别标准限值[dB(A)]标准来源昼间夜间3类6555GB12348-2008体废物(GB18599-2001)及2013年修改单和《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》中的有关规定。总量控制根据《国务院关于印发<“十三五”节能减排综合性工作方案>的通知》(国发[2016]74号)、《关于印发大气污染防治行动计划的通知》(国发〔2013〕37号)，目前国家对化学需氧量(COD)、氨氮(NH3-N)、二氧化硫(SO2)、氮氧化物 (NOx)、烟粉尘、有机废气等主要污染物实行排放总量控制计划管理。根据工程分析和地方要求，项目排放的污染因子中，纳入总量控制要求的主要污染物是烟粉尘、挥发性有机物具体数值详见下表：表4-8总量控制建议表总量控制因子颗粒物有机废气排放量t/a有组织0.000320.00139无组织00.00015合计0.000320.00154项目排放总量必须由建设单位向环保管理部门申请，经审批同意后方能实施项目，并按核定的总量进行排污。31五、建设项目工程分析(1)工艺流程及产污节点图项目产品主要进行高压硅堆的生产，其生产工艺流程及产污节点见下图。图5-1营运期主要工艺流程及产污环节图(2)工艺流程说明组装固定：项目组装固定分为2类(2层和多层)，其中2层产品的，将芯片装入框架内，并用锡膏进行点焊将芯片与框架进行固定；多层产品的，通过焊接炉，将各层芯片利用锡片固定连接，并将铜引脚固定在上下2层芯片上。焊接时冲入氮气(约占99.5%)和氢气(约占0.5%)，目的是去除氧气，保护框架和芯片不被氧化，其中氮气是为了赶走氧气，氢气是与残留的氧气反应，生成水(H2O)。此工序有少量焊接烟尘产生。塑封：经过焊接固定的多层芯片利用塑封块保护(将引脚留在外面)起来，并加热(温度一般在130~135℃)进行初步固化。固化：经初步固化后的塑封件使用烘烤机(电加热)进一步烘烤(温度不超过150℃)32固化，以避免塑封块与芯片之间有空隙。外协电镀：对塑封外的铜引脚进行电镀加工，外协处理。切筋：将过长的铜引脚切除，针对2层的TO/ITO产品，还将框架间的连接线切开；测试检验：器件切筋分离后，进行测试筛选和检验，分出良品。2、主要污染工序本项目加工过程中主要污染分析详见下表：表5-1主要污染物分析一览表污染类别编号污染源名称产生工序主要污染因子废气G1焊接烟尘组装固定颗粒物G2塑封固化废气塑封、固化非甲烷总烃废水W1生活污水职工生活声/生产设备噪声生产过程机械噪声边角料切筋一般固废残次品测试检验危险固废生活垃圾职工生活生活垃圾3、污染源强分析3.1废气(1)焊接烟尘G1项目点焊使用自动焊接机进行，焊锡片使用焊接炉进行，在焊接过程中，使用氮气进行保护，并使用少量氢气用于去除氧气。在焊接过程中有少量焊接烟尘产生，参照《焊接技术手册》(王文翰主编)中有关资料，焊接过程中发尘量约5.0~8.0g/kg焊材，本环评按最大8g/kg计算，本项目锡膏和锡片用量合计约0.4t/a，则产生的焊接烟尘量约3.2kg/a。项目拟将自动焊接机和焊接炉的排气口接入焊烟过滤净化系统处理后通过不低于15m高排气筒(编号为P1)排放，焊烟排气系统的风量按2000m3/h计，焊接有效工作时间按1800h计，焊烟过滤净化系统的除尘效率按90%计算，则项目焊接烟尘产生和排放情况详见下表。表5-2焊接烟尘G1产生和排放情况排放源污染因子产生量排放量处理效率mg/m3kg/ht/t/mg/m3kg/ht/t/G1焊接烟尘颗粒物有组织0.003560.00320.000360.0003290%33(2)塑封固化废气G2项目塑封材料为环氧树脂，在塑封固化过程中，由于树脂受热熔化过程中，会有少量单体废气产生(以非甲烷总烃来表征)。根据资料，当在空气中使用时，环氧树脂一般在180~200℃就会发生热氧化分解，而本项目固化温度最高为150℃，因此不会发生环氧树脂的分解。