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OPTODYNE，INC.2第二页，共二十一页，编辑于2023年，星期日美国光动公司总裁王正平教授3第三页，共二十一页，编辑于2023年，星期日激光干涉仪测量原理比较激光多普勒干涉仪其它激光于涉仪测量基准激光波长激光波长测量原理多普勒效应分光干涉测量方法测量多普勒频率偏移(测量相位差)测量干涉条纹数双频(FM)LDDMHP技术发明年代1985年单频激光干涉仪1960年双频激光干涉仪1975年4第四页，共二十一页，编辑于2023年，星期日迈克逊干涉仪1860年MICHELSON干涉仪白光参考镜反射镜分光镜探测器产生干涉测量光束参考光束5第五页，共二十一页，编辑于2023年，星期日单频激光干涉仪1960年单频激光干涉仪激光角锥反射镜角锥反射镜分光镜探测器测量光束参考光束产生干涉6第六页，共二十一页，编辑于2023年，星期日线偏振光线偏振光双频激光干涉仪1970年双频激光干涉仪激光角锥反射镜角锥反射镜偏振分光镜探测器测量光束参考光束产生干涉7第七页，共二十一页，编辑于2023年，星期日激光多普勒干涉仪1985年LDDM电光调制、外差式激光角锥反射镜探测器光电调制8第八页，共二十一页，编辑于2023年，星期日位移测量安装比较9第九页，共二十一页，编辑于2023年，星期日对光方便10第十页，共二十一页，编辑于2023年，星期日MCV-500主要技术指标序号技术指标名称指标1激光稳定性0.1ppm(特殊订货可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3测量精度(不确定度)1ppm(特殊订货可小于0.5ppm)4测量范围15米(特殊订货可加长到100米)5光靶最大移动速度3.6米/秒6电源电压90～265VAC7电源频率50～60赫8操作环境温度5～38℃9高度0～3000米10相对湿度0～95%11第十一页，共二十一页，编辑于2023年，星期日MCV-500选购附件的测量功能振动测量角偏测量滚珠丝杠动态测量圆形轨迹主轴精度分轴步进对角线位移测量12第十二页，共二十一页，编辑于2023年，星期日直线位移测量靶标反射镜MCV-500反射镜移动方向13第十三页，共二十一页，编辑于2023年，星期日非接触主轴精度测量MCV-500主轴聚光镜MCV-500+DI-50014第十四页，共二十一页，编辑于2023年，星期日陀罗径向跳动曲线采样：2000点/秒15第十五页，共二十一页，编辑于2023年，星期日低频振动测量适用于最高为100Hz的低频振动测量16第十六页，共二十一页，编辑于2023年，星期日中频振动测量适用于最高为100KHz的中频振动测量17第十七页，共二十一页，编辑于2023年，星期日高频振动测量适用于极高频率的振动测量18第十八页，共二十一页，编辑于2023年，星期日MCV-5000系列激光干涉仪19第十九页，共二十一页，编辑于2023年，星期日

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