本项目为电子信息产业，选用优质不易分解的塑封材料，参照浙江省重点行业VOCs污染排放源排放量计算方法(1.1版)中塑料行业的排放系数，即非甲烷总烃的产生量按0.220kg/t原料计，本项目环氧树脂使用量为7t/a，则非甲烷总烃产生量为0.00154t/a，由于项目废气量较小，项目塑封和固化过程产生的尾气收集后通过不低于15m高排气筒(编号为P2)排放，塑封固化系统的风量按2000m3/h计，收集效率按90%计算，有效工作时间按1800h计，则项目塑封固化废气产生和排放情况详见下表。表5-3塑封固化废气G2产生和排放情况排放源污染因子产生量排放量处理效率mg/m3kg/ht/t/mg/m3kg/ht/t/G2塑封固化废气非总烃有组织0.3850.000770.001390.3850.000770.001390%无组织/0.000090.00015/0.000090.00015合计/0.000860.00154/0.000860.001543.2废水本项目废水主要为生活污水，项目劳动定员36人，年工作300天，人按人均用水量50L/d计，则用水量为1.8m3/d、540m3/a。排水系数按80%计，则生活污水产生量为项目生活污水依托安徽钜芯半导体科技有限公司的污水收集和处理系统，将生活污水经化粪池预处理后，通过园区管网进入城东污水处理厂进行深度处理。同时本项目地面全部硬化，因此不会对地表水及地下水造成影响。图5-2项目水平衡图(单位：m3/a)3.3噪声项目产生噪声主要为各种生产设备运行时的工作噪音。经同类企业以往经验，距离设备1m处的设备噪声值约为60~70dB(A)。企业采用低噪声设备，合理布局生产设备，34t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t/3.4固体废弃物本项目营运期产生的固体废物包括边角料、残次品和生活垃圾。(1)边角料S1该项目在切筋过程中，会有边角料产生，根据企业提供的资料以及类比调查，边角料产生量约0.001t/a，主要成分为铜，全部收集后外售综合利用。(2)残次品S2项目在测试检验等过程中，会有不合格的残次品产生，根据企业提供的资料以及类比调查，残次品产生量约0.1t/a，主要成分为芯片，收集后外售综合利用。(3)生活垃圾S3生活垃圾主要来源于员工的日常生活，拟建项目运营期拟定员工36人，职工生活垃圾产生系数按人均0.5kg/d计算，则生活垃圾的产生量为5.4t/a，由环卫部门定期清运处理。3.5污染物产生和排放汇总表表5-4污染物产生和排放汇总表类别污染因子单位产生量削减量排放量备注废气颗粒物a0.003200.002880.00032有组织非甲烷总烃a0.001390.000000.00139有组织0.000150.000000.00015无组织0.001540.000000.00154合计废水废水量m3/a4320432CODa0a0.08600.086NH3-Na0.01100.011边角料a0.0010.0010残次品a0.10.10生活垃圾a5.45.4035六、建设项目主要污染物产生及排放情况类型排放源(编号)污染物名称处理前产生浓度及产生量(单位)排放浓度及排放量(单位)大气污染物焊接烟尘G1颗粒物1.8mg/m³，0.0032t/a塑封固化废气G2非甲烷总烃有组织0.385mg/m³，0.00139t/a0.385mg/m³，0.00139t/a无组织0.00015t/a0.00015t/a合计0.00154t/a0.00154t/a水污染物生活污水W1废水量432m3/a432m3/aCODmgL，0.065t/amgL065t/a氨氮25mg/L，0.011t/a25mg/L，0.011t/a固体废物边角料0.001t/a0(外售综合利用)残次品0(外售综合利用)生活垃圾5.4t/a0(环卫部门清运)噪声项目噪声源主要为各设备运行时产生的噪声，其噪声源强在60-70dB(A)，经车间内布置、隔声、减振和距离衰减后，厂区边界噪声能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类区标准。其他/主要生态影响：项目选址位于安徽省池州经济技术开发区，生产过程中污染物排放量较小，开发区空地通过种植花卉及草坪，可改善开发区工作环境，对该地的生态环境影响不大。36七、环境影响分析(一)施工期环境影响简要分析本项目租赁已建的标准化厂房，施工期主要进行厂房的局部装修和设备安装，施工量很小，对外环境基本无影响，不作施工期环境影响分析。(二)营运期环境影响分析2.1大气环境影响分析项目废气主要有焊接烟尘和塑封固化废气。2.1.1废气污染防治措施焊接烟尘(G1)：项目点焊使用自动焊接机进行，焊锡片使用焊接炉进行，在焊接过程中，使用氮气进行保护，并使用少量氢气用于去除氧气。项目拟将自动焊接机和焊接炉的排气口接入焊烟过滤净化系统处理后通过不低于15m高排气筒排放，经处理后，颗粒物可满足上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31933-2015)中颗粒物的标准限值要求，因此该处理工艺可行。塑封固化废气(G2)：项目塑封材料为环氧树脂，在塑封固化过程中，由于树脂受热熔化过程中，会有少量单体废气产生(以非甲烷总烃来表征)。项目塑封和固化过程产生的尾气收集后通过不低于15m高排气筒(编号为P2)排放。经上述措施处理后，排放的塑封固化废气满足《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)要求。2.1.2大气环境影响预测分析使用《环境影响评价技术导则—大气环境》(HJ2.2-2018)中推荐的AERSCREEN模式预测，预测源强详见下表。表7-1正常工况项目点源废气污染源强调查清单污染物名称排气筒编号排气筒底部中心坐标排气筒底部海拔高度(m)排气筒参数污染物排放速率(kg/h)高度(m)(m)温度(k)流速(m/s)经度(o)纬度(o)速率焊接烟尘P1117.52671830.708040220.2525颗粒物0.00036塑封固化废气P2117.52684230.707444220.2525非甲烷总烃0.0007737表7-2项目面源参数调查清单编号面源名称面源起点坐标面源海拔高度/m面源长度/m面源宽度/m面源有效排放高度/m评价因子源强(kg/h)经度(o)纬度(o)速率M1生产车间117.52682030.7074682233非甲烷总烃0.00009表7-3估算模型参数表参数取值城市农村/选项城市/农村城市人口数(城市人口数)260000最高环境温度40°C最低环境温度土地利用类型城市区域湿度条件潮湿是否考虑地形考虑地形否地形数据分辨率(m)/是否考虑海岸线熏烟考虑海岸线熏烟否海岸线距离/km/海岸线方向/o/表7-4各污染物最大落地浓度及浓度占标率情况类型污染源污染物质量标准(μg/m3)最大落地浓度(μg/m3)浓度占标率Pmax(%)D10%点源P1(焊接烟尘)颗粒物9000.035240.04/P2(塑封固化废气)非甲烷总烃20000.07537<0.01/面源M1(生产车间)非甲烷总烃20000.03484<0.01/根据上述预算结果分析，本项目排放的各废气污染物最大落地占标率均小于1%，依据《环境影响技术导则—大气环境(HJ2.2-2018)》评价工作的分级判据，本项目大气评价等级定为三级，本项目废气对周围环境影响较小。2.2水环境影响分析(1)废水处理措施项目废水主要为生活污水。本项目生活污水经化粪池处理达池州市城东污水处理厂接管标准(COD≤400mg/L、SS≤220mg/L、BOD5≤180mg/L、NH3-N≤35mg/L)排入园区污水管网，最终进入池州市城东污水处理厂处理达标达《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中的一级A标准后排入排涝干渠再进入长江。(2)废水处理措施可行性论证38池州市城东污水处理厂于2009年开始筹建，污水处理厂污水处理总规模为日处理10万吨，主要处理：主要处理来自池州市东部政务新区、教育园区、经济技术开发区、工业园区的生活污水及部分企业的工业废水。其中一期工程设计处理规模为日处理废水2万吨，已经建成并投入运营。2017年，该污水污水处理厂实施了升级改造工程，将出水水质执行标准由《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中的一级B标准提升至一级A标准，尾水经厂区东侧排涝干渠最终排放长江。本项目位于安徽省池州经济技术开发区，项目污水属于城东污水处理厂污水接管范围之内，且污水管网已经接通至项